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Aberraciones MEB

POR:
R. TONATIUH ISLAS ECHEVERRA
EDIT LPEZ VELAZCO
ANDRS ALEJANDRO LPEZ RAMOS

Qu son?

Son desviaciones de la aproximacin paraxial.


Son distorsiones que no permiten apreciar la imagen
correctamente.
Son defectos de sistemas pticos.

[1]

[1]
[1]
Cules son?

Existen 5 tipos:
Esfericidad
Astigmatismo
Coma
Distorsin
Curvatura de campo
Esfericidad

Se debe a la diferencia de aumento que sufren los


electrones al atravesar las lentes electromagnticas
segn vayan por el centro o por los extremos de la
misma. La consecuencia es que un punto es
proyectado como un crculo de un dimetro finito.
Astigmatismo

En el astigmatismo, la imagen de un punto no es otro


punto, sino dos rectas perpendiculares entre s. El
motivo es que las lentes no poseen la misma
curvatura en todos los planos axiales.
Coma

Es una aberracin similar a la esfrica. La imagen de


un punto, en vez de un disco circular es alargada
como un cometa.
Distorcin

El Error de Amplificacin Cuadrtico, Puntos sobre


la Imagen Est Muy cerca o Demasiado lejos del
Centro .
Distorsin Positiva la Distorsin de Barril
Distorsin de Acerico Negativa Llamada Fuera de
eje
Curvatura de campo

La imagen es perfecta , pero slo en el plano de la


imagen curvada .Causado por distribucin de energa
ptica fuera de eje
Correccin

Esfericidad Astigmatismo

Contrarrestar con desenfoque


Use lentes asfricas
La divisin de la lente

Contrarrestar con desenfoque Uso


Spaced doblete lente con funcin Stop en
el Centro
Correccin

Coma Distorsin

Utilice Spaced doble lente con funcin Stop


en el Centro

La colocacin de la abertura disminuido


en Detener en el centro del sistema.
Correccin

Curvatura de campo

Utilice Spaced doble de lentes


Fuentes

http://www.uma.es/servicios/scai/micr_elec/Page/
PC/Es/Info/glosario.html
(27/08/2016 1543hrs)
http://e-ducativa.catedu.es/44700165/aula/archivo
s/repositorio/3000/3239/html/15_aberraciones_ptic
as.html
(27/08/2016 1543hrs)
http://www.edmundoptics.de/resources/application-
notes/optics/comparison-of-optical-aberrations/#e
xamples
(27/08/2016 1743hrs)
http://www.cubaeduca.cu/medias/cienciatodos/Lib
ros_2/ciencia3/057/htm/sec_6.htm

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