Sensors and Actuators B: Chemical

Mathilde Rieu, Malick Camara, Guy Tournier, Jean-Paul Viricelle,

Christophe Pijolat, Nico F. De Rooij, Danick Briand
Ecole Nationale Superieure des Mines, SPIN-MSE, CNRS:UMR5307,LGF, F-42023 Saint-Etienne, France
Ecole Polytechnique Fdrale de Lausanne (EPFL), Institute of Microengineering (IMT), Sensors, Actuators
and Microsystems Laboratory (SAMLAB), Rue dela Maladire 71b, 2000 Neuchtel, Switzerlan

SHOFIA UTARI AGUSTINA 140120160001

OKSIDA LOGAM
Pengembangan perangkat sensor
Pendahuluan
Tujuan untuk
mencapai
Foil fleksibel Metode Cetak Perhatian Khusus perangkat berbiaya
Dan semakin diminati rendah, fleksibel
dan nirkabel
Fabrikasi pada substrat plastik dapat menyederhanakan pembuatan sensor
Menghindari proses micromachining
Proses suhu rendah.
Menuntut pengembangan sintesis material dan prosedur pengendapan yang
sesuai dengan dukungan suhu plastik.

Penelitian Sebelumnya
Realisasi sensor gas oksida logam ke subtract plastik
didasarkan proses fabrikasi (Courbat et al., 2012 &
Valejos et al., 2014)
Manufaktur aditif dengan menggunakan pencetakan

Diminati
untuk mengurangi infrastruktur dan mempermudah fabrikasi sensor
Pencetakan ink-jet
Teknik tanpa kontak yang mampu mengirimkan
bahan dalam jumlah tepat secara digital untuk
membentuk polayang terdefinisi dengan baik.
Teknik untuk persiaoan berbagai jenis film
fungsional

Permasalahan
Pencetakan foil polimer terbatas pada suhu operasi sekitar 100oC karena
penggunaan tinta perak.

- Tentang persiapan dan karakterisasi sensor SnO2 tercetak injek lengkap

dengan pemanas terintegrasi ke film polimida (PI) yang dapat beroperasi
pada suhu hingga 300oC.
- Transduser hotplate terbuat dari elektroda emas dan inkjet tercetak.
- SnO2 dipilih sebagai lapisan sensitive gas karena telah banyan digunakan
MAKA
sebagai bahan sensor sejak bertahun-tahun dan memainkan peran sentral
dibidang sensor gas.
- Dibuat tinta SnO2 dan sintesisnya menggunakan proses sol-gel.
- Dilakukan respon listrik sensor terhadap berbagai gas
 Metode Penelitian
Preparasi Substrat

Foil fleksibel
-Direndam pada aseton, isopropanol dan air deionisasi
-Dikeringkan pada suhu 120oC selama 1 jam
-Dikenakan plasma oksigen selama 2 menit pada 100W (40kHz)
Hasil
 Sol SnO2
Preparasi Tinta SnO2
-Ditambahkan H2O 50% vol
-Dioven pada suhu 80oC selama 24 jam
SnCl2
xerogel SnO2
-Dilarutkan dalam etanol 0,25 mol/L
-Dilakukan karakterisasi
-Diaduk dan disimpan pada 80oC selama 5
jam (bejana tertutup) Hasil

(Sn(Oet)2)
-Disimpan beberapa bulan dalam bejana tertutup dan kelembaban dijaga
Sol
-Ditambahkan etilen glikol (EG) 25% vol sol dan 75% vol Eg
Tinta SnO2
-Dimasukkan ke dalam cartridge Keterangan pada Printer :
-Dicetak
Sol SnO2 Perangkat lunak Dimatix digunakan untuk mengatur
parameter pencetakan.
voltase cincin yang disetel pada 20 V dan suhu kartrid
yang ditetapkan pada 30 C
Design dan Pencetakan Sensor
Tinta emas
-Diberi tinta jetted ke subtract PI
-Dicetak
-Lapisan emas di oven pada suhu 250oC
selama 3 jam
-Tinta SnO2 diendapkan pada elektroda
Hasil

Gambar 1
(a) tampilan bagian dari perangkat
(b) Tampilan dari bagian atas (elektroda dan
SnO2 dari perangkat
(c) Bagian bawah (pemanas)
 Hasil dan Pembahasan

Gambar 2. Analisis termo-gravimetri (penurunan berat) dan differential scanning calorimetry

(aliran panas) SnO2 xerogel sebagai fungsi suhu.
Gambar 3. TEM mikrograf dari bubuk SnO2 setelah anil pada 400C/jam.
Gambar 4. Mikrograf optik tetesan SnO2 yang diendapkan pada substrat PI: (a dan c) tanpa perlakuan
permukaan substrat, teteskan ke tetes masing-masing 100 m dan 20 m; (B dan d) dengan perlakuan
plasma O2 substrat, tetes sampai tetes masing-masing 100 m dan 20 m. Lingkaran merah
menggarisbawahi ukuran penurunan yang diendapkan.
Gambar 4. SEM mikrograf sensor. Dua garis sejajar abu-abu sesuai dengan elektroda emas
dan titik abu-abu sesuai dengan akumulasi SnO2.
Gambar 5. TEM mikrograf dari penampang sensor, (a) ikhtisar dan (b)
lapisan SnO2 pada pembesaran yang lebih tinggi.
Gambar 6. Evolusi konduktansi listrik SnO2 dengan injeksi CO dan NO2 pada suhu operasi (a) 300C
dan (b) 200C di udara kering; (C) pada 300 C di kelembabab udara.
 Fig. 7. Calibration curves for CO and NO2. The chemo-resistive responses (Rair/RCO or
RNO2/Rair) are the mean value of the two tested sensors and error bars representthe standard
deviation.
Tabel 1 Batas Deteksi dari CO dan NO2 pada Sensor Cetak Injek SnO2
300oC 300oC 200oC 200oC
Batas Deteksi
udara kering udara basah udara kering udara basah
CO 0,6 24 0,4 46
NO2 6 9 1 6
 Kesimpulan

1. Sensor oksidalogam yang dicetak ke foil polimer, termasuk lapisan gas sensitive
dan tranduser pemanas.
2. Memungkinkan persiapan sensor timah oksida sederhana dengan hasil yang
sebanding dengan apa yang telah dipublikasikan
3. Sel film timah oksida yang kompatibel dengan pencetakan inkjet dan penggunaan
substrat polimida dengan suhu sintesisi 400o C
4. Langkah fabrikasi yang berbeda dari sensor ditandai dan kinerja penginderaan gas
dievaluasi
5. Dibutuhkan pengoptimalan lebih lanjut pada sensor dengan tujuan menurunkan
penggunaan daya dan meningkatkan penginderaannya