Anda di halaman 1dari 23

Scanner Electron

Microscope (SEM)
Oleh :
• Radityo Indra W. 15-028
• Reza Hesti A. 15-029
• Hardhika Oktarianda F. 15-030
• Risa Bela A. 15-033
• Nindya Shinta D. 15-037
• Yosefin Maihanani R.S. 15-038
• Hendito Khairiansyah 15-039
• Inaayatul Maula 15-043
• Yuni Mulya U. 15-045
• Disaera 15-046
Scanner Electron Microscope
(SEM)
Scanning Electron Microscope (SEM)
merupakan mikroskop electron yang banyak
digunakan dalam ilmu pengetahuan material. SEM
banyak digunakan kerena memiliki kombinasi
yang unik, mulai dari persiapan spesimen yang
simple dan mudah, kapabilitas tampilang yang
bagus serta fleksibel.
Sem digunakan pada sampel yang tebal dan
memungkinkan untuk analisis permukaan.
Pancaran berkas yang jatuh pada sampel
akan dipantulkan dan didifraksikan. Adanya
elektron yang terdifraksi dapat diamati dalam
bentuk pola – pola difraksi. Pola – pola
difraksi yang tampak sangat bergantung pada
bentuk dan ukuran sel satuan dari sampel.
Sem juga dapat digunakan untuk
menyimpulkan data – data kristalografi,
sehingga hal ini dapat dikembangkan untuk
menentukan elemen atau senyawa.
Bagian
bagian
a. Penembak elektron (elektron
gun)
1. Termal
Pada emisi jenis ini, energi luar yang masuk ke bahan
ialah dalam bentuk energi panas. Oleh elektron energi panas
ini diubah menjadi energi kinetik. Semakin besar panas yang
diterima oleh bahan maka akan semakin besar pula kenaikan
energi kinetik yang terjadi pada elektron, dengan semakin
besarnya kenaikan energi
2. Field emission
Pada emisi jenis ini yang menjadi penyebab lepasnya
elektron dari bahan ialah adanya gaya tarik medan listrik luar
yang diberikan pada bahan. Pada katoda yang digunakan
pada proses emisi ini dikenakan medan listrik yang cukup
besar sehingga tarikan yang terjadi dari medan listrik pada
elektron menyebabkan elektron memiliki energi yang cukup
untuk lompat keluar dari permukaan katoda.
b. Lensa Magnet
c. Secondary Electron Detector
d. Backscattered Electron Detector
1. sinar dari lampu dipancarkan pada lensa kondensor,
sebelum masuk pada lensa kondensor ada pengatur
dari pancaran sinar elektron yang ditembakkan.
2. Sinar yang melewati lensa kondensor diteruskan lensa
objektif yang dapat diatur maju mundurnya.
3. Sinar yang melewati lensa objektif diteruskan pada
spesimen yang diatur miring pada pencekamnya,
spesimen ini disinari oleh deteksi x-ray yang
menghasikan sebuah gambar yang diteruskan pada
layar monitor.
Berkas sinar elektron yang mengenai cuplikan
menghasilkan elektron sekunder dan kemudian
dikumpulkan oleh detektor sekunder atau detektor
backscatter. Gambar yang dihasilkan terdiri dari
ribuan titik berbagai intensitas di permukaan
Cathode Ray Tube (CRT) sebagai topografi Gambar.
(Kroschwitz, 1990). Pada sistem ini berkas elektron
dikonsentrasikan pada spesimen, bayangannya
diperbesar dengan lensa objektif dan diproyeksikan
pada layar (Gabriel, 1993).
Sistem penyinaran dan lensa pada SEM
sama dengan mikroskop cahaya biasa. Pada
pengamatan yang menggunakan SEM lapisan
cuplikan harus bersifat konduktif agar dapat
memantulkan berkas elektron dan
mengalirkannya ke ground.
Apabila lapisan cuplikan tidak bersifat
konduktif, maka perlu dilapisi dengan emas.
INSTRUMENTASI
• Berdasarkan pada kebutuhan dan perubahan
bursa dalam lingkungan teknologi, maka
dibuatlah SEM-EDX yang merupakan suatu
system analisis yang menggabungkan SEM dan
EDX menjadi satu unit.
• Sebuah SEM khas memiliki kemampuan untuk
menganalisa suatu sampel .
• setiap jenis analisis dianggap merupakan
tambahan perangkat aksesori untuk SEM. Yang
paling umum aksesori dilengkapi dengan SEM
adalah dispersif energi x-ray detektor atau EDX
(kadang-kadang disebut sebagai EDS)
• Dengan system konvensional, EDX yang
berdiri sendiri dikombinasikan dengan SEM
yang terpisah, sehingga operator harus belajar
menggunakan kedua system, dan masing-
masing system harus dioperasikan secara
terpisah. Melalui SEM-EDX, SEM dan EDX
digabungkan menjadi satu unit, mengurangi
kebutuhan akan operasi yang kompleks/rumit.
• Unit SEM terdiri dari detektor EDX, dan panel
operasi terdiri dari 2 monitor, sebuah keyboard
dan mouse. Untaian pengendali EDX, 2
komputer dan disk drive MO ditempatkan
dalam suatu rak padat terletak di sebelah panel
operasi.
• Untuk menggabungkan fungsi SEM dan EDX dalam
suatu alat SEM-EDX, computer dari tiap unit
dihubungkan dengan suatu Ethernet untuk pembagian
data, dan software Hi-Mouse yang dikembangkan
memberikan pengoperasian yang mudah. Dengan
Ethernet dan software Hi-Mouse, satu keyboard, satu
mouse, dan dua monitor dapat digunakan menjalankan
dengan lembut fungsi dari SEM maupun EDX.
• Hubungan user pada unit SEM berdedikasi pada jendela
EDX yang dapat digunakan untuk mengontrol unit
EDX. Folder-folder windows dapat diatur menjadi
‘shared’, mengizinkan data dibagi antara 2 komputer.
Cara kerja jauh lebih sederhana, dan menampilkan
gambar lebih mudah, melalui pengaturan salah satu
monitor untuk menampilkan gambar pengamatan dan
monitor yang laing menampilkan data analisis.
Kelebihan
• memiliki perbesaran 10 – 3.000.000 kali, depth of field 4 – 0.4 mm dan
resolusi sebesar 1 – 10 nm.
• Kombinasi dari perbesaran yang tinggi
• depth of field yang besar
• resolusi yang baik
• banyak digunakan untuk keperluan penelitian dan industri
• Menghilangkan efek pergerakan elektron yang tidak beraturan karena
adanya molekul gas pada lingkungan tersebut, yang dapat mengakibatkan
penurunan intensitas dan stabilitas.
• Meminimalisasi gas yang dapat bereaksi dengan sampel atau mengendap
pada sampel, baik gas yang berasal dari sampel atau pun mikroskop.
Karena apabila hal tersebut terjadi, maka akan menurunkan kontras dan
membuat gelap detail pada gambar. (Prasetyo, 2011).
Kelemahan
• Memerlukan kondisi vakum
• Hanya menganalisa permukaan
• Resolusi lebih rendah dari TEM
• Sampel harus bahan yang konduktif, jika tidak
konduktor maka perlu dilapis logam seperti
emas. (Material Cerdas, 2009).
Sumber :
Gunawan, Budi., dan Citra Dewi Azhari. Karakterisasi
Spektrofotometri I R Dan Scanning Electron Microscopy (S E M)
Sensor Gas Dari Bahan Polimer Poly Ethelyn Glycol (P E G). ISSN
: 1979-6870. Surabaya

Khan, Bruce E., 2002. Hand Out Scanning Electron Microskopy

Respati, S.M.B., 2008. Macam-Macam Mikroskop dan Cara


Penggunaannya. Jurusan Teknik Mesin Fakultas Teknik
Universitas Wahid Hasyim Semarang. Momentum, Vol. 4, No. 2,
Oktober 2008 : 42 - 44