RANGKAIAN TERINTEGERASI

KELOMPOK 2
1. Sari Kartini
2. Putri Repina Kesuma
3. Aisya Meidina
EPITAXIAL LAYERS

Definisi Epitaxial layers

> Epitaksi merupakan metode pengendapan lapisan monokristalin pada
substrat kristal mono. Lapisan yang diendapkan dilambangkan
sebagai lapisan epitaxial.

 Kata Epitaksi berasal dari bahasa Yunani, terdiri dari 2 kata yaitu Epi
(atas) dan taxis (endapan secara teratur).

 > lapisan epitaksi bisa tumbuh dari gas atau Liquid

The Picture of Epitaxil Layer
Macam- Macam lapisan ekspitaksi

1. Homoepitaxy : substrat dan material sama,

komposisinya sama (Si- Si), untuk membuat
lapisan dengan level endapan berbeda.

2. Heteroepitaxy : substrat dan material

berbeda, komposisinya berbeda (Ga-As),
untuk membuat lapisan Kristal gabungan
dari material yang berbeda.
USES FOR EPITAXIAL LAYERS
Teknik Epitaksi
 Chemical Vapour Deposition (VCD)
Proses dimana lapisan epitaxial terbentuk oleh reaksi kimia
antara senyawa gas pada tekanan yang tepat.
Epitaxial Growth ( CVD Process)
Epitaxial Growth (Moleculer Beam Epitaxy)
Applikasi

Aplikasi yang paling terpenting dalam lapisan

silikon epitaksi pada monokristal silikon
wafers ialah :
1. Pada saat
Aplikasi

 CVG
Aplikasi

 MBE