Mikroskop Elektron

Scanning electron microscope (SEM)

Seri JSM 6510A/LA
Kelompok 9

1. Indra Wijaya Kusuma

2. Ayu Amanah (14/361857/SV/06121)
3. Indah Cahyani (14/369176/SV/07247)
4. Dhania Citra H (14/369177/SV/07248)
Mikroskop Elektron
adalah sebuah mikroskop yang mampu untuk melakukan
pembesaran objek sampai 2 juta kali, yang menggunakan elektro statik
dan elektro magnetik untuk mengontrol pencahayaan dan tampilan
gambar serta memiliki kemampuan pembesaran objek serta resolusi
yang jauh lebih bagus daripada mikroskop cahaya. Mikroskop elektron
ini menggunakan jauh lebih banyak energi dan radiasi elektromagnetik
yang lebih pendek dibandingkan mikroskop cahaya.
Jenis-jenis Mikroskop Elektron
1. Mikroskop transmisi elektron (TEM)
2. Mikroskop pemindai transmisi elektron (STEM)
3. Mikroskop pemindai elektron (SEM)
4. Mikroskop pemindai lingkungan elektron (ESEM)
5. Mikroskop refleksi elektron (REM)
6. Spin-Polarized Low-Energy Electron Microscopy
(SPLEEM)
Manfaat Mikroskop Elektron
1. Untuk melihat butiran sampel yang sangat kecil yang berukuran
puluhan nano dengan pembesaran 10.000. Sedangkan jika
mikroskop biasa dengan pembesaran 1.000 saja sudah tidak jelas
sampel yang akan dilihat
2. Dapat melihat bentuk gambar sampel nya seperti apa, ukuran
sampel, dan mengetahui kandungan apa saja yang ada di bahan yang
terkandung di sampel tersebut.
Prinsip Kerja Scanning Electron
Microscop (SEM)
Cara terbentuknya gambar pada SEM berbeda dengan apa yang terjadi pada
mikroskop optic dan TEM. Pada SEM, gambar dibuat berdasarkan deteksi elektron
baru (elektron sekunder) atau elektron pantul yang muncul dari permukaan sampel
ketika permukaan sampel tersebut dipindai dengan sinar elektron. Elektron sekunder
atau elektron pantul yang terdeteksi selanjutnya diperkuat sinyalnya, kemudian besar
amplitudonya ditampilkan dalam gradasi gelap-terang pada layar monitor CRT(cathode
ray tube). Di layar CRT inilah gambar struktur obyek yang sudah diperbesar bisa
dilihat. Pada proses operasinya, SEM tidak memerlukan sampel yang ditipiskan,
sehingga bisa digunakan untuk melihat obyek dari sudut pandang 3 dimensi.
Cara Kalibrasi Alat
Dibandingkan dengan sebuah standar dimana standar
tersebut berbentuk seperti jaring-jaring yang sudah diketahui
ukurannya lalu diperbesar di mikroskop. Misal ukuran sampel
nya diperbesar 100 kali lalu diukur lebar jaring, jika
ukurannya 100 kali lebih besar maka alat tersebut sudah
dikalibrasi dan lolos uji.
Gambar saat di LPPT UGM

Mikroskop Elektron
Chiller (Alat Pendingin)
Scanning Electron Microscope
Seri JEOL JSM6510LA
UPS (Uninterruptible Power Step Down
Supply)

Auto Fine Coater

Rangkaian Device
CH1
Scanning Electron Microscope
Dry SD Extra Detector
JSM - 6510
EDS
IMG

PRE-AMP PELT

USB-serial
USB port COM1
Conversion cable

PTTD4 board PTS-DPP

PTTD-ITF
EX-36110P4 Cable

AC100V

Table tap
 Sampel di vakum
menggunakan
Auto Fine Couter, yaitu alat Masukkan Sample
untuk menembak sampel ke alat JEOL
dengan emas putih lalu JM6510LA
sampel akan menjadi (SEM)
konduktif dan tidak terbakar
sehingga hasilnya dapat
dilihat dengan jelas di display
komputer

Atur gambar yg
ingin dilihat
Menggunakan menggunakan
alat step operation
down, karena Menggunakan Keyboard
alat JEOL alat UPS Menggunakan
JM6510LA untuk jaga- alat pendingin Pembacaan Hasil
(SEM) jaga jika listrik (Chiller) di Display (bentuk
memiliki mati
tegangan 110
sampel, ukuran
Volt sampel, bahan
yang terkandung)
Rangkaian Elektronik
 Bagian-Bagian
Scanning Electron Microscop
JSM-6510
1. Operation 4. Measurement
a) Measurement on SMile View™*
a) Monitor Display
b) Three dimensional image
b) Operation Keyboard
c) Acquisition of stereo pair images
2. High Quality Images
d) Three dimensional image software
a) Standard recipe e) Observation of 3D image on the
b) Custom recipe three dimensional image software
c) Select an accelerating voltage
5. Analysis
d) Seamless auto-bias
e) Stigma memory
a) Wavelength dispersive X-ray
f) Optimizing the probe current Analyzer (WDS)
g) Zoom condenser lens b) EBSD
3. Navigation c) Large specimen chamber
a) Specimen setting navi d) Probe current detector
b) Stage navigation system(SNS)
c) c) Chamber scope
 Bagian-Bagian
Auto Fine Coater (Pelapis)
Emas Putih
JEOL JEC-300FC
1. Magnet
2. High Voltage
3. Low Vacuum
4. Electron Path
5. Target Atoms
6. Ionized Gas Molecules
7. To Vacum Pump
8. Anode Stage
9. Specimen
10. Cathode Target
 Bagian-Bagian
UPS
(Uninterruptible Power Supply)
UPS pada dasarnya terdiri dari tiga komponen
utama, yaitu:
1) Rectifier- Charger
2) Inverter
3) Sakelar Pemindah
(Transfer switches)
 Bagian-Bagian
Step Down
1. Inti Besi
2. Kumparan Trafo
3. Minyak Trafo
4. Bushing
5. Tangki dan Konservator
 Bagian-Bagian
Chiller (Alat Pendingin)
Data Keluaran
Gambar Corel Draw (2D)
Gambar Autocad (3D)
 Pengembangan Alat
SEM - EDX
EDX (Energy Dispersive
SEM (Scanning Electron
Spectroscopy)
Microscope)

Secara mekanisme, prinsip atom Namun untuk mengenali jenis

– atom dengan densitas atau atom dipermukaan yang
berat molekul lebih besar akan mengandung multi atom para
memantulkan lebih banyak peneliti lebih banyak
elektron sehingga tampak lebih mengunakan teknik EDS
cerah dari atom berdensitas
rendah. Maka teknik ini sangat
berguna untuk membedakan
jenis atom dengan menggunakan
SEM.
 SEM
Scanning Electron Microscope
Secara mekanisme, prinsip atom – atom dengan densitas atau berat molekul
lebih besar akan memantulkan lebih banyak elektron sehingga tampak lebih
cerah dari atom berdensitas rendah. Maka teknik ini sangat berguna untuk
membedakan jenis atom dengan menggunakan SEM.
 EDX
Energy Dispersive Spectroscopy

Sebagian besar alat SEM dilengkapi dengan kemampuan ini, namun tidak
semua SEM punya fitur ini. EDS dihasilkan dari Sinar X karakteristik, yaitu
dengan menembakkan sinar X pada posisi yang ingin kita ketahui
komposisinya. Maka setelah ditembakkan pada posisi yang diinginkan maka
akan muncul puncak – puncak tertentu yang mewakili suatu unsur yang
terkandung. Dengan EDS kita juga bisa membuat elemental mapping
(pemetaan elemen) dengan memberikan warna berbeda – beda dari masing –
masing elemen di permukaan bahan.
Konfigurasi SEM-EDX
Dengan system konvensional, EDX yang berdiri sendiri dikombinasikan dengan SEM yang
terpisah, sehingga operator harus belajar menggunakan kedua system, dan masing-masing
system harus dioperasikan secara terpisah. Melalui SEM-EDX, SEM dan EDX digabungkan
menjadi satu unit, mengurangi kebutuhan akan Operasi yang komplek/ rumit.

Fungsi dari suatu SEM dan EDX digabungkan menjadi satu unit, sehingga konfigurasi dapat
dibagi menjadi unit SEM dan unit EDX. Unit SEM terdiri dari detektor EDX, dan panel
operasi terdiri dari 2 monitor, sebuah keyboard dan mouse. Untaian pengendali EDX, 2
komputer dan disk drive MO ditempatkan dalam suatu rak padat terletak di sebelah panel
operasi. Gambar 2 menunjukkan bagian luar dari gabungan SEM-EDX dan gambar 3
menunjukkan konfigurasi/susunan system

Untuk menggabungkan fungsi SEM dan EDX dalam suatu alat SEM-EDX, computer dari tiap
unit dihubungkan dengan suatu Ethernet untuk pembagian data, dan software Hi-Mouse yang
dikembangkan memberikan pengoperasian yang mudah. Dengan Ethernet dan software Hi-
Mouse, satu keyboard, satu mouse, dan dua monitor dapat digunakan menjalankan dengan
lembut fungsi dari SEM maupun EDX
Prinsip Kerja SEM - EDX
Untuk menggabungkan fungsi SEM dan EDX dalam suatu alat SEM-EDX, computer dari tiap
unit dihubungkan dengan suatu Ethernet untuk pembagian data, dan software Hi-Mouse yang
dikembangkan memberikan pengoperasian yang mudah. Dengan Ethernet dan software Hi-
Mouse, satu keyboard, satu mouse, dan dua monitor dapat digunakan menjalankan dengan
lembut fungsi dari SEM maupun EDX

Hubungan user pada unit SEM berdedikasi pada jendela EDX yang dapat digunakan
untuk mengontrol unit EDX. Folder-folder windows dapat diatur menjadi ‘shared’,
mengizinkan data dibagi antara 2 komputer. Cara kerja jauh lebih sederhana, dan
menampilkan gambar lebih mudah, melalui pengaturan salah satu monitor untuk
menampilkan gambar pengamatan dan monitor yang Monitor yang lai menampilkan
data analisis. Karena masing-masing system harus dioperasikan secara terpisah, maka
perlu dipelajari operasi dari SEM dan EDX secara tersendiri.
Penggunaan SEM-EDX
SEM-EDX adalah nama -dispersive X-ray spektroskopi energi analisis yang dilakukan dengan
menggunakan SEM .

Alat ini dipakai umumnya untuk aplikasi yang cukup bervariasi pada permasalahan eksplorasi
dan produksi migas, termasuk didalamnya:
• Evaluasi kualitas batuan reservoir melalui studi diagnosa yang meliputi identifikasi dan
interpretasi keberadaan mineral dan distribusinya pada sistem porositas batuan.
• Investigasi permasalahan produksi migas seperti efek dari clay minerals, steamfloods dan
chemical treatments yang terjadi pada peralatan pemboran, gravelpacks dan pada reservoir
Kesimpulan
Aplikasi dari teknik SEM – EDS :
1. Topografi: Menganalisa permukaan dan
teksture (kekerasan, reflektivitas dsb)
2. Morfologi: Menganalisa bentuk dan ukuran
dari benda sampel
3. Komposisi: Menganalisa komposisi dari
permukaan benda secara kuantitatif dan
kualitatif.
Terimakasih