KELOMPOK 2

SEM (Scanning Electron Microscope)

 Dicky Wahyudi
 Haris Abdurrahman
 Muhammad Farhan Fakhrudin
 Sri Wahyuni
SEM
(Scanning Electron
Microscopy)
• Principle
• Construction
• Application
• Advantages
• Disadvantages
 Principle of SEM
 Sebuah pistol elektron memproduksi sinar elektron dan dipercepat dengan
anoda.
 Lensa magnetik memfokuskan elektron menuju ke sampel.
 Sinar elektron yang terfokus memindai (scan) keseluruhan sampel dengan
diarahkan oleh koil pemindai.
 Ketika elektron mengenai sampel maka sampel akan mengeluarkan
elektron baru yang akan diterima oleh detektor dan dikirim ke monitor
(CRT).
Secara lengkap skema SEM dijelaskan oleh gambar berikut.
Construction of Instrument
Electron Gun

 Electron Gun menghasilkan tembakan electron yang kemudian akan

diarahkan pada permukaan spesimen.
 Terdapat dua macam tipe electron Gun, yaitu thermionic gun dan field
emission gun.
 Pada thermionic gun, energi luar yang masuk ke bahan ialah dalam
bentuk energi panas.
 Pada Field emission gun, pada emisi jenis ini yang menjadi penyebab
lepasnya elektron dari bahan adalah gaya tarik medan listrik luar yang
diberikan pada bahan.
 Magnetic Lens

 Lensa magnetik yang digunakan yaitu dua buah condenser

lens. Condenser lens kedua (atau biasa disebut dengan lensa objektif)
memfokuskan electron dengan diameter yang sangat kecil, yaitu sekitar
10-20 nm.
Detector

 SEM memiliki beberapa detektor yang berfungsi untuk menangkap

hamburan elektron dan memberikan informasi yang berbeda-beda.
Detektor-detektor tersebut antara lain;
 Backscatter detector, yang berfungsi untuk menangkap informasi
mengenai nomor atom dan topografi.
 Secondary detector, yang berfungsi untuk menangkap informasi mengenai
topografi
Monitor CRT (Cathode Ray Tube)

 Pada layar CRT inilah gambar struktur obyek yang sudah diperbesar dapat
dilihat.
 a) Topografi, yaitu ciri-ciri permukaan dan teksturnya (kekerasan, sifat
memantulkan cahaya, dan sebagainya).
 b) Morfologi, yaitu bentuk dan ukuran dari partikel penyusun objek
(kekuatan, cacat pada Integrated Circuit (IC)dan chip, dan sebagainya).
 c) Komposisi, yaitu data kuantitatif unsur dan senyawa yang terkandung
di dalam objek (titik lebur, kereaktifan, kekerasan, dan sebagainya).
 d) Informasi kristalografi, yaitu informasi mengenai bagaimana susunan
dari butir-butir di dalam objek yang diamati (konduktifitas, sifat elektrik,
kekuatan, dan sebagainya)
Application

 SEM-EDX adalah nama -dispersive X-ray spektroskopi energi analisis yang

dilakukan dengan menggunakan SEM . Alat ini pada umumnya
mempunyai aplikasi yang cukup bervariasi pada permasalahan eksplorasi
dan produksi migas, termasuk didalamnya: Evaluasi kualitas batuan
reservoir melalui studi diagnosa yang meliputi identifikasi dan interpretasi
keberadaan mineral dan distribusinya pada sistem porositas batuan.
Investigasi permasalahan produksi migas seperti efek dari clay minerals,
steamfloods dan chemical treatments yang terjadi pada peralatan
pemboran, gravelpacks dan pada reservoir
Identifikasi dari mikrofosil untuk penentuan umur dan lingkungan
pengendapan
Advantages

 Menghilangkan efek pergerakan elektron yang tidak beraturan karena

adanya molekul gas pada lingkungan tersebut, yang dapat
mengakibatkan penurunan intensitas dan stabilitas.
 Meminimalisasi gas yang dapat bereaksi dengan sampel atau
mengendap pada sampel, baik gas yang berasal dari sampel atau pun
mikroskop. Karena apabila hal tersebut terjadi, maka akan menurunkan
kontras dan membuat gelap detail pada gambar
Disadvantegs

 Memerlukan kondisi vakum

 Hanya menganalisa permukaan
 Resolusi lebih rendah dari TEM
 Sampel harus bahan yang konduktif