PENDAHULUAN Prediksi yang akurat dan bijaksana dari kinerja kelistrikan interkoneksi kecepatan tinggi sangat tergantung pada prediksi cepat dan akurat dari matriks kapasitansi dan induktansi dari struktur interkoneksi tiga dimensi di adanya substrat dielektrik berlapis.
FUNGSI HIJAU BENTUK TERTUTUP
Untuk keperluan makalah ini, dielektrik berlapis-
lapis media diasumsikan memiliki permitivitas dielektrik yang bervariasi dalam arah z, tegak lurus dengan struktur berlapis, sementara itu tetap independen dari x dan y. Pendekatan beda hingga (4) digunakan untuk solusinya. U ntuk tujuan ini, grid seragam dengan ukuran elemen h digunakan untuk mendiskritkan domain yang diinginkan 0 < z <d. Matriks A adalah matriks tri-diagonal berdimensi N, dimana N adalah jumlah titik kisi interior (potensi disetel ke nol di bidang konduksi atas dan bawah).
Gc matriks berisi semua ekspresi fungsi Green
diperlukan untuk perumusan selanjutnya dari pendekatan metode-ofmoments dari nilai batas elektrostatis masalah. dimana L = BTP, R, = P-1R dan, L.R = UNc the matriks identitas dimensi Nc. Setiap elemen Gc adalah fungsi λ dari, dan memiliki bentuk
dimana Teorema residu Cauchy dapat digunakan untuk perhitungan ini integral.
dimana K0 = (x) adalah fungsi Bessel yang
dimodifikasi dari orde 0 Perlu dicatat bahwa konstanta dan berisi semua informasi material untuk struktur berlapis-lapis
dimana;
menunjukkan tanggapan baru, adalah nilai eigen baru dalam
sistem tereduksi, dan adalah koefisien baru dalam finite jumlah. Melalui serangkaian percobaan numerik ditemukan bahwa akurasi yang sangat baik dicapai hanya dengan menggunakan 10-20% eigenvalues. MELAKSANAKAN EKSTRAKSI KAPASITANSI
Pada bagian ini kami fokus pada beberapa masalah numerik
yang muncul ketika ekspresi bentuk tertutup yang diusulkan untuk elektrostatis Fungsi Green dalam substrat berlapis diimplementasikan di a method-of-moment (MoM) kode untuk ekstraksi matriks kapasitansi untuk konfigurasi konduktor tiga dimensi.
Oleh karena itu, (10) dapat
ditulis ulang sebagai Seperti yang ditunjukkan di [8],
di mana menunjukkan nilai prinsip Cauchy dari integral dan
menunjukkan konstanta dielektrik media in yang tertanam volume dielektrik. HASIL NUMERIK TABEL I KAPASITAN (IN pF) DARI STRUKTUR DUA KONDUKTOR PADA PT SUBSTRAT BERLAPIS
konfigurasi dua konduktor tertanam dalam substrat tiga lapis.
Izin dielektrik dari lapisan adalah 4,5, 3,9, dan 2.9 dari bawah ke atas, dengan ketebalan 2.0 mm, 3.0 mm, dan 4,0 mm, masing-masing. KESIMPULAN Makalah ini telah menyajikan metodologi baru untuk pengembangan fungsi spasial Green tertutup untuk masalah elektrostatik di planar, dielektrik berlapis.
Perbedaan utama antara metodologi baru dan yang
sebelumnya adalah pengembangan bentuk domain spektral Green's fungsi dalam istilah pendekatan perbedaan hingga lebih tepatnya daripada ekspresi analitik yang melibatkan fungsi transendental. Kehadiran fungsi transendental inilah yang melarang kalkulasi langsung dari invers Fourier – Bessel transformasi integral yang diperlukan untuk mendapatkan bentuk domain-spasial fungsi Green. Bentuk beda hingga dari fungsi domain spektral Green dapat dibuat dalam bentuk parsial ekspansi fraksi dalam variabel spektral. Representasi seperti itu memungkinkan kalkulasi langsung dari invers Fourier – Bessel transformasi dalam bentuk tertutup.