Unggahan
3 Stability 0% menganggap dokumen ini bermanfaatIn-Plane and Out-Of-Plane MEMS Gyroscopes Based On Piezoresistive NEMS Detection 0% menganggap dokumen ini bermanfaatA Single-Crystal Silicon Symmetrical and Decoupled MEMS Gyroscope On An Insulating Substrate 0% menganggap dokumen ini bermanfaat4.root Locus 0% menganggap dokumen ini bermanfaatA Lateral-Axis Microelectromechanical Tuning-Fork Gyroscope With Decoupled Comb Drive Operating at Atmospheric Pressure 0% menganggap dokumen ini bermanfaatDesign of A New Structure Quartz MEMS Gyroscope With High Sensitivity 0% menganggap dokumen ini bermanfaatA Slot-Structure MEMS Gyroscope Working at Atmosphere With Tunable Electrostatic Spring Constant 0% menganggap dokumen ini bermanfaatCharacterization of Oxide-Coated Polysilicon Disk Resonator Gyroscope Within A Wafer-Scale Encapsulation Process 0% menganggap dokumen ini bermanfaatEmft 5 0% menganggap dokumen ini bermanfaatEmft 4 0% menganggap dokumen ini bermanfaatEmft 2 0% menganggap dokumen ini bermanfaat