0% menganggap dokumen ini bermanfaat
Memuat
Dokumen
The HARPSS Process For Fabrication of Precision MEMS Inertial Sensors
Ditambahkan oleh Yenhao Chen
Dokumen
Mechanical Stress Measurements Using Micro-Raman Spectros
Ditambahkan oleh Yenhao Chen
Dokumen
Resonant Inductive Coupling-Based Piston Position Sensing Mechanism For Large Vertical Displacement Micromirrors
Ditambahkan oleh Yenhao Chen
Dokumen
Inductive Eddy Current Sensing As A Displacement Sensing Mechanism For Large Pistonrotation Micromirrors
Ditambahkan oleh Yenhao Chen