Scanning Electron Microscopy (SEM) Elektron memiliki resolusi yang lebih tinggi daripada cahaya.

Cahaya hanya mampu mencapai 200nm sedangkan elektron bisa mencapai resolusi sampai 0,1 0,2 nm. Dibaw ah ini diberikan perbandingan hasil gambar mikroskop cahaya dengan elektron. semcompare Disamping itu dengan menggunakan elektron kita juga bisa mendapatkan beberapa je nis pantulan yang berguna untuk keperluan karakterisasi. Jika elektron mengenai suatu benda maka akan timbul dua jenis pantulan yaitu pantulan elastis dan pantu lan non elastis seperti pada gambar dibawah ini. scatter Pada sebuah mikroskop elektron (SEM) terdapat beberapa peralatan utama antara la in: 1. Pistol elektron, biasanya berupa filamen yang terbuat dari unsur yang mudah m elepas elektron misal tungsten. 2. Lensa untuk elektron, berupa lensa magnetis karena elektron yang bermuatan ne gatif dapat dibelokkan oleh medan magnet. 3. Sistem vakum, karena elektron sangat kecil dan ringan maka jika ada molekul u dara yang lain elektron yang berjalan menuju sasaran akan terpencar oleh tumbuka n sebelum mengenai sasaran sehingga menghilangkan molekul udara menjadi sangat p enting. Prinsip kerja dari SEM adalah sebagai berikut: 1. Sebuah pistol elektron memproduksi sinar elektron dan dipercepat dengan anoda . 2. Lensa magnetik memfokuskan elektron menuju ke sampel. 3. Sinar elektron yang terfokus memindai (scan) keseluruhan sampel dengan diarah kan oleh koil pemindai. 4. Ketika elektron mengenai sampel maka sampel akan mengeluarkan elektron baru y ang akan diterima oleh detektor dan dikirim ke monitor (CRT). Secara lengkap skema SEM dijelaskan oleh gambar dibawah ini: semjp (sumber:iastate.edu) Ada beberapa sinyal yang penting yang dihasilkan oleh SEM. Dari pantulan inelast is didapatkan sinyal elektron sekunder dan karakteristik sinar X sedangkan dari pantulan elastis didapatkan sinyal backscattered electron. Sinyal -sinyal terseb ut dijelaskan pada gambar dibawah ini. scatter Perbedaan gambar dari sinyal elektron sekunder dengan backscattered adalah sebag ai berikut: elektron sekunder menghasilkan topografi dari benda yang dianalisa, permukaan yang tinggi berwarna lebih cerah dari permukaan rendah. Sedangkan back scattered elektron memberikan perbedaan berat molekul dari atom atom yang menyusun permukaan, atom dengan berat molekul tinggi akan berwarna lebih cerah daripada atom dengan berat molekul rendah. Contoh perbandingan gambar dari kedua sinyal i ni disajikan pada gambar dibawah ini. compareelastic Mekanisme kontras dari elektron sekunder dijelaskan dengan gambar dibawah ini. P ermukaan yang tinggi akan lebih banyak melepaskan elektron dan menghasilkan gamb ar yang lebih cerah dibandingkan permukaan yang rendah atau datar. seconder

Sedangkan mekasime kontras dari backscattered elektron dijelaskan dengan gambar dibawah ini yang secara prinsip atom atom dengan densitas atau berat molekul lebih besar akan memantulkan lebih banyak elektron sehingga tampak lebih cerah dari a tom berdensitas rendah. Maka teknik ini sangat berguna untuk membedakan jenis at om. back

Namun untuk mengenali jenis atom dipermukaan yang mengandung multi atom para pen eliti lebih banyak mengunakan teknik EDS (Energy Dispersive Spectroscopy). Sebag ian besar alat SEM dilengkapi dengan kemampuan ini, namun tidak semua SEM punya fitur ini. EDS dihasilkan dari Sinar X karakteristik, yaitu dengan menembakkan s inar X pada posisi yang ingin kita ketahui komposisinya. Maka setelah ditembakka n pada posisi yang diinginkan maka akan muncul puncak puncak tertentu yang mewakil i suatu unsur yang terkandung. Dengan EDS kita juga bisa membuat elemental mappi ng (pemetaan elemen) dengan memberikan warna berbeda beda dari masing masing elemen di permukaan bahan. EDS bisa digunakan untuk menganalisa secara kunatitatif dari persentase masing masing elemen. Contoh dari aplikasi EDS digambarkan pada diagra m dibawah ini. semeds (sumber: umich.edu) elemnt Aplikasi dari 1. Topografi: 2. Morfologi: 3. Komposisi: kualitatif. teknik SEM EDS dirangkum sebagai berikut: Menganalisa permukaan dan teksture (kekerasan, reflektivitas dsb) Menganalisa bentuk dan ukuran dari benda sampel Menganalisa komposisi dari permukaan benda secara kuantitatif dan

Sedangkan kelemahan dari teknik SEM antara lain: 1. Memerlukan kondisi vakum 2. Hanya menganalisa permukaan 3. Resolusi lebih rendah dari TEM 4. Sampel harus bahan yang konduktif, jika tidak konduktor maka perlu dilapis lo gam seperti emas