Design Of Mems Based Microcantilever

(Sumber : International Journal of Applied Engineering Research, ISSN 0973-4562 Vol.7 No.11 (2012) by
Suryansh Arora, Sumati, Arti Arora, P.J.George)
Oleh : Asad Shidqy Aziz

Pada jurnal ini membahas tentang mendesain Mems berbasis microcantiliver

menggunakan aplikasi Comsol Multiphysics. Jurnal ini mendemonstrasikan metode FEM
untuk menghasilkan dari microcantiliver sensor. Bahan yang digunakan dalam perancangan
microcantiliver adalah SiO2 atau biasa disebut dengan Silicone Oxide.
Parameter desain pada jurnal ini menggunakan comsol dapat dilihat pada tabel 1 dan
gambar. 1 adalah bentuk dari microcantiliver. Dari parameter inilah yang akan dipakai untuk
bahan simulasi menggunakan software Elmer.

Gambar 1. Bentuk tampilan Microcantiliver

Hasil simulasi dari jurnal ini, grafik yang dihasilkan untuk perbandingan kapasistansi
dan tegangan adalah liniear. Dimana apabila tegangan meningkat maka akan menghasilkan
nilai kapasitansi yang besar pula. Dapat dilihat pada Grafik 1.
 Grafik 1. Perbandingan Tegangan dengan Kapasitansi

Hasil simulasi lainnya yang akan dianalisa adalah pengaruh ketebalan dari
microcantiliver dengan grafik frekuensi yang dihasilkan terhadap displacement. Pada jurnal
ini disebutkan dengan ketebalan 0,15m akan menghaslkan frekuensi optimal 0,63 MHz.
Ditunjukkan pada Grafik 2. Jadi nantinya saya akan mensimulasikan dengan input ketebalan
berdasarkan parameter yang telah ditentukan pada jurnal dan pengaruh ketebalan jika
dinaikkan dan diturunkan terhadap frekuensi

.
Grafik 2. Grafik Frekuensi terhadap Total Displacement