TUGAS TLT

HUSNUL APRIANI
145090301111031

TRANSPORTASI LISTRIK PADA ISOLASI FILM/LAPISAN (ELECTRICAL

TRANSPORT IN INSULATING FILMS)

10.3.1 Pendahuluan
Insulating film atau isolasi film diharuskan dapat mengisolasi atau sebagai
perangkat kondensat elektrik serta berfungsi sebagai kapasitor dielektrik. Contohnya
yaitu bahan seperti SiO2, Al2O3, dan Ta2O5 dan nitrida seperti Si3N4 dan AIN. Isolator
merupakan bahan yang hanya memiliki sedikit pembawa muatan bebas pada suhu
efektifnya yang disebabkan oleh energy gap yang besar. Pada umunya insulasi film
pada amorf dan umunya tidak dapat digambarkan dengan pita energi. Sebaliknya,
timbulnya tails yang tidak jelas di bagian atas pita valensi dan bagian bawah pita
konduksi sehingga meluas pada bagian gapnya dan tumpeng tindih membentuk
distribusi electron. Jika ini terjadi maka insulator mengagap propertiesnya seperti
semikonduktor. Karena disebabkan oleh ketidaksempurnaan strukturnya, sebenarnya
dapat menjadi densitas pembawa muatan yang tinggi. Identifikasi dari mekanisme
transportasi yang dominan yang dibatasi nilainya adalah kunci untuk memahami
hubungan antara parameter material insulator dan kontak, serta karakteristik arus
tegangan yang dihasilkan. Dua kategori mekanisme transportasi arus-tegangan telah
diidentifikasi.
1. Barrier-Limited Mekanisme ini beroperasi di sekitar antarmuka insulator kontak
Konduksi dibatasi oleh transfer muatan dari kontak ke isolator: Sekali muatannya
dimasukkan, akan sedikit kesulitan untuk bermigrasi ke elektroda lain. Emisi Schottky
dan tunneling adalah contoh paling penting dari batasan hambatan konduksi.
2. Bulk-Limited. Dalam hal ini, jumlah pembawa muatan yang cukup dimasukkan ke
pita konduksi isolator dengan Schottky atau tunnelling. Namun, adanya kesulitan
dalam mencapai elektroda lainnya karena keterbatasan transportasi massal. contohnya
mencakup mekanisme batas konduksi pada ruang, intrinsik dan Poole Frenkel.
Pada Tabel 10-2 menunjukkan beberapa mekanisme hambatan dan mekanisme
konduksi bulk-limited. Karakteristik dari teori Arus (J)-tegangan atau karakteristik
medan (), bersamaan dengan konstanta bahan eksplisit yang dapat dimasukkan
dalam daftar pengukuran . Ada dua fitur terkenal dari transportasi arus dalamn
insulasi film. Karakteristik J- seringkali bersifat nonohmik, kecuali, mekanisme
konduksi tunneling diaktifkan secara termal. Diagram band dan model potensial kisi
telah memberi banyak cara untuk menggambarkan proses transportasi. Yang dapat
dilihat pada gambar 10-7 untuk barrier-limited dan gambar 10-8 untuk mekanisme
transportasi bulk-limited.
10.3.2 Spesifikasi mekanisme transportasi listrik
Berikut merupakan hal mengenai mekanisme secara singkat :
1. Emisi schottky, mekanisme ini memiliki kemiripan dengan emisi termionik
electron dari pemanasan logam dalam vakum yang tidak luput dari pengawasan,
dimana logam berada di dalam kondisi vakum. Emisi terionisasi digambarkan
pada 10-27

dimana M, adalah fungsi kerja dan A adalah konstanta Richardson sebesar 120
A/cm2-K2.nilai B bergantung pada isolator logam atau kontak semikonduktor
tertentu. Penyebab penghalang menurun atau efek schottky di medan listrik tinggi
karena adanya distribusi energy potensial electron yang terus bervariasi dan tiba-
tiba berada di persimpangan logam. Gambar 10-9.

Energi tinggi penghalang berbagai logam pada GaAs SiO2, dan fungsi kerja Si
dengan logam. Ketika elektron memasuki isolator, muatan didistribusikan kembali
pada elektroda untuk menjaga permukaan ekipotensial. Hasilnya adalah
menghasilkan bidang gambar yang disebut dengan menambah bidang terapan dan
membantu putaran dan menurunkan penghalang potensial (lihat Gambar 10-7a).
2. Tunneling. Tunneling melibatkan beban transportasi melalui media isolasi yang
mengepang dua konduktor yang jaraknya sangat rapat. Fenomena tidak perlu
melibatkan elektroda planar. Konduksi listrik Flec pada film logam kontinyu
terjadi dengan tunneling elektron antar pulau saat jarak antarpartikel cukup kecil.
Pada nilai yang cukup tinggi, elektron menembus atau meloncat secara
horizontal (pada energi konstan ke keadaan band konduksi isolator yang kosong
daripada mengatasi B secara vertikal seperti pada emisi Schottky. Tunneling
tidak dapat terjadi secara klasik namun merupakan efek mekanika kuantum.
Karena gelombang logam mempunyai Fungsi yang luas untuk menjadi isolator,
ada kemungkinan elektron bisa mucul disana. Jika isolatornya cukup tipis,
katakanlah ¬30Å, fungsi gelombang elektron bahkan bisa meluas ke daerah logam
lawan.
3. Konduksi Space-Charge-Limited (SCL). Mekanisme bulk-limited ini terjadi
karena laju masuknya pembawa dari kontak melebihi tingkatnya di mana muatan
dapat diangkut melalui Sebuah awan muatan yang dapat menghambat masuknya
muatan lebih lanjut dan menyebabkan efek konduksi nonlinear. Pada tingkat
penmabahan pembawa yang rendah mematuhi hukum Ohm. Jika ada perangkap,
arus SCL akan berkurang karena pengangkut dilepaskan dengan perangkap
kosong. Untuk distribusi seragam bagian yang terperangkap dengan energi yang
didistribusikan ke seluruh celah pita, menyebabkan arus terionisasi termal ke
, di mana α konstan. Konduksi jenis ini telah diamati pada
lapisan tipis polimer.
4. Konduksi ionik. Konduksi suhu tinggi pada isolator film tebal dan bulk sering
terjadi dengan gerakan ionik dan bukan elektronika. Ion adalah pembawa besar
yang tidak efektif dengan mobilitas rendah. Mereka memerlukan aktivasi tinggi
(1-3 eV) untuk melakukan lompatan diffusive terdekat, dan ketika ion menyebar,
mereka juga mengangkut muatan. Karena transportasi ion pada dasarnya adalah
elektrolisis solid-state, spesies atom atau molekuler harus dibuang ke kontak.
Contoh penting dari konduksi ionik adalah migrasi ion natrium pada film tipis
SiO2. Fenomena ini menyebabkan ketidakstabilan operasi pada efek medan
transistor.
5. Konduksi intrinsik. Mekanisme ini melibatkan eksitasi elektronik langsung dari
valensi ke pita konduksi. Karena ER besar pada isolator, konduksi intrinsik
diabaikan pada suhu rendah.
6. Emisi Poole-Frenkel. Beban massal yang terjebak oleh tingkat ketidakmurnian
pada celah pita isolator dapat ditransfer ke pita konduksi dengan proses emisi
internal. Dalam emisi Poole-Frenkel,impuritas dipandang sebagai donor
terionisasi dengan potensi Coulomb seperti hidrogen. Saat diisi oleh elektron,
pusat maka cacat bersifat netral. Di percobaaan dengan terapan potensi distortif
secara asimetris, seperti yang ditunjukkan pada Gambar 10-8. Elektron yang
terperangkap dapat lolos dengan aktivasi termal pada penghalang energi yang
dikurangi sesuai dengan yang dibutuhkan untuk mengionisasi donor. Perhatikan
faktor 2 perbedaan antara poole-frankel dan emisi schottky yang timbul karena
pertimbangan beban tetap dan bukan pada gambar. varian dari emisi poole-frankel
melibatkan tunneling mekanis kuantum ke dalam band konduksi insulator oleh
elektron yang terperangkap dengan potensi donor yang baik. Karakteristik
mirip dengan tunneling untuk kasus ini.