TEKNOLOGI BAHAN DAN SENSOR

TUGAS RESUME SENSOR PRESSURE 2

(Munawar A Riyadi, Ph.D.)

oleh :
Ekocahyanto Sardjanto
21060118410002

Magister Teknik Elektro

Universitas Diponegoro
Semarang
 RESUME JOURNAL

Title Miniature Pressure Sensor Based On Suspensed MWCNT

Journal www.elsevier.com/locate/sna
Volume & Page Sensor and Actuator A 292 (2019) 11-16
Writer A.Z. Hajjaj, K.N. Chappanda, N.M. Batra, M.A.A. Hafiz, P.M.F.J. Costa,
M.I. Younis
Reviewer Ekocahyanto Sardjanto, S.T.
Date 12 Mei 2019
Research Method Mengkarakterisasi variasi dari tahanan listrik pada Suspend MWCNT
single, sebagai variasi tekanan udara yang terbuka / terpapar.
Tujuannya : Dengan menggunakan MWCNT dengan diameter besar, lebih
dari 100 nm (yang sebelumnya mayoritas menggunakan MWCNT kurang
dari 25 nm) akan mengakibatkan interaksi area permukaan antara udara dan
MWCNT menghasilkan peningkatan sensitivitas.
Result a. Karakteristik MWCNT
Hasil tampilan transmission electron microscope (TEM) terhadap
nanotube mengandung MWCNT, diameter 50 nm lebih mudah di
imaging daripada yang nanotube yang berdiameter > 100nm.
Kemudian untuk kristalisasinya pada MWCNT dengan spektrometer
Raman menunjukkan bahwa :Suspended MWCNT single memiliki
puncak yang bererbeda, seperti gambar 3b.
3b. Spektrum Raman dari suspended MWCNT menunjukkan D-band,
G-band dan 2D-band. Nilai ID/IG yang rendah menunjukkan
kristalisasinya dari MWCNT.
Sehingga, Struktur kristal yang tinggi dapat mengurangi resistansi
dan oleh karena itu dapat menjanjikan untuk dikembangkan sensor
tekanan dengan tegangan aktuasi rendah.

b. Response of Silicon Bridge

Untuk memahami keuntungan dari sensor pressure, membandingkan
analisis perangkat yang serupa yang terbuat dari silicon Si. Resistor
bridge dengan panjang 800 um, tebal 2 um dan kedalaman 30 um.
Setelah itu dilakukan variasi tekanan pada berbagai tegangan
electro-thermal untuk mengukur variasi resistansinya.
Hasilnya gambar 4 menunjukkan penurunan resistansi bridge
dengan tekanan saat voltase electro-thermal (VHT) konstan. Ini bisa
dijelaskan bahwa pengurangan suhu bridge sebagai peningkatan
terhadap tekanan.

Gambar 4. Persentase normal dari perubahan resistansi resistor

silicon jembatan dengan tekanan untuk VTH yang berbeda.
Referensi resistansi diambil setiap VTH vaccum = 6 mTorr.
Resistor jembatan memiliki panjang 800 um, tebal 2 um dan lebar
30 um.
c. Response of the Suspended MWCNT
Berlawanan dengan sebelumnya bahwa koefisien suhu resistansi
(TCR) MWCNT adalah negatif. Dibandingkan dengan silicon,
resistansi bridge MWCNT meningkat lebih tinggi terhadap
peningkatan tekanan udara sekitarnya.
Karena ini memungkinkan penggunaan tegangan drive yang rendah
akan menghasilkan lifetime lebih lama (karena kerusakan yang
timbul dari listrik secara termal).

Namun, dalam kasus kami, diameter besar> 100 nm memberikan

luas permukaan 50 kali lebih tinggi, tetapi sensitivitas hanya 2,5 kali
lebih tinggi dari SWCNT, karena adanya beberapa dinding besar
pada MWCNT.
MWNCT yang sangat kristalin dapat mengurangi tegangan driving
tetapi mungkin juga memiliki sensitivitas yang lebih rendah.
Sebaliknya, MWCNT amorphous mungkin memiliki sensitivitas
yang lebih tinggi tetapi dengan biaya tegangan driving yang lebih
tinggi dan stabil / reproduksibilitas yang lebih rendah.
Seseorang harus menyebutkan bahwa penggunaan suspended
MWCNT membuka kemungkinan untuk mengoperasikannya sebagai
resonator selain sebagai penghambat jembatan. Oleh karena itu,
selain variasi resistansi karena physisorption gas, frekuensi resonansi
mekanik dari MWCNT dapat digunakan untuk mendeteksi
perubahan fisik lain secara bersamaan.
Conclusion Singkatnya, kita menyelidiki sensor tekanan yang mengandalkan
perubahan resistansi pada individu suspend MWCNT. MWCNT
dengan diameter yang besar dipakai sejak memberikan area
permukaan yang besar untuk sensor dibandingkan dengan SWCNT
atau MWCNT ( dengan diameter relative kecil ). Meskipun area
permukaan sangat kecil daripada struktur bridge berbasis SI, CNT
menjanjikan kandidat untuk pengembangan sensor tekanan dengan
sensitivitas tinggi. Yang mana mempertahankan tegangan penggerak
yang konstan, tekanan dilacak oleh perubahan resistansi dalam yang
disebabkan physisorption dalam molekul oksigen pada suspensi
MWCNT. Sensitivitas tinggi juga ditunjukkan untuk perubahan
tekanan kelembapan udara disekitar, yang mencapai lebih daripada
40 % per bar perubahan resistansi. Meskipun berbeda tantangan dari
sensor tekanan yang diusulkan, keuntungan sensor yang diusulkan
adalah operasi sensor yang sederhana, disamping jangkaunan
operasi, ukurannya sangat kecil dibandingkan konvensional
diafragma berbasis pada sensor tekanan. Usulan sensor tekanan yang
menjanjikan untuk mengembangkan low voltage humidity dan
Oxigen sensor.