Nama : Alya Sholikhatul Choerunnisa

NPM : 3335170054

Problem 9.6.1

In the production of many microelectronic devices, continuous chemical vapor

deposition (CVD) processes are usedto deposit thin and exceptionally uniform silicon
dioxide films onsilicon wafers. One CVD process involves the reaction between
silane and oxygen at a very low pressure.

SiH4(g) + O2 (g)→ SiO2(g) + 2H2 (g)

The feed gas, which contains oxygen andsilane in a ratio 8.00 mol O-/mol SiH,, enters
the reactor at 298 K and 3.00 torr absolute. The reaction products emerge at 1375 K
and 3.00 torr absolute. Essentially all of the silane in the feed is consumed.

(a)Taking a basis of 1m3 of feed gas, calculate the moles of each component of the
feed and product mixtures and the extent of reaction, £(mol).

(b)Calculate the standard heat ofthe silane oxidation reaction (kJ/mol). Then, taking
the feed and

product species at 298 K (25"C) as references, prepare an inlet-outlet enthalpy table

and calculate and fill in the component amounts (mol) and specific enthalpies
(kJ/mol). (See Example 9.5-1)

Data

The temperatures in the formulas for C, are in kelvin.

(c) Calculate the heat (kJ) that must be transferred to or from thereactor (state which it
is). Then determine the reguired heat transfer rate (kW) reguired for a reactor feed of
27.5 m3/h.

Translate :
Dalam produksi banyak perangkat mikroelektronik, proses deposisi uap kimia kontinu
(CVD) digunakan untuk menyimpan film tipis tipis dan silikon yang sangat seragam
dioksida film-film onsilicon wafer. Satu proses CVD melibatkan reaksi antara silan
dan oksigen pada tekanan yang sangat rendah.

SiH4(g) + O2 (g)→ SiO2(g) + 2H2 (g)

Gas umpan, yang mengandung oksigen dan silan dalam rasio 8,00 mol O- / mol SiH4,
memasuki reaktor pada 298 K dan 3,00 torr absolut. Produk reaksi muncul pada 1375
K dan 3,00 torr absolut. Pada dasarnya semua silan dalam pakan dikonsumsi.
(a) Mengambil dasar 1m3 gas umpan, menghitung mol masing-masing komponen
umpan dan campuran produk dan tingkat reaksi, £ (mol).
(b) Hitung panas standar dari reaksi oksidasi silan (kJ / mol). Kemudian, ambil umpan
dan
spesies produk pada 298 K (25 ° C) sebagai referensi, siapkan tabel entalpi outlet-
masuk dan hitung dan isi jumlah komponen (mol) dan entalpi spesifik (kJ / mol).
(Lihat Contoh 9.5-1)
Dengan data :

Suhu dalam rumus untuk C, berada di kelvin.

(c) Hitung panas (kJ) yang harus ditransfer ke atau dari sana (negara yang itu).
Kemudian tentukan laju transfer panas yang diperlukan (kW) yang diperlukan untuk
umpan reaktor 27,5 m3 / jam.