1-1.

PENGANTAR

Elektronik semikonduktor modern membutuhkan perangkat yang lebih cepat dan lebih cepat
yang beroperasi dengan daya yang lebih kecil dan lebih kecil. Ini membutuhkan penskalaan
ukuran perangkat khas. Kemajuan teknologi fabrikasi telah menyebabkan penyusutan ukuran
fitur perangkat minimum dari sekitar 20 mikron pada awal tahun enam puluhan ke dimensi
submi cron pada akhir tahun delapan puluhan. Pada perangkat yang lebih pendek, elektron
membutuhkan waktu lebih sedikit untuk melakukan perjalanan melintasi perangkat, yang
mengarah pada kecepatan dan frekuensi operasi yang lebih tinggi. Selain itu, volume
perangkat aktif yang lebih kecil diterjemahkan menjadi daya pengoperasian yang lebih
rendah.

Saat ini, sebagian besar perangkat semikonduktor terbuat dari silikon. Namun, perangkat
submi cron yang terbuat dari senyawa semikonduktor seperti gallium arsenide berhasil
bersaing untuk aplikasi dalam gelombang mikro dan sirkuit digital ultra cepat. Karena
dimensi perangkat semikonduktor menyusut dan bahan semikonduktor majemuk yang lebih
rumit dan eksotis digunakan dalam sirkuit elektronik, fisika yang terlibat dalam memahami
perilaku perangkat menjadi lebih rumit dan lebih menarik. Dalam struktur perangkat novel,
dimensi sangat kecil sehingga efek kuantum menjadi penting atau bahkan dominan. Pada saat
yang sama, jumlah pembawa muatan dalam perangkat semikonduktor sangat besar dan
bahkan perangkat dasar merupakan sistem yang sangat rumit. Pemodelan, atau bahkan
kualitatif mengerti dari, sistem seperti itu menghadirkan tantangan yang berat. Dalam hal ini,
fisika perangkat semikonduktor berbeda dari kursus teknik "klasik" yang lebih mapan, seperti
medan elektromagnetik atau teori sirkuit. Materi yang disajikan di sini tidak begitu mapan
dan agak dalam keadaan fluks. Hukum Kirchhoff saat ini tidak akan pernah berubah Namun,
bahkan persamaan semikonduktor dasar yang telah digunakan selama beberapa dekade untuk
menganalisis perangkat semikonduktor harus dipertanyakan dan direvisi ketika diterapkan
pada perangkat yang sangat kecil.

Bab ini dimulai dengan diskusi singkat tentang mekanika kuantum dan persamaan Schrö
dinger, diikuti oleh diskusi tentang keadaan atom, ikatan kimia, struktur kristal, pita energi,
statistik semikonduktor, sifat transportasi, dan persamaan semikonduktor dasar. Selain itu, ini
mencakup ics top yang lebih canggih, seperti persamaan transportasi Boltzmann, simulasi
Monte Carlo, dan persamaan yang menggambarkan perangkat semikonduktor pendek di
medan listrik tinggi. Topik-topik ini biasanya dihilangkan dari kursus khusus tentang bahan
dan perangkat semikonduktor, dan bagian yang sesuai, 1-13, 1-14, dan 1-15 (ditandai oleh
tanda bintang pada Daftar Isi) dapat digunakan sebagai bahan untuk membaca lebih lanjut .
Namun, materi ini bermanfaat untuk pemahaman yang lebih dalam tentang perangkat canggih
dan konsep perangkat (topik yang dibahas pada Bab 7).

Materi dalam bab ini akan mempersiapkan siswa untuk analisis perangkat semi konduktor
yang diberikan dalam bab-bab selanjutnya dari buku ini. Pada saat yang sama, konstanta
material dan informasi lain yang seharusnya membuat bab ini bermanfaat sebagai referensi
bagi peneliti atau insinyur semikonduktor disertakan. Bab ini ditulis sedemikian rupa
sehingga tidak ada latar belakang khusus dalam mekanika kuantum atau fisika keadaan padat
yang diperlukan, meskipun seorang siswa yang tidak memiliki latar belakang seperti itu
mungkin harus menerima beberapa materi dalam bab ini tentang kepercayaan. Memecahkan
berbagai masalah yang menyertai bab ini adalah suatu keharusan bagi siswa seperti itu.
Banyak rujukan disediakan untuk studi lebih lanjut bagi pembaca yang mungkin tertarik
mempelajari lebih dalam tentang topik ini.

1-2 KONSEP MEKANIK KUANTUM DAN AMERIKA SERIKAT

Pemahaman kami tentang bahan semikonduktor dan perangkat didasarkan pada konsep
mekanika kuantum. Teori kuantum dimulai dari karya perintis Max Planck, yang
menjelaskan distribusi energi radiasi benda hitam. Blackbody didefinisikan sebagai objek
yang menyerap semua radiasi yang masuk di semua frekuensi. Seperti yang pertama kali
ditetapkan oleh Kirchhoff (1824-1887), spektrum benda hitam tidak tergantung pada bahan
yang dibuatnya. Realisasi hitam yang cukup baik adalah lubang kecil ke dalam rongga yang
menjebak dan menyerap semua radiasi yang masuk (lihat Gambar 1-2-1). Pada tahun 1900
Planck menunjukkan bahwa distribusi energi radiasi benda hitam hanya dapat dijelaskan jika
seseorang mengasumsikan bahwa radiasi ini dipancarkan dan diserap sebagai energi
kuantum-energi foton. Energi foton, E, sebanding dengan frekuensi cahaya, w,

E = ћω (1-2-1)

Gambar 1-2-1. Kemungkinan realisasi tubuh hitam menggunakan rongga dengan bukaan
kecil, menjebak, dan menyerap semua radiasi yang masuk. Gambar ini secara matic
menunjukkan pantulan sinar cahaya yang masuk.

dengan ħ = h / 2п adalah konstanta Planck yang berkurang dan h = 6.62x 10-34 J adalah
konstanta Planck.

Albert Einstein adalah yang pertama menunjukkan bahwa setiap foton memiliki
momentum

p = E/c (1-2-2)

di mana c adalah kecepatan cahaya. Arah momentum ini bertepatan dengan arah rambat
gelombang cahaya.
 Oleh karena itu, cahaya tidak hanya memiliki sifat gelombang dan juga partikel.
Konsep mekanika kuantum yang paling penting menyatakan bahwa semua materi, termasuk
elektron, berperilaku seperti partikel dan gelombang. Partikel dapat dikarakteristikkan oleh
fungsi gelombang, Ψ (x, y, z), sehingga probabilitas, P, untuk menemukan partikel dalam
volume mental yang meningkat dx dy dz sama dengan |Ψ(x, y, z) |² dx dy dz. Karenanya, Ψ
(x, y, z) adalah amplitudo kerapatan probabilitas untuk menemukan partikel pada titik ruang
tertentu. Untuk partikel di ruang bebas, fungsi gelombang adalah gelombang bidang; yaitu,
Ψ(x, y, z) sebanding dengan exp [i (kxx + kyy + kzz)], di mana komponen kx, ky, dan kare
dari vektor gelombang, k, terkait dengan panjang gelombang λ = 2п /|k|. Pada tahun 1924 de
Broglie meramalkan bahwa panjang gelombang yang terkait dengan partikel bebas (disebut
panjang gelombang de Broglie) diberikan oleh

λ= h/p (1-2-3)

Di sini p adalah momentum (p = mv, di mana m adalah massa partikel dan v adalah
kecepatan partikel). Seperti gelombang tetapi juga dualitas mirip partikel tercermin dalam
prinsip ketidakpastian, ditemukan oleh Werner Heisenberg pada tahun 1927. Heisenberg,
yang pada tahun 1932 menerima Hadiah Nobel untuk karyanya, menyatakan bahwa produk
yang tidak ternoda itu mencemari momentum partikel dan koordinatnya, 𝛥p dan 𝛥x, masing-
masing, selalu lebih besar dari ћ / 2:

𝛥p𝛥x> ħ / 2

Prinsip ini dapat dipahami jika kita mempertimbangkan upaya untuk menentukan posisi
partikel kecil, seperti elektron, dengan menyinari cahaya padanya. Bagi kita untuk "melihat"
partikel ini, itu harus mencerminkan setidaknya satu foton. Bahkan kemudian kita akan
mengetahui posisi partikel dalam ketidakpastian pada urutan panjang gelombang foton seperti
itu, λ. Selama refleksi foton, momentum partikel dapat berubah karena interaksinya dengan
foton. Oleh karena itu, ketidakpastian momentum partikel akan berada di urutan momentum
foton, ħk = 2пћ / λ. Oleh karena itu, produk dari ketidakpastian posisi dan momen partikel
tum akan berada di urutan (2пћ / λ ) ~ ħ, sesuai dengan prinsip ketidakpastian.Banyak
ilmuwan besar, termasuk Albert Einstein, telah mencoba untuk merancang beberapa prosedur
pengukuran lain yang dapat menghindari prinsip ketidakpastian.Namun, tidak ada yang
mampu untuk melakukannya.

Sangat sulit untuk sepenuhnya memahami dualitas gelombang-partikel dari alam:

partikel-partikel yang memiliki sifat mirip gelombang atau gelombang yang memiliki sifat
mirip partikel. Dualitas ini menentang gambar konvensional. Tetapi meskipun kita tidak bisa
cukup memvisualisasikan dualitas gelombang partikel ini, banyak data eksperimental telah
membuktikan kepada kita bahwa itu adalah ex. Di sini puisi Emily Dickinson "Chartless"
muncul di benak saya:

Saya tidak pernah melihat tegalan,

saya tidak pernah melihat laut,

namun saya tahu bagaimana penampilan heather

 dan bagaimana ombaknya.

Saya tidak pernah berbicara dengan Tuhan,

juga tidak mengunjungi Surga,

namun saya yakin dengan hal itu, seolah-olah bagan yang diberikan.

Dengan cara yang sama, kita tahu bahwa dualitas mekanika kuantum ada dan dapat
digunakan dalam interpretasi fenomena fisik.

Dalam semikonduktor pada suhu kamar kecepatan khas gerak elec tronic acak, υt,
berada di urutan 10 m⁵ / s. Massa elektron bebas adalah mₑ = 9,11 x 10⁻³¹ kg, sehingga p =
mₑυt ≈ 9 x 10⁻²⁶ kgm / s, k = p/ћ ≈8,6 x 10⁸/ m-, dan i = 2п / k ≈ 7,3 X 10⁻⁹ m = 73 Å. Oleh
karena itu, à dapat menjadi sebanding dengan dimensi perangkat semikonduktor kecil
(sekecil ini 200 di laboratorium dan 800 Å di perangkat praktis canggih). Pada prinsipnya,
bahkan objek makroskopis memiliki panjang gelombang de Broglie yang terkait. Namun, ini
sangat kecil (misalnya, λ = 10⁻³⁸ m untuk mobil 2.000 kg bergerak dengan kecepatan v = 55
mil per jam) sehingga tidak memiliki kepentingan praktis.

Oleh karena itu, seperti yang disebutkan sebelumnya, gerakan elektron bebas
dijelaskan oleh gelombang bidang. Frekuensi gelombang ini sebanding dengan energi
elektron.

Marilah kita sekarang mempertimbangkan sumur potensial satu dimensi yang tak
terhingga dalam. Pada kasus ini

U=∞ untuk x <0 (1-2-4)

U=0 untuk 0 <x <a

U=∞ untuk x> a

dimana a adalah lebar sumur potensial

Namun, solusi di daerah, di mana U = ∞, adalah Ψ = 0. Oleh karena itu, kondisi terikat untuk
sumur potensial adalah

Ψ=0 untuk x = 0 (1-2-5)

Ψ=0 untuk x = a
 Gambar 1-2-2. Tingkat energi terendah untuk sumur
potensial yang sangat jauh. Tingkat energi dihitung menggunakan persamaan. untuk mₑ=
9,11 X 10-11 kg dan u = 100 Å.

Mari kita perhatikan atom hidrogen yang hanya memiliki satu elektron dan inti
positif. Tingkat energi dan fungsi gelombang untuk elektron dalam atom gen hidro ditemukan
dari solusi persamaan Schrödinger yang tidak tergantung waktu . Potensi coulomb dan
beberapa tingkat energi pertama untuk atom hidrogen ditunjukkan pada Gambar 1-2-3.

Selain bilangan kuantum utama, n, ada tiga bilangan kuantum lagi yang menjadi ciri
keadaan elektronik dalam atom hidrogen: bilangan kuantum orbital, I, bilangan kuantum
magnetik, m, dan putaran, S. Ketergantungan sudut Ψ adalah ditentukan oleh bilangan
kuantum orbital, I, dan bilangan kuantum magnetik, m. Analisis persamaan Schrödinger
untuk atom hidrogen menunjukkan bahwa angka-angka ini dapat menerima nilai-nilai
berikut:

1 = 0, 1, 2, ..., n – 1 (1-2-6)

m = -l, -l + 1, ..., 1- 1,1 (1-2-7)

1
S = ±2 (1-2-8)

Setiap keadaan elektronik dalam atom hidrogen dapat dikarakterisasi dengan rangkaian empat
bilangan kuantum ini. Fungsi gelombang tergantung pada keempat bilangan kuantum.
Namun, energi elektron hanya bergantung pada n.

Perkiraan paling sederhana yang mungkin dalam pengobatan banyak-elektron pada

atom adalah dengan mengasumsikan bahwa fungsi gelombang adalah sama dengan yang
untuk atom hidrogen, dengan modifikasi bahwa muatan nuklir bukan q tetapi Zq, di mana Z
adalah nomor atom yang sama dengan ke jumlah proton dalam nukleus. Menurut prinsip
pengecualian Pauli, tidak ada dua elektron yang dapat menempati keadaan yang sama, yaitu
memiliki empat bilangan kuantum yang sama (termasuk putaran). Karena dua nilai putaran
1
dimungkinkan (S = ± 2), dua elektron mungkin memiliki nomor n, l, dan m yang sama.
Struktur elektronik atom kompleks dapat dipahami dalam hal pengisian.
 Gambar 1-2-3. Potensi Coulomb dan beberapa tingkat energi pertama dari atom hidro
gen (dalam satuan energi Bohr) vs jarak (dalam satuan jari-jari Bohr).

tingkat energi yang lebih tinggi dan lebih tinggi, dengan mempertimbangkan bahwa sifat
kimia ditentukan terutama oleh elektron terluar (valensi).

Jarak rata-rata elektron dari nukleus tergantung pada n. "Kulit" terdalam dari elektron
terdiri dari yang di negara n = 1, kulit berikutnya sesuai dengan negara n = 2, dll. Kerang ini
kadang-kadang diidentifikasi dengan huruf kapital dimulai dengan K:

n = 1, 2, 3, 4, ...

shell = K, L, M, N, ...

Tingkat energi dalam atom banyak elektron tidak hanya bergantung pada n (seperti
halnya atom hidrogen) tetapi juga pada 1 (karena penyaringan potensi nuklir oleh elektron).
Oleh karena itu, elektron dibagi lagi menjadi "subkulit" sesuai dengan nilai l. Subkulit ini
sering dilabeli dengan huruf kecil:

1 = 0, 1, 2, 3, 4, 5, ...

subshell = s, p, d, f, g, h, ...

Untuk I yang diberikan ada 21 + 1 nilai m, masing-masing sesuai dengan keadaan

yang berbeda, dan untuk masing-masing ini ada dua kemungkinan nilai putaran bilangan
kuantum. Level dalam subkulit yang berbeda diberikan pada Tabel 1-2-1.

Untuk elemen silikon (Si), germanium (Ge), gallium (Ga), dan arsenik (As) yang
sangat penting untuk elektronik semikonduktor — konfigurasi valensi diberikan oleh

Si (nomor atom 14): inti + 3s²3p²

Ge (nomor atom 32): inti + 4s²4p²

Ga (nomor atom 31): inti + 4s²4p¹

As (nomor atom 33): inti + 4s²4p³

Di sini "inti" berarti semua kulit dalam; digit pertama dalam term kedua adalah bilangan
kuantum utama dari shell-3 terluar (valensi) untuk Si, 4 untuk Ge, Ga, dan As. Superskrip
menunjukkan jumlah elektron dalam subkulit. Karena konfigurasi valensi Si dan Ge sangat
mirip (dalam kedua kasus kami memiliki dua elektron dan dua elektron p), kita dapat
berharap bahwa sifat fisik dan kimianya juga harus serupa. Memang, kedua elemen tersebut
adalah semikonduktor. Jika kita menggabungkan Ga dan As menjadi senyawa GaAs, masing-
masing atom, rata-rata, juga akan memiliki dua elektron dan dua elektron p. GaAs adalah
pasangan semikonduktor penting lainnya. Dengan cara yang sama, kita dapat membentuk
banyak senyawa semikonduktor dengan menggabungkan unsur-unsur lain dari kolom III dari
tabel periodik (memiliki tiga valensi elec tron, dua elektron s, dan satu elektron p) dengan
unsur-unsur dari kolom V (memiliki elektron valensi 5, sebagai, misalnya, elektron As-two s
dan tiga elektron p). Beberapa contoh senyawa III-V ini adalah GaAs, InAs, InP, AIAS,
GAP, AIP, InSb, BN, AIN, GaSb, dan GaN. Elemen-elemen dari kolom kedua dan keenam
dari tabel periodik (masing-masing memiliki dua dan enam elektron valensi) juga dapat
dikombinasikan untuk membentuk semikonduktor senyawa II-VI. CdS, Zns, CdTe, dan CdSe
adalah contoh semikonduktor majemuk II-VI. Selain itu, banyak semikonduktor senyawa III-
V dan II-VI dapat membentuk larutan solid-state, seperti Al, Gaj-As, di mana x adalah fraksi
molar Al. (Bahan tersebut disebut senyawa terner.) Dengan memvariasikan x dari 0 hingga 1
seseorang dapat mengubah sifat-sifat Al, Ga-As dari sifat-sifat GaAs ke sifat-sifat AlAs.
Senyawa khusus ini sangat penting karena konstanta kisi GaAs dan AlAs sangat dekat
(5,6533 Å dan 5,6605 A pada 300 K untuk GaA dan AIA, masing-masing). Itulah mengapa
AlGaAs dapat dengan mudah ditanam pada GaAs, membentuk heterostruktur, yaitu, struktur
yang mencakup dua bahan semikonduktor berbeda dalam kontak intim. Struktur hetereter
telah menemukan banyak dan semakin aplikasi penting dalam perangkat semikonduktor
novel dan sirkuit, yang dipertimbangkan dalam Bab 3, 4, 5, dan 7. Contoh penting lainnya
dari senyawa terner termasuk In, Ga-As, Gain, P, -x, dan Alzin-As. Selain itu, senyawa
kuarterner, seperti In Gal-As, P, -, juga dapat dibentuk. Pendekatan "rekayasa bahan ini
memungkinkan kami untuk merancang bahan duktor semikon dengan sifat yang diinginkan.
Namun, banyak dari bahan baru ini menuntut studi lebih lanjut dan penyempurnaan sebelum
mereka menemukan aplikasi pada perangkat berkinerja tinggi yang baru dan menarik di masa
depan.

1-3 IKATAN KIMIA

Konfigurasi elektron yang paling stabil sesuai dengan subkulit s dan p dari kulit terluar
(valensi). Memang, dalam sistem periodik, unsur-unsur yang memiliki subkulit penuh dan
penuh sesuai dengan gas inert. Sebagai contoh:

Ne 1s²2s²2p⁶

Ar 1s²2s²2p⁶3s²3p ⁶

Kr inti + 4s²4p⁶

Xe Inti + 5s²5p⁶

Rn Inti + 6s²6p⁶