Gas-gas tertentu mengerahkan aksi mematikan pada bakteri
dengan menghancurkan enzim dan struktur biokimia penting lainnya. Dari beberapa gas yang tersedia untuk sterilisasi, etilen oksida adalah yang paling umum digunakan. Etilen oksida adalah gas yang sangat mudah terbakar, sehingga dicampur dengan karbon dioksida atau nitrogen agar lebih aman digunakan.