1

SELAMAT DATANG DI KURSUS

ON

MICRO PEMESINAN PROSES

PROF. VK JAIN

dr. VK JAIN ​TEKNIK MESIN JURUSAN IIT KANPUR-

208.016 ​e-mail: vkjain@IItk.ac.in

Abrasive jet micromachining

2

Indeks

 ​Pendahuluan ​ ​parameter ProsesAJMM

 ​Mekanismedari removal material ​
fabrikasi pola Micro ​ ​teknologi Masking ​
Abrasive bubuk makan teknik ​ ​aplikasi ​
Keuntungan dan kerugian
3

Pendahuluan

 ​Abrasive Jet Machining Micro (AJMM)

adalah ​yang relatif baru
pendekatan ​untuk pembuatan struktur
​ ​AJMM adalah ​teknik yang
mikro. 
menjanjikan untuk pemesinan tiga dimensi
kaca dan silikon ​untuk
mewujudkanmikrolayak secara ekonomi.
sistem-elektro-mekanis (MEMS) yang  ​ ​Ini
menggunakan ​campuran cairan (udara atau
​ ​Berbeda
gas) dengan partikel abrasif​. 
dengan peledakan langsung, permukaan
terpapar sepenuhnya
pada ​aksi erosif dari sinar partikel. ​
Karenanya, sebelum diproses, bahan
substrat harussebagian
dilindungidengan menggunakan masker
​ ​Hanya jika topeng tidak
tahan erosi. 
melindungi benda kerja,material
pelepasanakan dilakukan.

Pendahuluan

 ​Metode ini digunakan untuk

membuatakurat ​lubang atau alur dangkal

yang, ​dan, dengan penggunaan masker,

pola pada bahan target.  ​ ​Erosi yang

dihasilkan dari bahan target dapat dikontrol
menggunakan ​masker dan dengan berbagai

parameter seperti sudut tumbukan dan

kepadatan fluks partikel, kecepatan, dan

​ ​Berbeda dengan metode

sifat-sifat partikel. 
mikro-fabrikasi konvensional, sepertibasah

etsadan kering, AJMM mampu

membuatanisotropik ​poladan struktur

tersuspensi dengan laju erosi tinggi dan

​ ​Secara global,
biaya yang relatif rendah. 
ia memperkenalkan konseppemesinan

presisi ​teknikpada peledakan konvensional

melalui ​penggunaanhalus dan ​partikel

abrasif yangkeras, perangkat pengumpanan

bubuk yang konstan, ​dan teknologi masker.

Pendahuluan

 ​Keuntungan AJM​: (1) modal rendah dan

biaya operasi, (2) ​proses ramah lingkungan,

(3) tidak ada bahaya kesehatan utama, dan

(4) kemampuan untuk mesin struktur

anisotropik dan suspensi di substrat yang

sama.

 ​Selain itu, ​beberapa fitur kedalaman ​dapat

dikerjakan pada substrat yang sama, tidak
seperti etsa kimia di mana seluruh ​substrat

terukir pada laju yang konstan.

 ​Aplikasi AJM yang tipikal meliputi

pengeboran, pemotongan dan ​ukiran kaca,

keramik dan beberapa material keras. ​Ini

juga dapat digunakan untuk label etch di

plastik dan logam, deburr, deflash dan

bahan bersih setelah permesinan

konvensional.

Skema diagram dari AJMM

7
Mekanisme Material Removal
8
Nozzle
Nozzle ujung jarak (NTD)
≈1mm
(c)
(a) ​(b) ​
 ​Pembakaran ​di NTD. perubahan
​ dimensi Jet →
rongga dengan perubahan ​ p​ artikel Abrasive
berulang kali memukul pada permukaan kerja. ​

Rapuh ​menghasilkan fraktur

​ ​rongga. memisahkan
​
partikel kecil (partikel aus) menjadi ​ ​Lebar rongga ≥
Diameter dalam nozzle. (Tergantung pada NTD). ​

rongga ​Partikel kedalaman

​ ​Massa tergantung
​ ​(atau

kerapatan) pada
​ pekerjaan ​dantekanan umpan
​
potongan ​(atau laju,
​ ​kecepatan abrasive
​ ​jet).
Udara + Partikel abrasif (Kecepatan 300-500 m / s)
Partikel aus Benda
kerja
Nozzle diam. (≈0.3 ke 0,5 mm)
Pakan
Abrasivepartikel
Kerjasepotong
rongga
Air / Gas Abrasives
9
Air Filter Cum kering
Compressor
Relief Valve
SOD
WP
Skema diagram dari AJM
tekanan ​
Abrasive ​ Alat pengukur ​pengumpan ​Tiriskan
Pembukaan ​katup
Tekanan regulator
Nozzle
berdiri off Jarak
Benda ​Jadwal
Mixing chamber
pengukur tekanan
prinsip AJMM
 ​Halus partikel abrasif mikro dipercepat dalam
aliran gas (umumnya udara pada
beberapakali tekanan atmosfer). ​ ​Partikel
diarahkan menuju fokus pemesinan (kurang dari 1
mm dari
ujung). ​ ​Ketika partikel-partikel berdampak pada
permukaan, partikel-partikel itu pecah dari
permukaan dan menciptakan
lubang. ​ ​Ketika partikel berdampak pada
permukaan, ia menyebabkan fraktur kecil, dan
aliran gas
membawa partikel abrasif dan partikel fraktur (aus)
menjauh.
10

Mekanisme pemindahan
material
 ​Untuk material ulet seperti Aluminium

yang mengeras ​karena deformasi

berulang, kemudian retakpermukaan

lapisan. Keausan
​ pemotongan: ​(oleh
FINNIE)
Terkait dengan gaya yang paralel dengan
permukaan

 ​Mirip dengan pelepasan material dalam Penggilingan

atau Penggilingan. ​ ​Untuk bahan ulet, keausan
pemotongan juga menjadi bukti.
Parameter Proses dari AJM
12
 ​Abrasif:

komposisi, kekuatan, ukuran, laju aliran

massa.
 ​Gas:

komposisi, tekanan, suhu dan kecepatan.

 ​Nosel:

Geometri, material, Stand-Off-Distance

(SOD) atau Nozzle-Tip- ​Distance (NTD), laju
umpan, sudut kemiringan ke normal ke
permukaan benda kerja.
Partikel abrasif
13
▪ ​Pilihan partikel abrasif tergantung pada jenis
operasi pemesinan.
▪ ​Abrasive harus memiliki bentuk yang tajam dan
tidak beraturan​untuklebih ​kinerja yangbaik.
▪ ​Cukup baik untuk tetap menggantung di gas
pembawa.
▪ ​Harus memiliki ​karakteristik aliran yang sangat
baik ​sehingga area yang sempit dan halus dapat
dijangkau oleh mereka.

➢ ​Al​2​O​3 :​ Untuk membersihkan, memotong dan

melemahkan ​➢ ​SiC :​ Aplikasi serupa dengan
Al​2​O​3 tetapi
​ untuklebih keras
bahan yang ​➢ ​Manik-manik kaca ​:​Finishing matte
➢ ​Sodium Bicarbonate ​: Membersihkan,
memotong dan melemahkanlembut
bahan
Gas pembawa

 ​Seharusnya menjadi ​non toksik, murah,

mudah​tersedia.

 ​Tidak ​harus suar berlebihan ​ketika dikeluarkan

dari nozzle.
➢ ​Gas yang umum digunakan adalah CO​2​,
nitrogen, dan udara.

➢ ​Udara lebih disukai ​karena ketersediaan

universal, praktis tanpa

biaya, dan sifatnya tidak beracun.

14
 ​Persyaratan berikut harus dipenuhi pada
desain nozzle:
➢ ​makan sistem Tekanan-kurang konstan.
➢ ​Kecepatan aliran udara supersonik ​di
nozzle. ​➢ ​Penyebaranhomogen di ​partikel
abrasif yangatas lebar
nosel. ​➢ ​Waktu umur panjang nozzle ​(Itu
harus menahanerosif
aksidari partikel abrasif) ​ ​Bahan untuk
nozzle: ​Tungsten Carbide (WC) dan safir

 ​Pengaruh kecepatan umpan

1. ​Kecepatan umpan rendahKecepatan

umpan ​2.2. ​Kecepatan umpan menengah ​3.3.
Umpan tinggiUmpan tinggi tingkat
bahan Nozzle
15 ​JAMAN YANG LEBIH BAIK?
Efek Stand-Off-Distance (SOD)
16​APA ITU KERF? ​SOD YANG LEBIH AKURAT: 0,5 mm,

1 mm?
Penurunan SOD meningkatkan akurasi,
mengurangi lebar garitan dan mengurangi
lancip di alur mesin.
Laju aliran abrasif

17

 ​MRR ​yang meningkat

​ ​mulai berkurang hanya
​
sampai nilai tertentu laju aliran abrasif di luar ​

Saat ​memotong abrasif

​ ​material laju
​ aliran ​juga
 meningkat meningkat,
​ ​sehingga jumlah
​

meningkat abrasif
​ ​MRR. partikel
​ ​ ​Setelah

menurun tertentu
​ ​dengan nilai
​ ​sejauh abrasive
​

itu menghasilkan aliran,

​ ​
penurunan tingkat
​ kasar

di MRR. kecepatan
​ aliran
Dalam kasus bahan ulet, material

dihilangkan dengan ​deformasi plastis dan

keausan pemotongan, atau regangan plastis

​ ​Fraktur ulet
dan keausan deformasi 
➢​Selama tumbukan, ketika kekuatan luluh

material ​terlampaui secara lokal, ​deformasi

plastis ​terjadi di sekitarnya dampaknya.

➢​Setelah beberapa tumbukan, lapisan
permukaan yang terdeformasi plastis dapat
terbentuk di dekat permukaan yang tererosi,

dan, oleh karena itu, kekuatan luluh ​material

meningkat karena ​pengerasan regangan​.

➢​➢​Setelah deformasi lebih lanjut, ​kekuatan

luluh pada permukaan ​material pada akhirnya akan

menjadi sama denganpatahnya

kekuatan​, dan tidak ada lagi deformasi plastis
yang akan terjadi.
➢​Pada titik ini, ​permukaan material menjadi

rapuh ​dan fragmennya dapat dihilangkan

oleh ​dampak selanjutnya.

Mekanisme pemindahan material (fraktur
ulet)
18

Mekanisme pemindahan material ​(fraktur

getas)
Selama proses erosi rapuh, dampak partikel
menghasilkan berbagai jenis ​retakan dan
chipping, dengan deformasi plastis yang
dapat diabaikan.

 ​Fraktur rapuh

Dalam kasus bahan rapuh, ini dapat terjadi

karena
➢ ​Lekukan indentasi ​➢ ​Deformasi
elastis-plastik ​➢ ​Teori regangan plastik
​ ​Retak radial dan propagasi atau
kritis ➢
kriteria energi permukaan

19

Kehilangan massa benda kerjabenda kerja

 ​Kehilangan massaKehilangan massa
benda kerja adalah loss sebanding dengan
jumlahabrasif
massa
1​
. ​kehilangan ​ 2​mv ​2 di
mana, K (> 2) adalah faktor tanpa dimensi, jumlah dan
kecepatan m dan v partikel, dan ρ dan H adalah
kepadatan dan kekerasan masing-masing material yang
tererosi. ​ ​Hubungandi atas berlaku untuk erosi
rapuh tetapi tidak untuk bahan lebih lembut

(elastomerdan beberapa logam) karena waktu

​ ​Khususnya pada sudut

perilaku erosi varian. 
tumbukan normal, partikel cenderung melekat

pada ​material, menghasilkan kenaikan awal

berat spesimen. ​ ​Setelah waktu inkubasi ini,

erosi kondisi-mapan terbentuk danmassa

kehilangandari material yang tererosi

 sebanding dengan jumlah partikel abrasif. 
​
The ​hasil empiris
​ ​bagiutamamassa hubungan
​

kerugian dan antara

​ ​jumlah erosi
​ ​abrasif,

tingkat ​dan E​
​ laju​partikel, dinyatakan
​ sebagai

kecepatan diberikan sebagai fungsi kekuasaan

oleh
20

tingkat v​
k ​kecepatan koefisien k umum dilaporkan untuk logam
antara 2,3 dan 3, ​untuk kacamata antara 2 dan 4 dan
untuk elastomer antara 1,8 dan 3,2
Pemesinan PMMA dan kaca
 ​AJMM dapat mengolah banyak dinding
samping yang lebih curam dan bagian bawah
yang lebih rata pada
​ ​Untuk
PMMA daripada yang ada di kaca. 
PMMA, hanya ada sedikit kemungkinan partikel
melambung
dari dinding samping yang curam dan
mengenai sisi yang berlawanan. ​ ​Selain itu,
ada kemungkinan partikel kehilangan lebih
banyak energi pada serangan pertama di
PMMA daripada di kaca, menyebabkan lebih
sedikit kerusakan selama serangan kedua.
Profil penampang saluran PMMA bertopeng yang khas:
(a) 1 lintasan, (b) 11 lintasan nozzle, (c) ​penampang
melintang saluran 250m yang dikerjakan dalam kaca
Borofloat setelah 11 lintasan. ​21
Getu et al. (2007) Micromachining jet abrasif dari
polymethylmethacrylate, Wear 263, 1008-1015.
Wakuda et al. (2002) Pengaruh sifat benda kerja pada machinability dalam
permesinan jet abrasif dari bahan keramik, Prec. Engg. J. dari Int. Soc.
untuk Prec. Engg. dan Nanotec., 26, 193–198.
 ​Penampilan lesung pipit selama AJM selama
10 detik. untuk berbagaipermesinan
setdari bahan abrasif dan keramik. ​ s
​ ifat-sifat
lesung pipit tidak berbeda dalam hal volume
yang dihilangkan, ​tetapi juga kekasaran
permukaan yang dihantam untuk kombinasi
berbeda dari ​partikel abrasif dan bahan benda
kerja.
22

Pengaruh berbagai abrasive dan wp. bahan

WA –Aluminium oksida, GC - ​Silikon ​karbida, SD -
Berlian sintetis
 ​Di AJMM, substrat harus dilindungi ​oleh
masker tahan aus yang berpola ​dengan kontur
yang diinginkan. ​ ​Topeng menentukan akurasi
dimensi dalam bidang struktur yang diinginkan. ​
Selama peledakan, benda kerja terpapar ​ke jet
udara abrasif (tekanan: 0,2 -0,8 MPa dan partikel
​ ​Strategi
abrasif: rata-rata dia .: 10 - 100 μm. 
pemindaian dan profil sinar partikel dari nosel
sangat penting) . ​ ​Semua langkah-langkah
proses dirangkum dalam Gambar.
fabrikasi pola Micro untuk AJMM
Taman et al. (2004) Micro-grooving kaca menggunakan
mikro
23
jet abrasif ​Teknologi ​mesin, ​146 ​Journal ​(2004) ​dari Bahan
234-240.
Pengolahan
Mikro proses pembuatan pola untukAJMM
teknologi Masking

 ​Kualitas topeng mempengaruhi kinerja

AJMM ​ ​Kualifikasi utama untuk bahan masker
yang baik adalah tingkat erosi yang rendah. ​
Ini juga membutuhkan kemampuan transfer
pola yang akurat dan mudah, dan
kemampuan untuk mempertahankan resistansi
dalam lapisan yang terputus-putus. ​ ​Tiga
kelompok bahan masker dapat diterapkan pada
AJMM:
 ​bahan ulet ​seperti logam, ​ ​bahan elastis
seperti elastomer dan ​ ​tahan foto ​seperti yang
digunakan dalam industri IC. ​ ​Ea tipe ch
memerlukan ketahanan erosi yang cukup
terkait dengan substrat
terutama pada sudut ledakan normal. ​
Selanjutnya, akurasi pencitraan yang dapat
dicapai menentukan kegunaan
topeng dan ukuran fitur minimum yang dapat
dicapai.

24

 ​Bahan ulet, seperti logam, memiliki tingkat

erosi yang rendah, terutama pada ​dampak
tegak lurus. Ini membuatnya cocok untuk
digunakan sebagaitopeng ​bahan.  ​ d
​ apat
digunakan dengan menggunakan pelat tipis
​ ​PolaMicro dapat
(misalnya baja tahan karat). 
dibuat dengan pengeboran mikro, penggilingan
mikro atau laser
mesin dalam jenis ini. ​ ​Untuk menerapkan
pelat masker ini untuk AJMM, dapat secara
magnetis dijepit ​langsung ke target atau
dengan memperkenalkanmenengah ​lapisan
perlindungan / adhesi.  ​ ​Lapisan logam yang
relatif tebal bertahan lama, sehingga masker
dapat digunakan
pada beberapa target. ​ ​Kerugian dari jenis
topeng ini adalah keterbatasan dalam ukuran
fitur ​(sekitar 50 μm) dan kendala pola (pola
melingkar tidak ​dapat digunakan karena bagian
dalam harus didukung).
Topeng Logam
25

 ​Untuk menggabungkan laju erosi yang

rendah dari suatu logam, dantinggi
resolusidari suatu proses litograf, sebuah
topeng logam dapat diterapkan pada ​target
dengan menggunakan lempeng listrik. ​
Tembaga digunakan dengan metode ini,
sementara topeng Seng dapat dibuat
dengan cara
membentuk-elektro. ​ ​(1), seluruh target
ditutupi olehtitanium (15 nm) / tembaga (400
nm)
lapisan benihdengan sputtering

 ​Untuk menggabungkan laju erosi yang

rendah dari suatu logam, dan resolusi tinggi
dari proses litograf, logam topeng dapat
diterapkan pada target dengan menyepuh
​ ​Ia berfungsi sebagaiadhesi
dgn listrik. 
menengah ​lapisan, antara target dan
tembaga​.
Topeng Logam
 Langkah-langkah
menerapkan masker
tembaga

26
 ​(2), foil polimer tebal yang biasa

digunakan dengan pelapisan ​diterapkan

sebagai cetakan di mana tembaga tumbuh.

 ​(3), Pola mikro didefinisikan secara
litograf. ​ ​(4), Sekarang target dilapisi
dengan tembaga.

 ​(5), Setelah itu polimer dihilangkan

dengan larutan KOH 10% pada ​suhu kamar.

 ​(6), Lapisan biji tipis di bawah cetakan

resisten umumnya tidak ​dihilangkan secara

​ ​tergores selama
terpisah, tetapi mudah 
peledakan

 ​Setelah peledakan, sisa tembaga ​dapat

dihilangkan dengan asam kuat, ​seperti
HNO​3​.
Logam topeng
 Langkah menerapkan
topeng tembaga

27
 ​Mekanisme erosi seperti karet bahan

berbeda pada dasarnya ​itu bahan rapuh

​ ​Tidak ada retakan lateral

atau ulet bahan. 
yang terbentuk pada elastomer seperti yang
ditemukan padarapuh ​bahan. 
​ ​Tidak ada
bukti pemotongan atau pembajakan yang

ditemukan pada ​logam. 

​ ​Karena
mekanisme erosi kelas bahan ini didasarkan

pada ​kelelahan, mereka menunjukkan

​ ​Bahan peka
ketahanan erosi yang baik. 
cahaya dapat dipola secara akurat

menggunakan ​litografi.

Fotosensitif-Elastomer bisa menjadi pilihan

​ ​Namun, berbeda dengan bahan

yang baik. 
ulet atau getas,elastomer

perilakutergantung pada suhu, laju

​ ​Dengan
deformasi dan ​kecepatan partikel. 
demikian elastomer dapat menunjukkan
perilaku ulet, elastis dan rapuh dan
percobaan harus dilakukan dalampraktis

​ ​Jenis topeng ini

yang relevan ​kondisi. 
biasanya menyediakan foil yang sudah jadi

dengan sifat perekat.

Topeng elastomer
28
 ​Ahli fotoresis adalah bahan yang peka
cahaya. ​ ​Ada dua jenis photoresists:
positif dan negatif​. ​ ​Untuk penolakan
positif, resistansi terpapar dengan sinar UV
di mana pun
bahan yang mendasarinya harus dilepas.
penolakan ​Dalamini, paparan sinar UV
mengubahkimia ​strukturdari resistansi
sehingga menjadi lebih larut dalam
pengembang. R ​ esist Tahanan yang ​terekspos
kemudian disapu oleh solusi pengembang,
meninggalkan jendela-jendela dari bahan
yang mendasarinya. ​ ​Dengan kata lain,
"pertunjukan apa pun, berjalan." Topeng,
oleh karena itu, ​berisi salinan persis pola
yang akan tetap di ​wafer.  ​ Penolak ​negatif
berperilaku dengan cara yang berlawanan.
 ​SU-8 berbasis epoksi adalah salah satu
yang baik negatif yang menolak. Ia mampu
menyediakan fitur dengan rasio aspek tinggi
(> 10) dengan UV-litografi.
Photo-resist mask
29

Masker logam: ​ ​Masker stainless steel

sangat cocok untuk kecepatan partikel

tinggi dan ​operasi pemesinan cepat. 

​
Struktur dengan rasio aspek tinggi dapat
dicapai karena tingkat ​erosi baja yang

​ ​Perhatian telah diberikan pada

rendah. 
lapisan perekat, yang seharusnya tidak

hanya ​menyatukan kedua bahan tetapi juga

​ ​Faktor pembatas untuk

menghindari etsa. 
semua topeng logam adalah lebar fitur dan

prosedur penataan di mana tidak ada kontur

​ ​Masker
yang berdiri bebas dimungkinkan. 
logam sebaiknya diaplikasikan untuksedang

dan besar ​ukuran. ​

Elastomer mask:
 ​Elastomer foil mudah untuk dipola dan

memungkinkan kompleksitas ​desain yang

tinggi tetapi prosedurnya agak memakan

 ​ ​Mereka tidak cocok untuk tekanan
waktu. 
udara tinggi karenaelastisnya ​perilaku

deformasi.
Perbandingan masker
30
 ​Adhesi secara signifikan lebih lemah
untuk pola kompleks danlebih ​kecepatan
partikel yangtinggi yang dapat
menyebabkan pelepasan foil dari ​substrat.
 ​Penerapannya terbatas pada benda kerja
tunggal dan ukuran fitur
hingga 75 μm.
Photo-resist mask:
 ​Kompromi yang baik dalam hal ukuran
fitur dan akurasi gambar
memberikan SU8 berbasis foto-resist. ​
Kelemahan adalah peralatan mahal untuk
menyiapkan masker dan
selektivitasnya rendah.
 ​Karena ketebalan maksimum lapisan SU8
adalah sekitar 300 μm, tidak ada ​rasio aspek
tinggi yang dapat dicapai dan aplikasinya
terbatas pada ​rongga yang dangkal.
Perbandingan masker
31
 ​Salah satu kesulitan utama dengan
proses AJMM adalah penanganan
partikel abrasif yang sangat halus. ​Flow
Aliran dan kompatibilitas bubuk sangat
dipengaruhi oleh
ukuran partikel, distribusi ukuran, kadar air,
dan tekstur permukaan. ​ ​Adhesi
antar-partikel semakin ditingkatkan oleh uap
air yangteradsorpsi ​mudahkehigroskopis ini
(memiliki kecenderungan untuk menyerap
permukaanuap air).  ​ ​Akibatnya,
kelembaban relatif dari udara yang disimpan
dapat memilikibesar
pengaruhpada kekuatan perekat pada
antarmuka partikel. ​ ​Selanjutnya, diketahui
bahwa pergerakan serbuk mengarah
dengan cepat ke stratifikasi dan penciptaan
gradien ukuranpartikel ​dan / atau bentuk. ​
Masalah-masalah seperti itu mengakibatkan
perubahan laju aliran massa bubuk
selama percobaan AJMM.
Pengumpanan bubuk abrasif
32
APA ITU PERMUKAAN HYDOPHOBIC?

TIDAK MEMILIKI AFFINITAS UNTUK AIR

 ​Kontrol umpan bubuk dari dua sistem
peledakan mikro dianggap menjadi
dua jenis.
➢ ​bertekanan sistem pakan bubuk ​➢
Fluidized sistem tidur bubuk semprot

 ​Pendekatan lain untuk mengendalikan

laju aliran massa bubuk termasuk ​getaran
dan sekrup atau auger makan di mana
bubuk diumpankan ke ​udara menyampaikan
melalui auger​(miripdengan alat yang
digunakan untuk ​membosankan bumi). ​
Memperkenalkan vibrator ke sistem sekrup
meningkatkan kemantapan
pakan bubuk ​ ​Namun peningkatannya
berkurang dengan material yang lebih
kohesif ​seperti zeolit ​dan bubuk semen
karena fenomena seperti ​penghubung
bubuk, pemadatan, dan aglomerasi.
Kontrol pemberian makan bubuk
33
 ​Serbuk dimasukkan ke aliran udara dari

reservoir bertekanan ​melalui lubang dan

ruang pencampuran. 
​ ​ istem
S
menggunakan katup berosilasi yang
membagi siklus operasi ​menjadi dua

bagian. 
​ ​Siklus operasi diaktifkan oleh

saklar hanya setelah seluruh ​sistem,

termasuk waduk, telah awalnya telah

bertekanan dengan menutup akhir nozzle

dan membuka katup berosilasi untuk

pasokan udara utama.

 ​Selama paruh pertama siklus operasi,
katup berosilasi terbuka, memungkinkan
udara mengalir dari pengatur tekanan ke
ruang pencampuran sementara beberapa
memasuki reservoir bubuk dan sisanya
mengalir keluar melalui nosel yang terbuka.
34

bertekanan sistem pakan bubuk

 ​Hal ini selama ini pertama setengah siklus
yang setiap bubuk yang telah memasuki

ruang pencampuran dipaksa keluar dari

​ ​Pada paruh kedua siklus, katup

nozzle. 
berosilasi ditutup, ​menghentikan aliran

udara melalui sistem. 

​ ​Pada titik ini,
reservoir masih bertekanan,

tetapipencampuran ​ruangberada pada

tekanan atmosfer karena nozzle terbuka. 

​
Ini menciptakan perbedaan tekanan yang

memaksa bubuk turun ​melalui lubang di

bagian bawah reservoir dan ke dalam ruang

pencampuran.
 ​Katup berosilasi kemudian membuka ​lagi
dan siklus diulang. ​ ​KontrolTerbatas dari
laju aliran massa bubuk adalah mungkin
dengan mengatur laju aliran udara melalui
reservoir, dengan mengubah orifice by
pass, dan ukuran lubang waduk. ​35
Sistem umpan serbuk bertekanan Sistem
semprot serbuk bed

terfluidisasi  ​Dalam sistem ini, aliran udara

berkecepatan tinggi ke atas dari dasar

reservoir melalui bedengan bubuk

menciptakan awantersuspensi ​partikel. 

​
Beberapa di antaranya dimasukkan ke
corong pengumpulan di bagian atas

reservoir yang terhubung ke aliran udara

yang mengarah ke nozzle. ​ ​Laju aliran

massa dapat diatur sampai batas tertentu

dengan mengubah ​diameter corong.

  ​Fluidized bed bubuk semprot
dioperasikan pada bubuk laju aliran massa
jauh lebih tinggi dari sistem pakan bubuk
bertekanan  ​ ​Laju aliran massa serbuk
yang diperoleh oleh sistem fluidized
menurun dengan cepat sebagai bedak di
waduk itu dikonsumsi

36

Faktor yang mempengaruhi bubuk konstan

makan
Powder pemadatan  ​ ​ini Fenomena ini
biasanya terjadi padapakan serbuk
bertekanan ​sistem. Serbuk dipadatkan
dengan kuat selamaAJMM ​proses. Dan
dengan cara seperti itu, rongga sering
terbentuk di sekitar ​lubang, kemungkinan
menyebabkan variasi dalam laju aliran
massa bubuk sebagai ​dinding rongga
runtuh secara acak, menyuntikkan
semburan bubuk ke dalam ​nosel.

 ​Untuk mengurangiserbuk ​pemadatandi

reservoir sistem umpan bubuk bertekanan,

sistem dapat dimodifikasi dengan

memasangputaran variabel yang berputar di

mixer listrikatas reservoir ​dengan poros

yang melewati ​bantalan seal tekanan yang

telah ​dipasang kereservoir. ​tutup.

37
Efek dari tingkat bubuk reservoir ​ ​Laju
aliran bubuk dalam sistem fluidized adalah

urutan ​besarnya lebih tinggi dari pada

​ ​Ditemukan memiliki
sistem bertekanan. 
pengulangan yang baik ketika tingkat bubuk
di ​reservoir dipertahankan pada tingkat

yang konstan.

Stratifikasi bubuk ​ ​Bubuk stratifikasi saat

mereka mengalir dan itu tergantung pada
​ ​Waktu pencampuran
ukuran partikel. 
tampaknya tidak mempengaruhi

derajatpartikel ​stratifikasisecara signifikan.

 ​Karena itu, distribusi ukuran bubuk

berubah saat peledakan, karena ​partikel

yang lebih kecil dikeluarkan terlebih dahulu,

meninggalkan partikel yang lebih besar

​ ​Namun,
untuk tetap berada ​di reservoir. 
dalam sebagian besar aplikasi praktis,

jumlahrelatif kecil ​bubuk yangdigunakan

selama operasi pemesinan tunggal, dan

karena itu ​perubahan yang dapat diabaikan

dalam distribusi ukuran bubuk terjadi. 

​
Namun demikian, untuk memastikan hasil

yang berulang, reservoir bubuk ​harus

dikosongkan dan sering diisi dengan bubuk

segar.
Faktor yang mempengaruhi bubuk konstan
makan
38
Powder kelembaban ​ ​Sifat mekanis dari
bubuk dipengaruhi oleh kelembaban. ​
Meningkatkan kelembaban mengurangi
ketangguhan retak, yang dapat
memiliki efek besar pada tingkat erosi
partikel padat yang dihasilkan. ​
Kelembaban juga dapat sangat
mempengaruhi flowability bubuk dan
pengulangan laju aliran massa partikel,
karena memiliki efek langsung pada ​adhesi
antar-partikel. ​ U​ ntuk meminimalkan efek
ini, karung pengering ditempatkan di dalam
botol penyimpan bubuk tertutup, dan
pengering udara berbasis pengering dan
pendingin digunakan untuk mengeringkan
udara tekan.  ​ ​Namun, mencapai reservoir
bubuk yang bebas kelembaban, sulit ​karena
paparannya yang sering terhadap
kelembaban atmosfer ketika ​dibuka untuk
​ E
diisi ulang.  ​ fek ini diminimalkan dengan
memastikan bahwa bubuk dibiarkan di
reservoir untuk jumlah waktu minimum. ​
Penggunaan alat pencampur juga diduga
membantu memutus
ikatan partikel-partikel
yang disebabkan
oleh kelembaban.
Faktor-faktor yang
mempengaruhi
pemberian makan
bubuk konstan

39
40
PENGARUH MATERI MASKER TERHADAP TARIF
EROSI (16)
Gambar.5 Perubahan massa selama peledakan (16)
41
Pengamatan permukaan setelah peledakan: (a) Gambar
Pro; (B)tunggal ​dampakdalam Rayzist; (c) SU8; (D) riak
pada permukaan UltraPro (16)
42
Koefisien kecepatan laju erosi (16)
43
Laju erosi tergantung pada kekerasan bahan untuk
beberapapartikel ​kecepatan(16)
44
Kualitas permukaan tergantung pada kecepatan partikel
(16
 peledakan dengan
0.8MPa; (d) ​pelebaran
Gambar Pro setelah
peledakan dengan
0.4MPa (16)

45)
Akurasi pencitraan: (a )
dan (b) lubang 1 mm pada
baja dan menghasilkan
etsa dalam gelas setelah
peledakan dengan 46
0.8MPa; (c) ​struktur Pengulangan laju aliran
0.3mm yang ditumbuhkan massa bubuk dalam sistem
dalam seng setelah bertekanan Percobaan
berturut-turut menggunakan 5 s, (▲) 10s, ​(●) 120 s. (21)
waktu sampling: (◆) 2 s, (■)

47
Aliran massa tingkat sebagai fungsi dari tingkat
bubuk dalam sistem fluidized (21)
48
desain nozzle Laval. Bagian atas piring dihapus (32)
 dengan Model dan diukur
partikel distribusi
kepadatan di pintu keluar
dari kedua nosel (32).

49
50
dengan Model dispersi partikel dan jet ekspansi setelah
meninggalkan nosel
51 52
Profil kecepatan aksial Intensitas energi distribusi
terukur dari kedua nosel (32) 500 partikel untuk 0.8MPa
(32).
53
Profil peledakan dengan nosel diam (32).
Penampang terukur dari kedua profil peledakan (32).

 ​Menghilangkan lem dan cat dari lukisan

dan benda-benda busa ​ ​Permukaan interior
buram tabung gelas ​ ​Etsa / penandaan pada
tabung kaca

54
 ​Kedalaman dangkal pada bahan keramik ​
Parit untuk aplikasi mikro-medis ​ ​Mesas untuk
mengurangi area permukaan chuck dan

lainnyasemikonduktor ​komponen 
​ ​rongga
Referensi untuk sensor tekanan ​ ​Thru-lubang
untuk udara dan aliran kimia ​ ​rongga untuk
lokasi mekanik  ​ ​Menghapus flash dan berpisah
baris dari injeksi membentuk bagian  ​ ​Deburring
dan polishing plastik, nilon dan teflon komponen
 ​Membersihkan gigi berlubang cetakan logam
yang jika tidak mungkin tidak dapat diakses ​
Pemotongan komponen rapuh yang dipotong
tipis yang terbuat dari kaca, keramik, dll.
Aplikasi
 ​Gbr. (b) menunjukkan
balok penyangga yang menyempit dengan
duamiring ​eksposurpada suhu 45o.
serbuk dari kedua sisi
media. (b) Balok
penopang kaca
55 diwujudkan dengandua
(a) Gambar balok langkah ​proses
accelerometer terwujud peledakan serbuk
dalam dua langkah sudutdari satu sisi
dengan peledakan wafer.
 ​Balok kantilever di wafer kaca Pyrex untuk

aplikasi sensor inersia dapat ​dibuat oleh AJMM.

 ​Gbr. (A) dibuat oleh proses erosi dua langkah:
langkah pertama terdiri dari etsa ​melalui wafer

lengkap (penginderaan massa dan balok

penyangga tebal) ​ ​Dengan menggunakan

masker kedua, secara lokal menipiskan balok

penopang untuk menyetel ​resonansi frekuensi

​ ​Hasil tersebut dapat diperoleh

perangkat ini. 
dalam satu langkah menggunakan ukuran
masker
tergantung pada tingkat erosi proses AJMM. ​
Cara lain untuk mengubah geometri balok

penyangga massa ​(frekuensi resonansi), adalah

dengan menerapkan proses erosi miring.

Aplikasi - Aplikasi Mikro Accelerometer
Beam
- Matriks mikro E-core

 ​Aplikasi lain yang memungkinkan dari

teknologi peledakan serbuk adalah
mikrostruktur substrat ferit. ​ ​Gambar.
Menunjukkan matriks E-core selebar 4 mm,
terstruktur dalamsetebal 1 mm ​substrat
ferituntuk aplikasi perangkat magnetis seperti
transformer mikro  ​ ​Dalam hal ini, peledakan
serbuk terbukti bukan hanya yang paling tepat,
tetapi juga cara yang sangat cepat dan murah
untuk mendapatkan struktur seperti itu.
Miniaturisasi ​E-​struktur
mikroskor oleh AJMM
dalam1 mm ​substrat ferit
setebaluntuk aplikasi
perangkat magnetis

56
Aplikasi - Chip Capillary Electrophoresis (CE)
 ​Perangkat ini terdiri dari chip kaca yang
berisipemisahan tunggal
saluranserta deteksi konduktivitas terintegrasi
sel. ​ ​Berbeda dengan sebagian besar
perangkat kaca mikro-fluida, saluran tidakbasah
tergoresdalam HF tetapi dibuat oleh AJMM yang
memungkinkan pembuatan ​struktur mikro di
bawah 100 μm, dan juga membuatlubang paralel
pemesinandengan biaya yang sangat rendah di
luar lingkungan ruang bersih.
(a) ​Topeng tata letak chip CE. Dua desain elektroda yang berbeda
dimasukkan. (B) ​57
chip CE selesai. Ukuran chip 9x17 mm2 dimensi saluran pemisahan:
​ ​m lebar, kedalaman 22 μ
panjang 6 cm, lebar 85 μ ​ ​m
Aplikasi - 3D struktur mikro yang ditangguhkan
 ​Kompleks tiga dimensi dan struktur mikro
yang ditangguhkan monolitik dalam
gelas diwujudkan menggunakan AJMM normal
dan miring. ​ ​Dengan mengendalikan etsa di
bawah yang disebabkan oleh peledakan AJMM
miring, ​mikrostruktur tinggi milimeter dalam
kaca dapat dibuat denganaspek ​rasio5:10, serta
struktur monolitik 100-μm yang berdiri bebas,
ditangguhkan hingga beberapa milimeter.  ​ ​Ia
juga mengamati bahwa topeng resisten
flexo-polimer sebagai alternatif yang baik untuk
masker kontak logam untuk struktur yang
terwujud pada kejadian normal.
58
(a) ​SEM normal struktur jet (90containing o)​
​ diikuti tiga dengan sebuah gelas jet miring
ditangguhkan (50​o).​cantilever (b) Tampilan balok lebih dekat dari realisasi struktur
dalam dua langkah:

Aplikasi - 3D Pasif Glass Micro mixer

 ​Mixer mikro pasif dengan fitur 3-dimensi yang

dibuat oleh proses AJMM ​dengan menggunakan

photopolymer sebagai masker pada target slide

kaca (Gambar . (a), (b), ©)  ​ ​Topeng yang

menggunakan SU8, polimer fotosensitif diterapkan

sebagai pola-mikro untuk ​proses AJMM. 

​ ​Proses
fabrikasi melibatkan tiga slide target kaca dan

melakukanmulti- ​prosesmasking dengan empat

pola mask yang berbeda.  ​ ​Mixer mikro dibuat

diusulkan memiliki panjang keseluruhan 13 mm

dan ​lebar2,5​mm. 
​ ​Saluran mikro memiliki bentuk
setengah lingkaran, dengan lebar rata-rata 350 μm

​ ​Tiga lapisan
dan kedalaman rata-rata 150 μm. 
kaca berhasil diikat dalam satu langkah

menggunakanlangsung ​metode ikatan.

perbandingan mikro-mixer seperti
pegas 3D (a) dengan koin satu sen; (b)
sisi tampilan, (c) penampang
pandangan

59

Keuntungan
 ​biaya perkakas Minimal ​ ​Cepat berbalik
untuk prototipe dan pengembangan ​ ​Fitur
ukuran turun ke 100 um dan fitur kedalaman
hanya beberapa
mikron yang mungkin  ​ ​lokasi Fitur dan
dimensi toleransi hingga +/- 25 mikron
dimungkinkan  ​ ​Beberapa fitur dapat
dikerjakan dalam satu operasi  ​ ​Kerapatan
pola sangat tinggi dimungkinkan  ​ ​Fitur
dapat berupa bentuk 2D apa pun: persegi,
bulat, bentuk yang dirancang,
dan saluran yang terhubung  ​ ​Masker
dibuat langsung keluar file CAD mengurangi
risiko
kesalahan pola ​ ​Proses tidak
menghasilkan panas dan tidak
mengubahmaterial
sifatdari benda kerja
60
 ​Proses bekerja dengan baik dengan
bagian-bagian yang
Keterbatasan

dilarutkan ​Tidak seperti dinding sisi vertikal

yang dihasilkan oleh permesinan ultrasonik,
fitur mesin peledakan abrasif memiliki
dinding samping meruncing mulai dari 18
hingga 26 ̊, tergantung pada beberapa faktor
 ​Rasio aspek maksimum adalah 3: 1
(Ketebalan: Diameter) ​ ​Aplikasi dibatasi
untuk b bahan rapuh karena MRR rendah
jika bahan ulet ​ ​Beberapa kali operasi
pembersihan tambahan diperlukan
untukmesin
bagian-bagianuntuk menghilangkan
abrasive dari permukaan ​ ​Akurasi
pemesinan buruk  ​ ​Tingkat keausantinggi
nosel ​Proses cenderung mencemari
lingkungan

61

Q
​ 1​. Spesimen kaca
Masalah- 1 ​ 62​

ditutupi oleh topeng logam dengan

ketebalan ​
100 μm dan pola lubang
berdiameter 80 μm. Spesimen
adalahsoda ​slide kaca kapurdengan

ukuran 250x250x1.2 mm​3​. Tekanan udara

2 MPa memberikan kecepatan aliran jet

150 m / s. Sistem AJMM ​menggunakan

alumina sebagai abrasif dan mengatur

laju umpan pada 0,02 g / s. Berapa ​lama

untuk mendapatkan lubang mikro? 

​
Solusi: ​ ​** (Dari Persamaan (1)) ​Prinsip:

“​Kehilangan massa erosi ​sebanding

​ ​→ benar untuk
dengan ​jumlah ​abrasive​” 
erosi paling rapuh ​ ​Di mana: ​K = faktor

tanpa dimensi  ​ ​m = jumlah partikel (kg)  ​

v = velocity of particles (m/s) ​ ​ρ = density
of the eroded material (kg/m​3​) ​ H​ =
hardness of the eroded material (kg/mm​2​)
Solution:
63
 ​(​From the problem and standard) ​ ​Sodalime glass = brittle
material ​ ​Erodent = alumina = abrasive particles ​ ​Abrasive
feed rate = 0.02 g/s = 2 x 10​-5 ​kg/s ​ ​gravity = 9.8 m/s​2 ​
(Density) ρ-alumina = 3.95 gr/cm​3 ​= 3950 kg/m​3 ​ ​(Density)
ρ-soda lime glass = 2.5 gr/cm​3 ​= 2500 kg/m​3 ​ ​Hardness-soda
lime glass = 585 kg/mm​2 ​= 586 x 10​6 ​kg/m​2 ​ ​v-abrasive = 150
m/s ​ ​dia.-hole = 80um ​ ​height-specimen = 1.2 mm = 1200
μm ​ ​K-metal = 2.3 ~ 3 
​ ​100 μm  ​ ​D80 um  ​ ​1200 μm  ​

Soda lime glass ​ ​Metal mask ​ ​Volume-hole 12

​ ​m​3

= πr​2​h = (3.14)x(40 μm)​2​x (1200 μm) = 6.0 3x10​6 ​μm 3​​ = 6.03x

10​-
 ​m-abrasive ​23.73x 10​-9 ​kg

= volume-hole x ρ-alumina = (6.03 x 10​-12 ​m​3​) x (3950 kg/m​3​) =

100 ​Metal mask 1200 μm ​D80 um
μm

Soda lime glass

Volume-hole = πr​2​h = (3.14)x(40 μm)​2​x (1200 μm) =

6.03x10​6 ​μm 3​​ = 6.03x 10​-12 ​m​3
•​m-abrasive = volume-hole x ρ-alumina = (6.03 x 10​-12 ​m​3​) x
(3950 kg/m​3​) = 23.73x 10​-9 ​kg

Weight.loss = K x ​= 3 x (2500) (ρ/H)​

​ kg/m​soda 3​ ​lime ​x
2​
​ (1⁄2) ​. 10​6​)m​x (m ​2​/kg xv​
(1/586 ​glass x ​ x ​ )​(1⁄2) ​abrasive ​x

(23.73. 10​-9​) kg x (150)​2 ​m​2​/s​2

= 3.36 x 10​-9 ​kg.m/s​2

Weight.loss = mxg ​→ ​m = weight.loss / g = (3.36 . 10​-9​)

kg.m/s​2 ​x (1/9.8) s​2​/m = 0.34 x 10​-9 ​kg

Feed rate = m / t → t = m / federate = 0.234 . 10​-9 ​kg x (1 / 2.10​-5​)

s/kg
64 = 0.258 x 10​-4 ​s
65