Berikut ini tata cara melaksanakan shalat tahajud yang benar :

1. Niat sholat Tahajud, Niat diucapkan dalam hati (bukan diucapkan dengan lisan) dilakukan pada saat takbiratul Ihrom
2. Melakukan Takbir (Takbirotul Ihrom), ‘Allahu Akbar’  sambil mengangkat ke dua tangan sejajar deangan bahu
3. Membaca surat Alfatihah, Alfatihah wajib hukumnya dibaca, kemudian dilanjutkan dengan bacaan surat Al-qur’an yang
sudah dihafal
4. Ruku’, Membungkuk sambil memegang ke dua lutut sehingga kepala dengan punggung rata
5. I’tidal, Berdiri tegak setelah selesai ruku’ (mebaca tasbih)
6. Lanjutkan seperti melaksanakan sholat pada umumnya

Bacaan Doa Setelah Sholat Tahajud dalam Bahasa Indonesia :

Allahumma lakal hamdu Anta nuurussamaawaati wal ardhi wa man fiihinna. 

Walakal hamdu Anta Qoyyimussamaawaati wal ardhi wa man fihinna. 

Walakal hamdu Anta robbussamaawaati wal ardhi wa man fiihinna 

Walakal hamdu Anta mulkussamaawaati wal ardhi wa man fiihinna 

Walakal hamdu Anta mulikussamaawaati wal ardhi 

Walakal hamdu, Antal haqqu wa wa'dukal haqqu, wa qoulukal haqqu, wa liqoo ukal haqqu. 

Waljannatu haqqun wannaaru haqqun 

Wannabiyyuuna haqqun, wa Muhammadun haqqun, wassaa 'atu haqqun. 

Allahumma laka aslamtu. Wa 'alaika tawakkaltu. Wabika aamantu . 

Wa ilaika aanabtu. Wabika Khooshomtu. Wa ilaika haakamtu. 

Faghfirliiy maa qoddamtu wa maa akhkhortu. Wa maa asrortu wa maa a' lantu. 

Antal muqoddimu wa Antal mu akhkhiru. Laa ilaa ha illaa anta 

Anta ilaahii Laa ilaaha illaa Anta 

Terjemahan Doa Setelah Sholat Tahajud :

"Ya, Allah! Bagi-Mu segala puji, Engkau cahaya langit dan bumi serta seisinya. Bagi-Mu segala puji, Engkau yang mengurusi langit
dan bumi serta seisinya. Bagi-Mu segala puji, Engkau Tuhan yang menguasai langit dan bumi serta seisinya. Bagi-Mu segala puji
dan bagi-Mu kerajaan langit dan bumi serta seisi-nya. Bagi-Mu segala puji, Engkau benar, janji-Mu benar, firman-Mu benar,
bertemu dengan-Mu benar, Surga adalah benar (ada), Neraka adalah benar (ada), (terutusnya) para nabi adalah benar,
(terutusnya) Muhammad adalah benar (dari-Mu), peristiwa hari kiamat adalah benar. Ya Allah, kepada-Mu aku pasrah, kepada-Mu
aku bertawakal, kepada-Mu aku beriman, kepada-Mu aku kembali (bertaubat), dengan pertolongan-Mu aku berdebat (kepada
orang-orang kafir), kepada-Mu (dan dengan ajaran-Mu) aku menjatuhkan hukum. Oleh karena itu, ampunilah dosaku yang telah lalu
dan yang akan datang. Engkaulah yang mendahulukan dan mengakhirkan, tiada Tuhan yang hak disembah kecuali Engkau,
Engkau adalah Tuhanku, tidak ada Tuhan yang hak disembah kecuali Engkau".

Setelah membaca doa sesudah sholat tahajjud diatas dianjurkan pula membaca Do'a keselamatan Dunia Dan Akhirat :

َ ‫َر َّب َنآ َءا ِت َنا ِفى ال ُّد ْن َيا َح َس َن ًة َو ِفى ا ْل َءا ِخ َر ِة َح َس َن ًة َو ِق َنا َع َذ‬
ِ ‫اب ال َّن‬
‫ار‬
Artinya : "Ya Tuhan kami, berilah kami kebaikan di dunia dan kebaikan di akhirat dan