Lihat diskusi, statistik, dan profil penulis untuk publikasi ini di: https://www.researchgate.

net/publication/285988329

Sensor Gas: Ulasan

Artikel di Sensor dan Transduser · April 2014

KUTIPAN BACA

50 24.492

4 penulis:

Zainab Yunusa Mohd Nizar Hamidon

Universitas Bayero, Kano Universiti Putra Malaysia

21 PUBLIKASI 107 KUTIPAN 212 PUBLIKASI 1.722 KUTIPAN

LIHAT PROFIL LIHAT PROFIL

Ahsanul Kaiser Z. Awang

Universiti Teknologi MARA

4 PUBLIKASI 68 KUTIPAN

129 PUBLIKASI 476 KUTIPAN

LIHAT PROFIL

LIHAT PROFIL

Beberapa penulis publikasi ini juga mengerjakan proyek terkait berikut:

Sensor Fleksibel Berbasis Karbon Lihat proyek

Sensor Amonia Sangat Sensitif berdasarkan Surface Acoustic Wave (SAW) dengan Graphene Tape Lihat proyek

Semua konten setelah halaman ini diunggah oleh Mohd Nizar Hamidon pada 17 Desember 2015.

Pengguna telah meminta peningkatan dari file yang diunduh.

 Sensor & Transduser, Vol. 168, Edisi 4, April 2014, hlm.61-75

S
Senso sHai
&r rT&
S enesnsHai r ansduce
sTTs r&r rnSebuah
sdsuudcSebuah
c e e r rnr s s
© 2014 oleh IFSA Publishing, SL
http://www.sensorsportal.com

Sensor Gas: Ulasan

1, 2 Zainab Yunusa, 1 Mohd. Nizar Hamidon, 3 Ahsanul Kaiser,
4 Zaiki Awang
1 Institut Teknologi Canggih, Universiti Putra Malaysia

43400 Serdang, Selangor, Malaysia

2 Jurusan Teknik Elektro, Bayero University Kano

3011 Kano, Nigeria

3 Departemen Teknik Mesin dan Manufaktur, Universiti Putra Malaysia

43400 Serdang, Selangor, Malaysia

4 Fakultas Teknik Elektro, Universiti Teknologi MARA

40150 Shah Alam, Selangor, Malaysia

1 Telp .: + 60182324583
1 E-mail: zee1yunusa@yahoo.com

Diterima: 2 November 2013 / Diterima: 7 Maret 2014 / Diterbitkan: 30 April 2014

Abstrak: Dalam makalah ini, ulasan tentang berbagai teknologi untuk sensor gas disajikan. Berbagai jenis teknologi sensor gas
termasuk sensor gas katalitik, sensor gas elektrokimia, sensor gas konduktivitas termal, sensor gas optik dan sensor gas akustik dibahas
bersama dengan prinsip operasinya. Teknologi Sensor Gas Gelombang Akustik Permukaan dibahas secara lebih rinci. Kelebihan dan
kekurangan masing-masing teknologi sensor juga disorot. Semua teknologi ini telah digunakan selama beberapa dekade untuk
pengembangan sensor gas yang sangat sensitif dan responsif untuk mendeteksi gas yang mudah terbakar dan berbahaya. Namun,
untuk meningkatkan sensitivitas dan selektivitas sensor ini, tren dan prospek masa depan bagi para peneliti disarankan dalam
kesimpulan artikel ini. Hak Cipta © 2014 IFSA Publishing, SL

Kata kunci: Sensor Gas, Sensitivitas, Selektivitas, Gelombang Akustik Permukaan.

1. Perkenalan
Sensor gas adalah sensor kimia yang sangat penting.
Sensor kimia terdiri dari transduser dan lapisan aktif untuk
mengubah informasi kimia menjadi bentuk lain dari sinyal
elektronik seperti perubahan frekuensi, perubahan arus, atau
perubahan tegangan.
Karena udara di sekitar kita mengandung berbagai
jumlah gas yang dapat berbahaya bagi kesehatan manusia,
polutan atmosfer, atau yang penting bagi proses industri atau
medis, keberadaan gas-gas ini menjadi sangat penting.
Karena lingkungan tempat tinggal kita terdiri dari manusia, tumbuhan dan
hewan sebagai penghuni utamanya, maka keselamatan hidup mereka
menjadi prioritas utama.
Pada dasarnya, metode deteksi tradisional yang menghasilkan
sistem yang membunyikan alarm audio untuk memberi tahu
orang-orang ketika ada kebocoran gas yang berbahaya atau
beracun tidak terlalu dapat diandalkan karena diperlukan untuk
mendapatkan pengukuran waktu nyata yang akurat dari konsentrasi
gas target. Namun, selama berabad-abad, berbagai teknologi sensor
gas telah digunakan untuk deteksi gas yang berbeda termasuk
sensor gas semikonduktor, sensor gas katalitik, sensor gas
elektrokimia, sensor gas optik, dan

Nomor artikel P_1957

61
 Sensor & Transduser, Vol. 168, Edisi 4, April 2014, hlm.61-75

sensor gas akustik. Karakteristik kinerja setiap sensor didasarkan
pada beberapa properti antara lain sensitivitas, selektivitas, batas
deteksi, waktu respons, dan waktu pemulihan.
Sensitivitas (S) dari sebuah sensor ditentukan sebagai Δf / Δc,
dengan Δc adalah perubahan konsentrasi analit. S dinyatakan
dalam Hz / ppm atau Hz / vol%. Selektivitas mengacu pada
karakteristik yang menentukan apakah sensor dapat merespons
secara selektif analit atau sekelompok analit. Batas deteksi adalah
konsentrasi analit terendah yang dapat dideteksi oleh sensor
dalam kondisi tertentu. Waktu respons adalah waktu yang
diperlukan sensor untuk merespons perubahan konsentrasi
langkah. Waktu pemulihan adalah waktu yang diperlukan sinyal
untuk kembali ke nilai awalnya setelah nilai konsentrasi langkah.
pada Gambar 1 (a), ini digunakan untuk menghasilkan pemanasan yang
efisien dan sinyal yang kuat untuk sensor gas, tetapi terlepas dari sifat
platina yang sangat baik, ini adalah katalis yang buruk untuk pembakaran
gas hidrokarbon.
Suhu yang diperlukan untuk mendeteksi hidrokarbon adalah
antara 900 ° C hingga 1000 ° C, tetapi pada suhu ini platina mulai
menguap dan dengan demikian resistansi kawat platina
meningkat. Masalah lain dengan kawat platina adalah bahwa pada
suhu 1000 ° C platina menjadi lunak. Solusi untuk masalah ini
adalah dengan melapisi platina dengan oksida logam lain dan
terakhir memperlakukan sensor dengan katalis seperti platina,
paladium atau senyawa thoria. Gambar 1 (b) menunjukkan sensor
manik katalitik dengan lapisan oksida logam, lapisan tersebut
membuat sensor lebih kokoh, lebih stabil dan tahan terhadap
guncangan dan getaran.

Faktor lain yang membuat sensor lebih menarik bagi

konsumen termasuk ukurannya yang kecil, konsumsi daya
yang rendah, dan kemampuan nirkabel. Untuk mengetahui
perkembangan sensor gas, beberapa review telah dibuat
pada sensor gas yang berbeda, LM Dorozhkin [1] dan IA
Rozanov membuat makalah review tentang sensor kimia
gelombang akustik untuk gas. Ulasan dibuat oleh
T. Hubert [2] tentang sensor gas Hidrogen. Dalam makalah ini,
tinjauan tentang teknologi sensor gas yang berbeda disajikan untuk
mendeteksi gas target yang berbeda tanpa penekanan pada gas
tertentu.
2. Teknologi Sensor Gas yang Berbeda
Baru-baru ini, pelat mikro lebih banyak digunakan pada
sensor gas daripada menggunakan koil platinum karena
konsumsi daya yang tinggi. Sensor jenis ini biasanya berisi
permukaan katalitik yang dilapisi pada hot plate dengan
resistor Pt yang memanaskan katalis hingga suhu yang
sangat tinggi di mana molekul gas yang mudah terbakar
dapat menyala. Konsentrasi gas dapat dideteksi dengan
memantau perubahan resistansi dari resistansi platina yang
timbul dari kenaikan suhu. Desain ini baru-baru ini
dikembangkan oleh Lei Xu et al [5] di mana mereka
merancang dan membuat pelat mikro dua balok untuk sensor
gas katalitik. Pelat mikro dua balok dirancang menggunakan
teknologi MEMS seperti yang ditunjukkan pada Gambar. 1
(c).

Pada bagian ini tinjauan tentang berbagai jenis sensor

dan prinsip operasinya akan dibahas.

2.1. Sensor Katalitik

Sensor katalitik telah digunakan selama hampir satu abad untuk

mendeteksi gas yang mudah terbakar. Sensor tipe pembakaran
katalitik pertama ditemukan oleh Jonson pada tahun 1923 [3, 4] dan
Gambar 1 (a). Sensor Kawat Panas [6].
digunakan untuk mendeteksi metana di tambang.

2.1.1. Prinsip operasi

Kebanyakan oksida logam dan senyawanya memiliki sifat

katalitik. Campuran gas yang mudah terbakar tidak terbakar
sampai mencapai suhu penyalaan tertentu, tetapi dengan adanya
proses kimia tertentu, gas akan mulai menyala bahkan pada suhu
yang lebih rendah. Proses ini dikenal sebagai pembakaran
katalitik. Sensor gas yang dibuat berdasarkan prinsip katalitik
disebut sensor gas katalitik. Jembatan Wheatstone digunakan
untuk mengukur keluaran sensor gas katalitik. Sensor gas katalitik
dibagi menjadi dua yaitu, tipe pelistor dan tipe termoelektrik Sensor
gas katalitik yang paling awal hanyalah sebuah kawat platina
berbentuk gulungan seperti yang ditunjukkan pada gambar.

Gambar 1 (b). Sensor manik katalitik [6].

62
 Sensor & Transduser, Vol. 168, Edisi 4, April 2014, hlm.61-75
Gambar 1 (c). Sensor pelat mikro [5].
2.1.2. Sensor Gas Katalitik Tipe Pellistor
Sensor gas katalitik tipe Pellistor yang digambarkan pada
Gambar. 2 (a) terdiri dari dua gulungan platina yang memiliki 2 fungsi
yaitu; mereka berfungsi sebagai pemanas serta termometer resistansi.
Ini juga terdiri dari manik-manik aktif dan tidak aktif. Manik aktif
diaktifkan dengan katalis yang terbuat dari logam seperti platina atau
paladium. Manik tidak aktif tidak memiliki katalis tetapi biasanya
bertindak sebagai elemen kompensasi. Suplai tegangan yang
digunakan untuk menyalakan sirkuit memanaskan kumparan sehingga
manik-manik dinaikkan ke suhu tinggi dari kisaran 300 ° C hingga 500
° C tergantung pada gas target. Hal ini menyebabkan gas menyala
dan menaikkan suhu koil detektor.
Gambar 2 (a). Sensor gas tipe pellistor [2].
Kenaikan suhu ini meningkatkan tahanan koil dan menyebabkan
ketidakseimbangan tegangan jembatan Wheatstone yang merupakan
sinyal sensor. Output dari sensor diambil melintasi sirkuit jembatan
Wheatstone yang ditunjukkan pada Gambar. 2 (b). Penelitian terbaru
seperti yang dilaporkan oleh Lei Xu dkk [6] mengembangkan sensor
deteksi metana jenis pembakaran katalitik dengan katalis Pd-Pt yang
bekerja pada mode tegangan pulsa. Sensor dibuat dengan proses
mikromachining dan sol-gel pada substrat silikon. Keluaran sensor
gas diukur dengan rangkaian jembatan yang ditunjukkan pada
gambar yang terdiri dari elemen penginderaan resistif, pelat mikro
dengan lapisan Pd-Pt / γ-Al2O3, resistor variabel R dan dua resistor
tetap R1 dan R2. Hasil pengujian menunjukkan peningkatan
sensitivitas dalam mode tegangan pulsa dibandingkan dengan 2 mV
/% CH4 di bawah
tegangan konstan 1,3 V. Penulis yang sama [6] baru-baru ini
menerbitkan sebuah makalah tentang pelat panas tipe membran
tersuspensi dengan efisiensi tinggi untuk sensor gas katalitik. Hasil
pengujian juga menunjukkan sensitivitas tinggi terhadap deteksi
metana.
Gambar 2 (b). Penyiapan jembatan Wheatstone untuk metana
deteksi gas.
Teknologi pellistor telah menyaksikan perkembangan yang
signifikan dengan menggunakan teknologi sistem mikro-elektrokimia
(MEMS) untuk pembuatannya karena keuntungan dari integrasi,
miniaturisasi dan pengurangan konsumsi daya. Sensor gas
pembakaran gas katalitik telah diproduksi menggunakan film tipis
atau teknik mesin mikro. Eui-Bok et al [7] baru-baru ini
mengembangkan sensor H2 pembakaran katalitik terintegrasi
menggunakan teknologi MEMS.
Kebaruan dari desain mereka adalah bahwa sensor gas
dibuat dengan dua elemen penginderaan
dan 2 referensi elemen menggunakan
Teknologi MEMS.
2.1.3. Sensor Gas Termoelektrik
Sensor gas termoelektrik paling awal dikembangkan oleh
McAleer pada tahun 1985 untuk mendeteksi gas yang mudah
terbakar seperti gas hidrogen seperti yang dilaporkan oleh [8, 9].
Deteksi hidrogen menggunakan sensor termoelektrik dapat
dilakukan dengan menghasilkan sinyal listrik berdasarkan reaksi
oksidasi eksotermik yang dikatalisis dari hidrogen. Sensor gas
termoelektrik bekerja berdasarkan prinsip efek Seebeck. Efek
Seebeck terjadi sebagai akibat perbedaan suhu antara dua titik
bahan konduktor atau semikonduktor yang menimbulkan
perbedaan tegangan antara titik-titik ini.
Sensor termoelektrik telah diproduksi dengan
menggunakan teknik mikromachining, Sebuah sensor gas
mikroelektrik untuk mendeteksi hidrogen dan atom oksigen
dilaporkan oleh Se-Chuk Park dkk [10] menggunakan teknik
mikromachining permukaan untuk fabrikasi sensor. Sensor
merasakan gas dengan mengukur panas reaksi dari reaksi
katalitik antara katalis logam baru menggunakan termopil
Cu-Bi.
Hidrogen baru saja dilaporkan
Sensor termoelektrik digunakan untuk mendeteksi senyawa organik yang
mudah menguap dengan menggunakan film tipis oksida timah. Prinsip
penginderaan gas menggunakan
63
 Sensor & Transduser, Vol. 168, Edisi 4, April 2014, hlm.61-75
sensor gas termoelektrik biasanya didasarkan pada penyerapan
gas. Namun teknik ini biasanya memperlambat waktu respons
dan pemulihan. Seung-Il Yoon dkk [11] merancang dan
membuat sensor gas termoelektrik berdasarkan prinsip adsorpsi
gas, bukan penyerapan gas seperti yang ditunjukkan pada
gambar. Sensor menggunakan oksida timah tertanam
katalisator untuk mendeteksi hidrogen dan NO x gas.
Teknologi MEMS digunakan untuk sensor
fabrikasi pada substrat pyrex. Untuk mewujudkan prinsip
adsorpsi gas, digunakan termopil penginderaan dan referensi
dengan pasangan bismut dan krom. Sebuah thermopile
digunakan untuk menciptakan potensial listrik yang
sebanding dengan perbedaan suhu antara hot junction dan
cold junction tanpa memerlukan konsumsi daya sementara
film katalis ditempatkan di bawah hot junction termopile.
Sensor gas termoelektrik untuk mendeteksi senyawa organik
yang mudah menguap dirancang dan dikembangkan oleh S.
Anuradha et al [12] di mana film logam kromium diendapkan
pada substrat kaca untuk meningkatkan koefisien Seebeck dari
sensor dan film oksida timah. kemudian disimpan. Sensor
tersebut diuji responnya terhadap Senyawa Organik Mudah
Menguap yaitu etanol, isopropil alkohol dan heksana pada
kisaran suhu sekitar 80 ° C sampai 160 ° C. Sensor yang
dikembangkan dengan dan tanpa film logam diuji responsnya
terhadap gas aseton. Sensor dengan logam kromium
menunjukkan kepekaan yang baik terhadap aseton serendah 28
ppm dan terbukti selektif terhadap gas aseton.
2.2. Sensor Gas Konduktivitas Termal
Pengukuran konduktivitas termal untuk analisis gas telah digunakan
selama beberapa dekade [2]. Biasanya digunakan untuk mendeteksi gas
dengan konduktivitas termal yang lebih tinggi daripada udara seperti
hidrogen dan metana, sedangkan gas dengan konduktivitas yang dekat
dengan udara tidak dapat dideteksi seperti amonia dan karbon
monoksida. Gas dengan konduktivitas termal kurang dari udara sulit
dideteksi menggunakan metode ini karena adanya gangguan misalnya
karbondioksida dan butana.
Prinsip operasinya didasarkan pada kehilangan panas
terukur dari benda yang lebih panas ke elemen dingin melalui
konduktivitas termal. Jenis pertama dari sensor gas
konduktivitas termal disebut sensor mirip pellistor. Dan terdiri
dari dua manik-manik resistor inert dengan termoresistor
yang ditanamkan. Resistor penginderaan biasanya terletak di
dalam kamar gas yang berisi gas referensi. Mirip dengan
sensor gas katalitik, sirkuit jembatan Wheatstone juga
digunakan dimana dua manik-manik dihubungkan. Prinsip di
balik mekanisme pendeteksian adalah ketika resistor terkena
campuran gas target, panas hilang yang mana lebih tinggi
atau lebih rendah tergantung pada konduktivitas termal dari
gas target sehubungan dengan gas referensi.
64
sebagai ketidakseimbangan di jembatan Wheatstone. Jenis
sensor kedua tidak membutuhkan penggunaan sel referensi. Itu
terdiri dari elemen panas dan dingin yang memiliki perbedaan
suhu yang diketahui dan konstan. Panas ditransfer dari elemen
panas ke elemen dingin dengan menggunakan konduktivitas
termal dari gas yang diselidiki.
Pascal Tardy dkk [13] mengembangkan sensor
konduktivitas termal dinamis berdasarkan respons transien dari
pelat mikro SiC untuk penentuan kandungan karbon monoksida
dalam hidrogen dan metana. Isolde Simon dan Micheal Arndt
[14] merancang sensor konduktivitas termal mesin mikro
sederhana. Eksperimen yang dilakukan menunjukkan kinerja
sensor yang baik yang diprediksi oleh model. Chip sensor
digunakan untuk membuat detektor hidrogen untuk aplikasi
otomotif.
Baru-baru ini, mesin mikro telah digunakan untuk
pendeteksian gas hidrogen karena miniaturisasi dan
pengurangan konsumsi daya. G. de Graaf et al [15] baru-baru
ini mengembangkan penginderaan gas konduktivitas termal
yang menggunakan teknologi MEMS untuk pembuatan sensor
termal sensitivitas tinggi untuk deteksi hidrogen. Analisis
menunjukkan bahwa kinerja perangkat mesin mikro
permukaan bisa lebih baik daripada perangkat mesin mikro
massal. Sensitivitas hidrogen di udara ditemukan menjadi 60
µV per% H2 pada pembuangan pemanas 1 mW. Gambar. 3
menunjukkan penampang melintang dari microTCD fabrikasi
yang dibuat pada wafer silikon. Ini terdiri dari sensor suhu
termopile yang bergantung pada penurunan ketahanan termal
efektif antara area sensitif sensor dan substrat oleh
konduktansi termal gas di membran tipis. Elemen pemanas
merupakan resistor yang terletak di tengah-tengah membran.
Sebuah kamar gas terletak untuk penginderaan hidrogen.
2.3. Sensor Gas Elektrokimia
Jenis sensor ini memungkinkan gas berdifusi melalui
membran berpori ke elektroda di mana ia tereduksi atau
teroksidasi di elektroda.
Gambar 3. Sensor gas konduktivitas mikro-termal [15].
Sensor elektrokimia beroperasi dengan bereaksi dengan
gas target dan menghasilkan sinyal listrik yang sebanding
dengan konsentrasi gas. Sensor gas elektrokimia tipikal terdiri
dari elektroda penginderaan atau elektroda kerja dan
penghitung
 Sensor & Transduser, Vol. 168, Edisi 4, April 2014, hlm.61-75

elektroda yang dipisahkan oleh lapisan tipis elektrolit. Sebelum berdifusi di udara dan ion hidrogen bermuatan positif
gas bersentuhan dengan sensor, gas melewati lubang tipe merambat ke elektrolit.
kapiler tipis dan kemudian berdifusi melalui penghalang Demikian pula, untuk hidrogen, reaksi elektrokimia seperti yang
hidrofobik sebelum akhirnya mencapai permukaan elektroda. ditunjukkan pada persamaan 3, gas Hidrogen berdifusi dan menjadi
Fungsi membran ini adalah untuk mencegah elektrolit cairan teroksidasi pada elektroda penginderaan. Reaksi ini menyebabkan
bocor keluar dan menghasilkan sinyal listrik yang cukup pada perubahan potensial dari elektroda penginderaan dan dengan demikian
elektroda penginderaan. Ini juga terdiri dari elektroda referensi terjadi reduksi oksigen seperti yang ditunjukkan pada persamaan 4.
yang fungsinya untuk mempertahankan potensial yang stabil
dan konstan pada elektroda penginderaan karena reaksi
elektrokimia terus menerus yang terjadi pada permukaan H. 2 → 2 H + + 2 e -, (3)
elektroda. Reaksi elektrokimia dengan gas target menghasilkan
aliran arus antara penginderaan dan elektroda penghitung.
1 HAI 2 + 2 H + + 2 e - → HO,
Elektrolit bertanggung jawab untuk membawa muatan ionik (4)
2
melintasi elektroda. 2

Hasil aliran elektron dari anoda ke katoda menghasilkan

Sel elektrokimia paling awal dilaporkan oleh Kohlraush [2] arus listrik yang sebanding dengan konsentrasi gas hidrogen
pada tahun 1885 dan Haber [2] pada awal 1900-an. Sejak saat yang sesuai dengan hukum Faraday.
itu banyak peneliti telah mengerjakan sensor gas elektrokimia
untuk mendeteksi berbagai gas. J. F Currie et al [16]
mengembangkan elektrokimia solid state tipis mesin mikro i = ZFQ, (5)

sensor untuk mendeteksi CO secara bersamaan 2, TIDAK 2 dan dimana Z ada elektron / molekul yang dipertukarkan, Q
BEGITU 2 gas. Demikian pula, R. Sathiyamoorthi et al [17]
adalah laju konversi hidrogen dalam mol / detik,
mengembangkan sensor elektrokimia untuk deteksi
F adalah konstanta Faraday = 96486,7 As / mol.
fluor dan klorin. Untuk meningkatkan sensitivitas sensor gas
Sensor elektrokimia biasanya terdiri dari tiga jenis yaitu:
elektrokimia, Tian Gan dan Shengshui Hu [18] menerbitkan makalah
amperometri, potensiometri dan
ulasan tentang sensor Elektrokimia berdasarkan bahan graphene,
konduktometri yang dibahas di bawah ini:
karena fakta bahwa bahan berskala nano adalah kandidat yang baik
untuk elemen penginderaan gas karena permukaan yang tinggi.
rasio volume -to, mereka telah mengurangi ukuran dan mengurangi
2.3.1. Sensor Gas Amperometri
konsumsi daya dan telah digunakan untuk mendeteksi berbagai gas
seperti yang ditunjukkan oleh Lu et al [19] Namun, sistem
Sensor amperometri bekerja pada tegangan yang diberikan
mikroelektronik (MEMS) telah
konstan dan sinyal sensor adalah arus terbatas difusi. Ini biasanya
terdiri dari dua elektroda, elektroda kerja dan elektroda counter
telah dipekerjakan untuk itu rancangan dari
dan juga elektroda referensi yang direndam dalam larutan elektrolit
mikrosensor elektrokimia dan upaya telah dilakukan untuk meningkatkan
dan potensiostat untuk menjaga tegangan konstan seperti yang
sensitivitas mereka seperti yang ditunjukkan oleh [20]. Mereka menjelaskan
ditunjukkan pada Gambar 4.
bahwa peningkatan sensitivitas dapat dicapai dengan melapisi nanosensor
yang dikembangkan dari nanotube karbon dengan polimer.

Sensor elektrokimia dapat digunakan untuk mengukur

karbon monoksida dengan menjalani reaksi kimia sebagai
berikut:

CO + H 2 HAI → BERSAMA 2 + 2 H + + 2 e -, (1)

Seperti yang ditunjukkan pada persamaan (1), Reaksi oksidasi

terjadi di elektroda penginderaan, CO 2 berdifusi ke udara dan
ion bermuatan positif bermigrasi ke
elektrolit.

HAI 2 + 4 H + + 4 e - → 2 H. 2 O, (2) Gambar 4. Sebuah sensor gas elektrokimia khas [21].

Reaksi oksidasi diimbangi dengan reaksi reduksi yang
sesuai di elektroda counter seperti yang ditunjukkan pada
persamaan (2). Di satu elektroda, air dikonsumsi saat
elektron dihasilkan dan di elektroda lainnya air dibuat saat
elektron dikonsumsi. Karbon monoksida dihasilkan
Sensor amperometri biasanya dibuat dengan menggunakan
konfigurasi dua elektroda, namun karena batasan konsentrasi gas
reaktan, sensor dibuat menggunakan skema tiga elektroda.
Dalam konfigurasi tiga elektroda, arus pada elektroda
penginderaan dapat diukur pada potensial konstan yang
memberikan a

65
 Sensor & Transduser, Vol. 168, Edisi 4, April 2014, hlm.61-75
potensial termodinamika asli untuk semua reaksi, dalam hal ini
elektroda referensi tidak terlibat dalam reaksi. Namun, arus yang
dihasilkan sebagai hasil dari gas target pada penginderaan atau
elektroda kerja diukur sebagai sinyal sensor yang kemudian
dapat diukur.
di antara Sebuahtetap atau variabel
potensial elektroda.
Sensor amperometri telah digunakan untuk mendeteksi
berbagai gas dengan mengubah jenis elektrolit. Alex Moreta et al
[22] mengembangkan desain baru untuk sensor gas amperometri
dengan menggunakan lapisan berpori yttria stabilized zirconia (YSZ)
yang bertindak sebagai konduktor oksigen dan penghalang difusi
gas. Konfigurasi tumpukan planar dikembangkan dan
memungkinkan pengendapan lapisan YSZ. Perangkat yang
dikembangkan menunjukkan keluaran linier dalam kisaran tekanan
parsial oksigen. Kuo-Chuan Ho dan Wen-Tung Hung [23] juga
mengembangkan amperometri
TIDAK 2 sensor gas berdasarkan elektroda Pt / Nafion, NO 2
konsentrasi dalam kisaran 0 sampai 485 ppm
terdeteksi. Demikian pula sensor hidrogen amperometrik
dikembangkan berdasarkan membran elektrolit polimer dengan
membran Nafion sebagai polimer konduksi. Respon terhadap
konsentrasi hidrogen berada dalam kisaran 260 hingga 11.500 ppm
Yente Chao et al [24] mengembangkan sensor amperometri
menggunakan 3 desain sensor yang berbeda untuk penginderaan
hidrogen dan karbon monoksida. Tiga desain yang berbeda diuji di
bawah konsentrasi hidrogen dan CO dan perangkat II dan III
ditemukan memiliki waktu respons yang lebih lambat dibandingkan
dengan perangkat I. Selektivitas sensor dalam konsentrasi hidrogen
sangat ditingkatkan dengan mengganti Pt-air RE dengan Ag / AgCl
yang dimodifikasi. RE dan penggabungan membran semi
permeabel. Sensor gas amperometri untuk mendeteksi hidrokarbon
dilaporkan oleh [25] untuk pemantauan di pipa knalpot.
Dengan itu kedatangan dari Mikroelektronika
Sistem (MEMS), mikroelektroda dengan luas permukaan elektroda
yang sangat kecil telah digunakan dalam pembuatan sensor
elektrokimia karena banyak keuntungannya yaitu memiliki ukuran
dan berat yang kecil, biaya rendah, waktu respons yang lebih cepat
tanpa mempengaruhi
itu sinyal terhadap kebisingan perbandingan.
Sensor mikroamperometri yang berasal dari tahun 1980-an hanya
terdiri dari elektroda mikrofabrikasi pada substrat yang sesuai,
sensor mikroamperometri paling awal dikembangkan oleh Sleszynski
dan Osteryoung pada tahun 1984. Baru-baru ini, teknik tentang cara
meningkatkan sensitivitas sensor dilaporkan oleh [26, 27] .
2.3.2. Sensor Gas Potensiometri
Sensor gas potensiometri digunakan untuk menentukan
konsentrasi analitik dari beberapa komponen gas analit.
Mereka dapat mengukur potensial listrik elektroda tanpa
aliran arus. Sinyal diukur sebagai beda potensial antara
elektroda kerja dan elektroda referensi. Sensor potensiometri
telah digunakan untuk mendeteksi oksigen. Sensor oksigen
potensiometri tipikal adalah
66
terdiri dari ion oksigen yang menghantarkan elektrolit padat dan
dua elektroda yang diendapkan pada kedua sisi elektrolit. Salah
satunya adalah elektroda referensi yang bersentuhan dengan
tekanan parsial oksigen yang diketahui sedangkan yang lainnya
adalah elektroda kerja yang bersentuhan dengan tekanan parsial
oksigen yang tidak diketahui yang perlu diukur. Ketika elektroda
bersentuhan dengan dua tekanan parsial oksigen yang berbeda
dan diisolasi satu sama lain, EMF dikembangkan oleh sensor.
EMF dijelaskan dengan persamaan Nernst:
Sebuah E = RT Dalam (P t), ( 5)
4F P. w E = RT Dalam (P t), (5)
4F P. w
dimana P. t adalah tekanan parsial oksigen di
elektroda referensi dan P. w adalah tekanan parsial pada
elektroda kerja, R adalah konstanta gas, T adalah suhu dalam
Kelvin dan F adalah konstanta Faraday. Sensor ini biasanya
beroperasi antara 600 ° C dan 1000 ° C.
Elektroda biasanya terbuat dari Palladium, Platinum, emas
atau perak. Elektrolit yang berbeda juga telah digunakan atau
kombinasi dari dua bahan untuk mendeteksi gas yang berbeda.
C. Lee dkk [28]
mengembangkan potensiometri CO 2 sensor gas menggunakan
elektrolit sementara lithium fosfor oxynitride
baru-baru ini Jiun-Chan Yang dkk [29] berkembang menjadi tinggi
suhu NO 2 sensor dibuat dengan referensi asimetris dan
elektroda penginderaan dibuat dengan Pt dan
Elektrolit YSZ. Perpaduan kedua material ini telah
menyederhanakan desain dan membuatnya lebih kompak. Demikian
pula, Yongtie Yan et al [30] mengembangkan sensor potensiometri
menggunakan zirkonia yang distabilkan
untuk klorin gas oleh menggabungkan
Tabung zirkonia yang distabilkan MgO dengan fase tambahan
yang mengandung logam klorida dengan sensitivitas 1-100
ppm klorin pada 550-600 ° C. Dengan munculnya teknologi
mikrofabrikasi, sensor miniatur diproduksi untuk memperkuat
keluaran dari sensor potensiometri. R. Radhakrishnan dkk [31]
membuat seri miniatur yang terhubung dengan sensor
potensiometri pada elektroda fabrikasi silikon setelah
menggunakan teknik fabrikasi mikro untuk deteksi oksigen.
2.4. Sensor Gas Optik
Ini Tipe dari sensor optik
menggunakan
hamburan penyerapan / emisi dari spesies gas pada panjang
gelombang optik yang ditentukan Sensor gas optik terdiri dari
elemen pemancar cahaya, elemen pendeteksi foto, elemen
penginderaan gas, elemen penginderaan gas yang merespons
cahaya dan filter untuk menangkap fluoresensi atau pendar
Sebagian besar optik sensor biasanya didasarkan pada film tipis
paladium atau oksida kemokromik yang dilapisi sepanjang serat
optik. Jenis sensor serat optik ini dikenal sebagai optodes. Salah
satu sensor gas optik yang paling umum adalah sensor gas infra
merah yang akan kita bahas nanti lebih detail.
 Sensor & Transduser, Vol. 168, Edisi 4, April 2014, hlm.61-75
Seperti yang ditunjukkan oleh banyak penulis, sensor optik
telah digunakan selama bertahun-tahun dalam mendeteksi gas
yang mudah terbakar seperti hidrogen [2]. Sensor gas hidrogen
optik pertama dilaporkan oleh Butler [2] pada tahun 1984 yang
terdiri dari serat optik dengan lapisan Palladium dan Titanium.
Deteksi hidrogen dilakukan dengan menggunakan interferometri.
Crawford Massie dkk [32] juga merancang sensor optik portabel
berbiaya rendah untuk deteksi metana dengan sensitivitas yang
sangat baik, sensor tersebut dapat beroperasi bahkan di lingkungan
yang keras. L. N Acquaroli et al [33] merancang sensor gas silikon
berpori optik. Sistem ini diuji pada area deteksi rongga mikro silikon
berpori dengan uap alkohol isopropil dan bahkan perubahan kecil
dalam konsentrasi terdeteksi.
H. Manap et al [34] mengembangkan sensor serat optik untuk
pemantauan gas amonia menggunakan sebuah lubang
teknik jalur optik. Sensitivitas silang CO 2 dan
HAI 2 juga diuji untuk melihat pengaruhnya terhadap gas amonia.
S. Okazaki dkk [35] juga mengembangkan serat optik
sensor gas hidrogen menggunakan dukungan katalis-
tungsten trioksida ( wo 3). Sensor yang digunakan adalah asam platinat
pada suhu 500 ° C dan menunjukkan respon yang baik terhadap
deteksi gas hidrogen dan dapat mendeteksi gas bahkan pada suhu
kamar. M. Girschikofsky dkk [36] baru-baru ini melaporkan sensor kisi
Bragg planar optik yang mampu mendeteksi zat seperti benzena,
toluena dan xilena. Hasil yang diperoleh menunjukkan sensitivitas
yang baik terhadap gas tersebut.
2.5. Sensor Gas Inframerah
Sensor infra merah terdiri dari detektor yang mengubah
energi radiasi elektromagnetik menjadi sinyal listrik. Detektor
terdiri dari berbagai jenis yaitu: Termoelektrik, Termistor
Bolometer, Detektor piroelektrik dan Detektor foton. Ini juga
terdiri dari sumber infra merah yang bisa menjadi lampu pijar
biasa atau filamen kawat yang dipanaskan
yang dapat digunakan untuk mendeteksi CO 2, CO dan hidrokarbon
lainnya. Komponen lainnya adalah optik
serat yang bisa dari dua jenis: dispersif dan non-dispersif.
Jenis non-dispersif menggunakan filter bandpass optik diskrit
dan sebagian besar digunakan untuk aplikasi sensor gas
sedangkan jenis dispersif menggunakan perangkat optik seperti
kisi atau prisma. Yang terakhir adalah sel gas yang
memungkinkan jalur cahaya untuk berinteraksi dengan gas target.
Sensor gas inframerah digunakan untuk mendeteksi berbagai gas
seperti metana, etana, propana, butana, benzena toluena, xilena
dan alkohol lain seperti metanol, etanol, dll. H. Okajima et al [37]
mengembangkan sensor gas inframerah menggunakan LED untuk
pengukuran metana, penyerapan sampel gas antara 0-97%
berhasil diukur, D. Garcia Romeo et al [38] mengembangkan
sensor gas Non-Dispersive Infrared (NDIR) untuk
pengukuran CO 2 konsentrasi gas untuk jaringan sensor
nirkabel dengan konsumsi daya rendah
Demikian pula Dong Chen et al [39] merancang spektroskopi
serapan laser dioda merdu untuk
pengukuran gas hidrogen sulfida. Untuk menghasilkan
sensor yang miniatur, Guangjun
Zhang et al [40] mengembangkan miniatur CO 2 sensor berdasarkan
penyerapan infra merah.
Ada dua jenis struktur optik yaitu
digunakan untuk pembangunan inframerah CO 2 sensor gas yaitu:
sinar ganda-waktu dan balok-ruang-ganda.
Struktur optik berkas ganda waktu hanya memiliki satu berkas infra merah
yang dipancarkan dari sumber infra merah dan detektor menerima 2
berkas inframerah dengan panjang gelombang yang berbeda dan pada
waktu yang berbeda sedangkan struktur berkas sinar ganda ruang
memiliki satu berkas inframerah yang dipancarkan dari sumber inframerah
dan sekaligus memasuki dua detektor pelat paralel Dalam desain ini, sinar
ganda ruang digunakan untuk meningkatkan konstruksi dan ruang udara
berbentuk kerucut dirancang Seperti yang ditunjukkan pada Gambar. 5
probe optik terdiri dari sumber inframerah, ruang udara, penerima
inframerah perangkat dan dua jendela safir. Sensor menunjukkan
akurasi 0,026% dengan CO 2 konsentrasi gas pada kisaran
0-3%. Naoya Kasai dkk [41]
menyelidiki kemampuan sistem yang menggunakan pemancar inframerah
karbon dan kamera inframerah untuk mendeteksi gas propana yang mudah
terbakar.
Gambar 5. Menampilkan probe optik struktural [37].
2.6. Sensor Semikonduktor
Sensor gas semikonduktor adalah perangkat yang terbuat dari
oksida logam yang dipanaskan yang digunakan untuk mengukur
konsentrasi gas dari gas target dengan mengukur hambatan listrik
perangkat. Mereka bekerja berdasarkan prinsip proses adsorpsi
gas reversibel pada permukaan oksida yang dipanaskan biasanya
oksida timah diendapkan pada sepotong silikon dengan metode
deposisi uap kimia. Penyerapan gas sampel pada permukaan
oksida yang diikuti dengan oksidasi katalitik menghasilkan
perubahan hambatan listrik dari bahan oksida yang kemudian
dikaitkan dengan konsentrasi gas sampel yang dipantau oleh
meteran seperti terlihat pada Gambar 6. Pemanas pada base
digunakan untuk memanaskan sensor hingga suhu konstan sekitar
200-250 ° C untuk mempercepat laju reaksi.
Semikonduktor tipe-n intrinsik cocok untuk mendeteksi gas
pereduksi karena perubahan konduktansi yang tinggi sebagai akibat
dari elektron yang diinjeksikan. Demikian pula, semikonduktor tipe-p
cocok untuk mendeteksi gas pengoksidasi. Oksida biasanya
digunakan untuk
tipe-n terutama adalah oksida: SnO 2. ZnO In 2 HAI 3, atau WO 3.
Mereka biasanya digunakan untuk mendeteksi hidrogen, oksigen,
67
 Sensor & Transduser, Vol. 168, Edisi 4, April 2014, hlm.61-75
alkohol dan gas berbahaya seperti karbon monoksida. Sensor gas yang
menggunakan semikonduktor oksida logam pertama kali diusulkan oleh
Seiyama dan Taguchi. Ketika gas yang mudah terbakar bersentuhan
dengan oksida logam, mereka membangkitkan tingkat elektron baru
dalam padatan dan dengan demikian menyebabkan perubahan
hambatan listrik dari elemen penginderaan gas. Jin Huang dan Qing Wan
menerbitkan makalah ulasan tentang kemajuan dalam sensor gas
berdasarkan struktur nano semikonduktor oksida logam satu dimensi
(1D).
Dilaporkan bahwa karena munculnya mikroelektronika,
struktur perangkat baru seperti electronic nose dan sensor
gas self-heat konsumsi daya rendah telah dirancang dan
responsnya telah dievaluasi [42]. Sensitivitas dan selektivitas
dapat ditingkatkan dengan penambahan sejumlah kecil
logam mulia seperti unsur yang ditambahkan Pd A.
Khodadadi dkk [43] melaporkan peningkatan sensitivitas
metana dan
gas karbonmonoksida dengan menambahkan 5% K 2 O menjadi
SnO 2 sampel, sensitivitas meningkat 40%.
Demikian pula, 5% Na 2 O dalam SnO 2 lapisan menunjukkan penurunan
sensitivitas sensor terhadap CO. Penambahan
platinum ke dalam sampel yang disiapkan meningkatkan respons terhadap
metana. Sedangkan penambahan cerium oxide dalam jumlah kecil
menunjukkan penekanan respon sensor terhadap metana dengan tetap
menjaga kepekaan terhadap CO.
Namun, peningkatan sensitivitas juga dapat diperoleh dengan
penambahan zat doping dalam sensor gas semikonduktor film tebal
yang dikembangkan untuk penginderaan metana dan butana.
Itu semikonduktor gas sensor memiliki
konfigurasi yang berbeda, konfigurasi satu elektroda dan dua
elektroda.
Gambar 6. Sebuah sensor semikonduktor khas [44].
2.6.1. Prinsip Operasi Sensor Gas Semikonduktor
Satu Elektroda
Konfigurasi sensor satu-elekroda digambarkan pada Gambar. 7
seperti yang dilaporkan oleh [45] resistor logam bertindak sebagai
pemanas dan elektroda pengukur pada saat yang sama. Satu sensor
elektroda mirip dengan pellistors atau sensor kawat panas. Prinsip
pengoperasian sensor satu elektroda didasarkan pada shunting kawat
Pt oleh oksida semikonduktor yang melapisi spiral logam. Sensor satu
elektroda biasanya digabungkan
68
di sirkuit jembatan Wheatstone dan mereka bekerja di bawah stabil
konstan arus. Itu shunting
Resistansi semikonduktor harus dipastikan memiliki nilai
resistansi dengan urutan yang sama besarnya dengan resistor
Pt pada suhu operasi. Karena resistansi pemanas yang
rendah, hanya oksida logam dengan konduktivitas tinggi yang
mampu mengubah resistansi total sensor jika ada gas yang
terdeteksi. Untuk sensor semikonduktor satu elektroda
desain SnO 2 dan masuk 2 HAI 3 Telah digunakan. Namun,
konfigurasi dua elektroda tidak akan dibahas
karena itu sangat tidak umum.
Bahan penginderaan gas untuk sensor satu elektroda
diendapkan menggunakan Deposisi Uap Kimia, Deposisi uap fisik,
dan Proses Sol-gel. Baru-baru ini, Kengo Shimanoe dkk [46]
mengembangkan oksida semikonduktor berukuran nano untuk
mendeteksi gas yang mudah terbakar, gas bau, dan gas terkait
lingkungan lainnya menggunakan teknologi MEMS dengan
konsumsi daya yang rendah. T. Takada [47] mengembangkan
metode baru untuk identifikasi gas yang berbeda
gas termasuk hidrogen, karbon
monoksida, metana dan senyawa organik yang mudah menguap.
Baru-baru ini, teknik kecerdasan buatan diintegrasikan ke dalam
sensor gas seperti yang ditunjukkan oleh Byeongdeok Yea et al [48].
Suatu metode estimasi sensor gas semikonduktor yang
memanfaatkan jaringan syaraf tiruan dan sistem inferensi fuzzy.
Untuk meningkatkan sensitivitas sensor berbagai metode
telah digunakan termasuk modulasi suhu, sintesis bahan
sensor baru, perancangan konstruksi sensor baru, adopsi
lapisan filter baru dan penggunaan array sensor. Oleh karena
itu, Grzegorz Halek dkk [49] membuat perbandingan metode
perbaikan selektivitas sensor gas semikonduktor dan
menyimpulkan bahwa jenis material penginderaan dan lapisan
filter memiliki pengaruh yang kuat terhadap parameter sensor.
Gambar 7. Menampilkan satu konfigurasi elektroda
dari sensor gas semikonduktor [40].
2.7. Sensor Gas Gelombang Akustik
Sensor gelombang akustik dinamai demikian karena
mekanisme deteksinya adalah gelombang mekanis, atau akustik.
Saat gelombang akustik merambat melalui atau pada permukaan
material, setiap perubahan pada karakteristik jalur perambatan
mempengaruhi kecepatan dan / atau amplitudo gelombang.
Perubahan kecepatan dapat dipantau dengan mengukur frekuensi
atau karakteristik fase dari sensor dan kemudian dapat
dikorelasikan dengan fisik yang sesuai.
 Sensor & Transduser, Vol. 168, Edisi 4, April 2014, hlm.61-75

kuantitas yang diukur. Sensor gelombang akustik berisi komponen pada bidang saggital yaitu bidang yang berisi arah
reseptor yang merupakan elemen yang sensitif terhadap rambat dan permukaan normal. Untuk aplikasi penginderaan
analit dan transduser yaitu elemen yang mengubah respons gas, pemilihan substrat piezoelektrik menentukan jenis
menjadi sinyal listrik. gelombang SAW. Gelombang rayleigh merambat di lapisan
permukaan yang tipis, dan dapat menembus ke substrat
Sensor gas akustik pertama ditemukan oleh King pada tahun pada jarak urutan panjang gelombang. Kecepatan rambat
1964 [50] dan didasarkan pada pengukuran gelombang akustik gelombang tergantung pada material substrat, potongan
massal (BAW) dalam resonator kristal kuarsa piezoelektrik yang kristal substrat dan frekuensi kerja.
sensitif terhadap perubahan massa. Setelah studi penelitian
intensif pada pertengahan 1960-an, sensor kimia untuk polutan
atmosfer industri dikembangkan. Karena resonator kuarsa Sejak ditemukannya banyak aplikasi potensial yang telah
piezoelektrik digunakan, jenis sensor ini disebut timbangan mikro dieksploitasi, diantaranya adalah aplikasi sensor termasuk
kuarsa (QMB). kimia, optik, termal, tekanan, percepatan, torsi dan biologi.
Keuntungan utama menggunakan teknologi SAW adalah
Ada berbagai jenis sensor gelombang akustik yang sensitivitas tinggi, konsumsi daya rendah, nirkabel, dapat
didasarkan pada jenis perambatan gelombang. Sensor ditempatkan pada bagian yang bergerak atau berputar dan di
gelombang akustik memiliki berbagai aplikasi seperti suhu, lingkungan berbahaya. Perangkat SAW juga kompatibel
tekanan, massa, bahan kimia dll. Dalam makalah ini aplikasi secara teknologi karena proses fabrikasi serupa dengan
akan digunakan untuk penginderaan gas. Prinsip perangkat mikroelektronik lainnya.
pengoperasian sensor kimia akustik dijelaskan sebagai
berikut. Jika film reseptor dimasukkan ke permukaan getar
dari transduser yang diaktifkan oleh perangkat elektronik,
karakteristik film reseptor seperti massa dan ketebalannya
berubah bila terkena analit. Perubahan ini secara langsung 2.7.2. Prinsip operasi
mempengaruhi frekuensi getaran, amplitudo dan fasa.
Sensor gelombang akustik permukaan bekerja berdasarkan
Pergeseran ini berbanding lurus dengan konsentrasi analit.
prinsip transduksi dimana sensor mengubah sinyal listrik masukan
menjadi gelombang mekanis dan diubah kembali menjadi sinyal
listrik. Ini dimungkinkan melalui transduser interdigitasi yang dikenal
Seperti yang disebutkan dalam pendahuluan, karakteristik kinerja
sebagai IDT yang menggunakan efek piezoelektrik. IDT terbuat dari
sensor ditentukan oleh beberapa faktor termasuk sensitivitas, waktu
elektroda yang terbuat dari aluminium, emas, atau platina. Oleh
respons, selektivitas, ukuran kecil, dan konsumsi daya yang rendah.
karena itu, SAW tipikal terdiri dari transduser input dan output
Seperti yang ditinjau oleh beberapa karya tentang sensor gas yang
dengan jarak di antara keduanya yang disebut garis tunda. Prinsip
berbeda, tren saat ini telah mengarah pada pengembangan sensor
penginderaan gas dalam SAW diwujudkan dengan penerapan bahan
gas menggunakan teknologi mikroelektronika karena keunggulan
penginderaan seperti polimer tipis melintasi garis penundaan yang
miniaturisasi dan konsumsi daya yang rendah. Namun, sensor
secara selektif menyerap gas atau gas yang diinginkan seperti yang
gelombang akustik sudah memiliki karakteristik yang melekat ini dan
digambarkan pada Gambar 8.
digunakan dalam sensor gas sejak tahun 1964 sehingga membuatnya
menjadi kandidat yang menarik di atas pendeteksi gas. Tinjauan
tentang gelombang akustik akan dibuat pada bagian makalah ini
dengan penekanan pada sensor gelombang akustik permukaan.
Keuntungan lain dari teknologi gelombang akustik permukaan adalah
bahwa penginderaan gas dapat dilakukan secara nirkabel seperti
yang ditunjukkan oleh [51], yang memungkinkan pemantauan online
sensor gas dan menghilangkan penggunaan kabel berkabel. Properti
ini menjadikannya kandidat yang menarik untuk pendeteksian gas dan
membuatnya lebih unggul dari teknik penginderaan gas lainnya. Juga
selektivitas dan sensitivitas tinggi juga telah dilaporkan di banyak
aplikasi penginderaan gas gergaji [25, 29, 31].

Gambar 8. Perangkat SAW untuk menggambarkan prinsip tersebut

penginderaan gas [2].

2.7.1. Sensor Gas Gelombang Akustik Permukaan
Teknologi gelombang akustik permukaan mengacu pada
penggunaan perangkat SAW dalam beberapa aplikasi teknologi
Gelombang akustik permukaan pertama kali ditemukan oleh Lord
Rayleigh pada tahun 1885. Sensor SAW dikembangkan berdasarkan
gelombang Rayleigh. Rayleigh SAW terdiri dari dua perpindahan
mekanis
Sensor Rayleigh SAW didasarkan pada dua jenis perangkat
akustik elektronik yaitu: delay-line atau resonator. Frekuensi
pengoperasian sensor gelombang Rayleigh biasanya berada di
antara 40-600 MHz. Perangkat ini berbeda satu sama lain dalam
desainnya, garis penundaan memiliki dua transduser interdigital
penerima dan transmisi sedangkan resonator memiliki satu
transduser interdigital yang ditempatkan di

69
 Sensor & Transduser, Vol. 168, Edisi 4, April 2014, hlm.61-75
rongga resonator. Namun mekanisme responnya sama dan
memiliki karakteristik keluaran yang serupa. Garis penundaan
lebih sederhana untuk dirancang dibandingkan dengan
resonator, itulah sebabnya mengapa ini terutama digunakan
untuk aplikasi praktis. Namun, garis tunda membutuhkan
pencocokan karena atenuasi penyisipan dan mengalami
frekuensi osilasi, tetapi resonator memiliki atenuasi yang lebih
kecil dan tidak memerlukan pencocokan [52]. Sebuah resonator
dan sebuah delay line dapat berupa port tunggal atau dua.
Garis penundaan port tunggal terdiri dari jalur propagasi antara
satu IDT dan satu atau beberapa reflektor interdigital. Garis
penundaan SAW dua port terdiri dari jalur propagasi antara dua
IDT terpisah, yang pertama berfungsi sebagai transduser
pemancar dan yang kedua berfungsi sebagai transduser
penerima sehingga mengubah SAW kembali ke bentuk listrik.
τ d=l , (7)
v stabil. Gbr. 9 (a) ~ Gbr. 9 (d) menunjukkan berbagai jenis
dimana l adalah jarak rata-rata antara IDT dan f adalah frekuensi sebagaimana
dimaksud pada Gambar 8 (a). Demikian pula dengan
Gambar 9 (a). Garis penundaan port tunggal
Gambar 9 (c). Resonator port tunggal.
3. Sensor Gas Berbasis SAW
Gelombang akustik permukaan adalah generasi berikutnya dari
sensor gelombang akustik setelah munculnya kuarsa
kristal keseimbangan mikro kuarsa
Microbalance (QCM) yang digunakan untuk menstabilkan frekuensi
pemancar radio dan kemudian dimodifikasi dengan penambahan film
sorptive pada kristal sehingga dapat digunakan untuk penginderaan
kimiawi [54]. Selanjutnya perangkat tersebut dianalisis dan
ditingkatkan
70
waktu tunda untuk garis penundaan dua port diberikan oleh 2
persamaan karena panjang yang berbeda l 1 dan l 2 sebagai berikut:
τ 1=d 2 l 1, (8)
v
τ =2 d2 l 2, (9)
v
dimana l 1 adalah jarak rata-rata antara IDT dan
reflektor 1 dan l 2 adalah jarak rata-rata antara IDT dan reflektor 2.
Dapat digunakan resonator port tunggal
satu struktur IDT di tengah antara dua reflektor sedangkan
resonator dua port terdiri dari dua struktur IDT di antara dua
reflektor [53]. Fungsi dari reflektor adalah memantulkan
gelombang datang secara utuh melalui pita frekuensi yang
sempit dan juga untuk mengurangi kehilangan energi pada
sistem sehingga dapat menghasilkan sinyal yang sempit dan
konfigurasi perangkat SAW untuk jalur tunda dan resonator.
Gambar 9 (b). Garis penundaan dua port.
Gambar 9 (d). Resonator dua port.
oleh beberapa peneliti di tahun 1950-an. Pada akhir 1970-an, Wohltjen
dan Dessy [55] menyadari bahwa penginderaan uap kimia dapat
dilakukan dengan perangkat yang pada awalnya digunakan untuk
memproses sinyal listrik yang merupakan garis tunda SAW.
kristal
Sejak saat itu banyak peneliti telah mengerjakan sensor SAW
untuk mendeteksi berbagai gas yang beracun, berbahaya atau
polutan, sementara yang lain dapat digunakan sebagai bahan
bakar gas di industri dan mobil. Peneliti cenderung menggunakan
SAW
 Sensor & Transduser, Vol. 168, Edisi 4, April 2014, hlm.61-75

resonator jika minat utama mereka adalah untuk mengontrol frekuensi
tengah sedangkan jika respon waktu menarik mereka memutuskan untuk
menggunakan garis tunda. Garis penundaan SAW umumnya digunakan
karena kesederhanaannya dalam desain dan fabrikasi [65]. MS
Nieuwenhuizen et al [56] mengembangkan sensor gas SAW untuk
mendeteksi
BERSAMA 2 dan H 2 O menggunakan osilator delay-line ganda pada
substrat kuarsa pada frekuensi 40 MHz. Adrian
Venema et al [57] juga merancang sensor gas garis-tunda SAW
menggunakan substrat kuarsa untuk mendeteksi
TIDAK 2 gas. Selanjutnya, VI Anisimkin et al [58] juga
mengembangkan sensor gas garis-tunda SAW untuk
deteksi gas CO, NO, hidrogen dan oksigen masing-masing. K. Beck et
al [59] juga mengembangkan garis-penundaan SAW menggunakan
substrat lithium niobate untuk
deteksi NO 2 dan gas metana. Review
makalah ini diterbitkan baru-baru ini oleh Wieslaw P. Jakubik pada
osilator garis penundaan ganda. Namun, Hea-Min Lee dkk [60]
merancang sensor gas resonator SAW menggunakan lithium niobate
untuk mendeteksi gas metana dan hidrogen. Demikian pula, G.
Fischerauer et al [52] juga menggunakan resonator SAW untuk
mendeteksi hidrokarbon. Karena hasil yang baik ditampilkan oleh
penggunaan perangkat gergaji untuk penginderaan gas dalam hal
sensitivitas tinggi, selektivitas dan waktu respons yang baik, banyak
peneliti bekerja secara ekstensif untuk mendeteksi gas yang berbeda
menggunakan konfigurasi SAW yang berbeda dan pada frekuensi yang
berbeda sebagai disajikan pada Tabel 1. Hasil yang diperoleh telah
menghasilkan hasil yang sangat baik dalam hal selektivitas tinggi,
sensitivitas tinggi dan waktu respons yang baik.

Tabel 1. Review sensor gas SAW.

Jenis Substrat
Penulis / Tahun Gas Terdeteksi Frekuensi Kepekaan
Gergaji Bahan
6 - 8 kHz masuk
JA Theile Dua port konsentrasi
Hidrogen Langasite 167 MHz
2004 [61] resonator antara 250 - 1000 ppm
H2/ N2
A. Z Sadek Dua port 7 kHz terhadap 1%
Lithium niobate 106,9 MHz
2005 [62] resonator Hidrogen hidrogen di udara
A. Z Sadek Dua port 185 kHz menuju 150
Lithium niobate 108,2 MHz
2006 [63] resonator BERSAMA ppm CO
Chunbae Lim 2,12 / ppm untuk CO 2 dan
Delay-lines BERSAMA 2 dan tidak 2 Lithium niobate 440 MHz
2009 [65] 55,4 / ppm untuk NO 2
1,19, 0,79, 0,51
Cristian Viespe Organik yang Mudah Menguap Hz / ppm untuk MWCNT-
Delay-lines Kuarsa 69,4 MHz
2010 [66] Componds PEI, SiO 2 / Si-PEI &
PEI masing-masing
Metanol, etanol,
Da-Jeng Yao Dua port
isopropil, alkohol, Lithium niobate 99,8 MHz NOL
2010 [67] resonator
aseton, amina
Hsu-Chao Hao Dua port Litium
Amonia 100 MHz NOL
2010 [68] resonator tantalite
Chi-Yen Shen Dua port
Amonia ST-Cut Quartz 98,47 MHz 5,9 Hz / ppm
dkk 2010 [69] resonator
TH Lin Penundaan ganda-
Amonia Lithium niobate 114,7 MHz 6,91 Hz / ppm
2011 [70] garis

129,28 MHz
Duy-Thach tidak dilapisi, 55 kHz dalam 1%
Dua port Aluminium
2012 [71] Hidrogen 128,85 MHz & Hidrogen
Garis penundaan nitrida / silikon
126,93 MHz konsentrasi
dilapisi Pt / ZnO

4. Perbandingan Sensor Gas 5. Kesimpulan

Review dari sensor gas yang berbeda disajikan. Berbagai

Semua teknologi yang tercantum di atas untuk penginderaan
teknik penginderaan yang dibahas dalam artikel ini meliputi
gas membutuhkan kinerja optimal. Oleh karena itu perlu adanya
sensor gas katalitik, sensor gas elektrokimia, sensor gas optik,
gambaran yang jelas tentang pro dan kontra dari tiap jenis sensor.
sensor gas konduktivitas termal, dan sensor gas akustik. Karena
sifat-sifat sensor yang ideal ditentukan oleh beberapa variabel
Hal ini bergantung pada kondisi operasi dan lingkungan
yaitu; sensitivitas, selektivitas, waktu respons tinggi, dan waktu
tertentu serta biaya produksi untuk setiap sensor yang
pemulihan cepat. Masing-masing teknologi sensor bekerja untuk
bervariasi di antara berbagai kelas teknologi. Perbandingan
mendapatkan sifat optimal dari sebuah sensor yang ideal, oleh
(kelebihan dan kekurangan) dari semua sensor deteksi gas
karena itu trendnya adalah membuat sensor menjadi seperti
disajikan pada Tabel 2.

71
 Sensor & Transduser, Vol. 168, Edisi 4, April 2014, hlm.61-75

miniatur mungkin. Mengingat hal ini, semua sensor baru-baru solusi yang ditawarkan termasuk ukuran kecil, biaya rendah, konsumsi
ini menggunakan fabrikasi mikro dan mikrofabrikasi daya rendah dan juga memiliki semua karakteristik yang
teknik untuk itu sensor mengklasifikasikannya sebagai sensor yang ideal.
pembuatan. Dengan mengadopsi teknik ini, banyak orang

Meja 2. Perbandingan teknologi sensor deteksi gas.

Tidak. Jenis Sensor Keuntungan Kekurangan

Membutuhkan udara atau oksigen untuk bekerja.
Sederhana, mengukur kemudahbakaran gas dan teknologi
1. Katalis Dapat diracuni oleh timbal, klorin dan silikon
berbiaya rendah

Konstruksi yang kokoh namun sederhana.

2. Panas Mudah dioperasikan tanpa oksigen. Rentang Reaksi karena kawat pemanas.
pengukuran sangat lebar.
Mengukur gas beracun dalam konsentrasi yang relatif
Mode kegagalan tidak terungkap kecuali teknik
3. Elektrokimia rendah.
pemantauan lanjutan digunakan.
Berbagai macam gas dapat dideteksi Mudah
dioperasikan tanpa adanya oksigen.
4. Optik Tidak terpengaruh oleh gangguan elektromagnetik. Area Dipengaruhi oleh gangguan cahaya sekitar.
pemantauan sangat luas.
Tidak semua gas memiliki serapan IR. Pemantauan
Hanya menggunakan teknik fisik. Tidak ada
sekuensial lebih lambat pada multi point analyzer dan juga
5. Inframerah mode kegagalan yang tidak terlihat.
membutuhkan lebih banyak keahlian pengguna.
Dapat digunakan di atmosfer inert.

Rentan terhadap kontaminan dan perubahan

Kuat secara mekanis, bekerja dengan baik pada kondisi
6. Semikonduktor karena kondisi lingkungan.
kelembaban tinggi yang konstan.
Kompleksitas efek respon non linier.
Deteksi agen saraf dan lepuh
Permukaan Tanpa baterai dan dapat digunakan untuk aplikasi Dikarenakan ukurannya yang kecil menyebabkan kesulitan
7. Gelombang Akustik nirkabel. penanganan selama proses fabrikasi.
Bisa ditempatkan di bagian yang keras dan berputar

Teknologi gelombang akustik permukaan memiliki semua
sifat sensor yang ideal dan karenanya menawarkan solusi
satu langkah saat diadopsi. Ini adalah teknologi yang
menghasilkan perangkat kecil, biaya rendah dan konsumsi
daya rendah untuk aplikasi penginderaan gas. Dengan
munculnya teknologi modern maka diperlukan pula
pemantauan sensor gas secara remote dari suatu teknologi
lokasi tertentu terutama untuk kebocoran jaringan pipa yang
jika tidak dipantau secara hati-hati dapat menimbulkan
ledakan. Teknologi gelombang akustik permukaan
menawarkan properti kemampuan ini untuk digunakan
sebagai sensor nirkabel yang menghemat waktu dan energi
dan juga menghemat pemantauan waktu nyata dari sensor
gas. Kemampuan nirkabel ini dapat dicapai dengan
memanfaatkan pita Industri, Ilmiah, dan Medis yang gratis di
sebagian besar negara. Untuk menyelesaikan ini,
Namun, ruang lingkup gas yang terdeteksi oleh sensor yang berbeda
harus diperluas. Sebagian besar teknologi berkonsentrasi pada jenis gas
yang mudah terbakar dan beracun yang sama. Karena keselamatan
manusia adalah prioritas, banyak dari gas yang mudah terbakar dan
beracun ini diabaikan dan oleh karena itu penelitian di masa depan perlu
mengeksplorasi semua gas berbahaya yang ada untuk membuat
lingkungan bersih dan aman. Cairan yang mudah terbakar seperti butana,
benzena, bensin, dll harus dieksplorasi juga.
Karena sensitivitas sebuah sensor merupakan karakteristik yang
sangat penting untuk sebuah sensor yang baik. Tujuan dari peneliti ini
adalah bagaimana meningkatkan sensitivitas suatu sensor, jenis lapisan
penginderaan merupakan faktor penentu utama untuk mencapai tujuan
tersebut. Oleh karena itu bahan penginderaan baru perlu digunakan untuk
lapisan penginderaan. Penelitian selanjutnya harus mengembangkan bahan
penginderaan baru untuk lapisan aktifnya seperti sensor berbasis grafena
dan grafit serta nanokompositnya.
Bahan lain yang menjanjikan untuk eksplorasi adalah silikon dan
oksida logamnya. Ini ditunjukkan oleh [72]
dimana Nanocystalline SnO 2- Sensor gas film tebal Pt digunakan
untuk penginderaan multi-gas metanol, etil
alkohol, aseton, isopropanol, dan isobutan. Hasilnya menunjukkan
peningkatan sensitivitas dan selektivitas terhadap gas-gas ini.
Karena itu, lebih menjanjikan
sensitivitas bisa dicapai saat SnO 2 digunakan dengan bahan
komposit karbon. Paduan dari (MnCoNi)
oksida juga bisa menjadi bahan penginderaan yang menjanjikan.
Tabung nano karbon telah menjadi bahan yang cukup
menjanjikan untuk sensor gas karena luas permukaannya yang
tinggi yang memberikan properti yang baik untuk digunakan sebagai
sensor gas. Namun, banyak peneliti yang menggunakannya untuk
merasakan lapisan tanpa mengetahui morfologi struktural mana
yang memberikan respon sensor terbaik. Oleh karena itu, perlu
diteliti efek morfologi struktural terhadap sensitivitas serta
selektivitas sensor.

72
 Sensor & Transduser, Vol. 168, Edisi 4, April 2014, hlm.61-75
Metode yang berbeda telah digunakan oleh peneliti yang
berbeda untuk fabrikasi lapisan aktif seperti sputtering, air
brushing, spin-coating, penyemprotan, dll. Namun, penelitian
selanjutnya harus fokus pada sintesis langsung dari lapisan
penginderaan pada substrat untuk aplikasi sensor karena sensor
yang dibuat menggunakan sintesis langsung lebih sensitif
daripada sensor yang disimpan lapisan penginderaan karena
adhesi nanopartikel yang kuat ke substrat.
Multi-sensing yang menggunakan susunan sensor gas juga merupakan
kualitas yang sangat baik untuk penginderaan gas yang ideal karena waktu
respons dan pemulihan yang tinggi [73]. Oleh karena itu, penelitian masa
depan harus fokus pada properti ini untuk aplikasi penginderaan gas karena
menghemat energi, konsumsi daya, serta ukurannya yang kecil.
Kemampuan ini memungkinkan untuk mengembangkan hanya satu sensor
dengan potensi merasakan lebih dari satu gas atau polutan atmosfer.
Ucapan Terima Kasih
Penulis ingin berterima kasih kepada Kementerian Sains dan
Teknologi dan Inovasi (MOSTI) Malaysia atas dukungan finansial
mereka.
Referensi
[1]. LM Dorozhkin dan IA Rozanov, Sensor kimia gelombang
akustik untuk gas, Jurnal Kimia Analitik, Vol. 56, No. 5, 2001,
hlm. 399–416.
[2]. T. Hübert, L. Boon-Brett, G. Black, dan U. Banach, Sensor
hidrogen - Tinjauan, Sensor dan
Aktuator B: Kimia, Vol. 157, No. 2, Oktober
2011, hlm. 329–352.
[3]. JG Firth, A. Jones, T. Jones, Prinsip-prinsip deteksi atmosfer
yang mudah terbakar oleh perangkat katalitik, Api yang Mudah
Terbakar, Vol. 20, 1973,
hlm. 303–311.
[4]. E. Jones, Deteksi gas katalitik pelistor, di: P. Moseley, B.
Tofield (Eds.), Sensor Gas Solid State,
Adam Hilger, Bristol, 1987, Bab 2, hlm.17-31.
[5]. T. Li, Lie Xu, dkk., Pelat mikro dua balok efisiensi pemanasan
tinggi untuk sensor gas katalitik, di
Prosiding Konferensi Internasional IEEE tentang Mikro
Elektronik dan Sistem Mekanik MEMS,
Kyoto, Jepang, 2012, hlm. 65–68.
[6]. L. Xu, T.Li, X. Gao, dan Y. Wang, Perilaku Sensor Gas
Metana Pembakaran Katalitik Bekerja pada Mode Pulsa, di Prosiding
Konferensi Internasional IEEE tentang Sensor, Kona, HI,
USA, 1-4 November 2010, hlm.391–394.
aku p]. E.-B. Lee, I.-S. Hwang, J.-H. Cha, H.-J. Lee,
W.-B. Lee, JJ Pak, J.-H. Lee, dan B.-K. Ju, sensor gas
hidrogen yang mudah terbakar katalitik mesin mikro, Sensor
dan Aktuator B: Kimia, Vol. 153, No. 2, April 2011, hlm.
392–397.
[8]. W. Shin, M. Matsumiya, N. Izu, dan N. Murayama, Sensor
gas termoelektrik selektif hidrogen,
Sensor dan Aktuator B: Kimia, Vol. 93,
No. 1–3, Agustus 2003, hlm. 304–308.
[9]. W. Shin, M. Matsumiya, F. Qiu, N. Izu, dan
N. Murayama, sensor gas termoelektrik untuk deteksi
konsentrasi hidrogen tinggi, Sensor
dan Aktuator B: Kimia, Vol. 97, No. 2–3, Februari 2004, hlm.
344–347.
[10]. YJ. Kim dan SS Se-Chul Park, Seung-II Yoon,
Chung-Il Lee, Sensor gas mikro-termoelektrik untuk
mendeteksi hidrogen dan atom oksigen,
Analis, Vol. 134, 2009, hlm. 236–242.
[11]. S. Yoon, C. Lee, dan Y. Kim, Gas termoelektrik
sensor berdasarkan katalis oksida timah tertanam untuk
mendeteksi hidrogen dan NO x Gas, masuk Prosiding IEEE 22 nd Konferensi
Internasional tentang Sistem Mekanik Mikro Elektro (MEMS '09), Sorrento,
25-29 Januari 2009, hlm. 272–275.
[12]. S. Anuradha, K. Rajanna, Pengembangan
sensor gas termoelektrik untuk senyawa organik yang mudah
menguap, in Prosiding 5 th IEEE
Konferensi tentang Sensor, Daegu, 22-25 Oktober 2006, hlm. 716–718.
[13]. P. Tardy, J.-R. Coulon, C. Lucat, dan F. Menil,
Sensor konduktivitas termal dinamis untuk deteksi gas, Sensor
dan Aktuator B: Kimia,
Vol. 98, No. 1, Maret 2004, hlm. 63–68.
[14]. I. Simon dan M. Arndt, Penginderaan termal dan gas
sifat sensor konduktivitas termal mesin mikro untuk
mendeteksi hidrogen dalam aplikasi otomotif, Sensor dan
Aktuator A: Fisik,
Vol. 97–98, April 2002, hlm. 104–108.
[15]. G. de Graaf dan R. Wolffenbuttel, Surface-
detektor konduktivitas termal mesin mikro untuk
penginderaan gas, dalam Prosiding Konferensi Teknologi
Pengukuran dan Instrumentasi Internasional IEEE (I2MTC), Graz,
13-16 Mei 2012, hlm. 1861–1864.
[16]. JF Currie, A. Essalik, dan J.-C. Marusic,
Film tipis solid state elektrokimia CO 2, TIDAK 2 sehingga 2 sensor
gas, Sensor dan Aktuator B: Kimia, Vol. 59, No. 2–3, Oktober
1999, hlm. 235–241.
[17]. R. Sathiyamoorthi, R. Chandrasekaran,
T. Mathanmohan, B. Muralidharan, dan
T. Vasudevan, Studi sensor gas berbasis elektrokimia untuk
fluor dan klorin, Sensor dan Aktuator B: Kimia, Vol. 99, No.
2–3, Mei 2004, hlm. 336–339.
[18]. T. Gan dan S. Hu, sensor elektrokimia berdasarkan
bahan graphene, Microchimica Acta, Vol. 175, No. 1–2, Juli
2011, hlm. 1–19.
[19]. GH Lu, LE Ocola, JH Chen, Graphene yang dikurangi
oksida untuk suhu kamar gas sensor,
Nanoteknologi, Vol. 20, 2009, hlm. 445–502.
[20]. Ting Zhang, Syed Mubeen, Nosang V. Myung dan
Marc A Deshusses, Kemajuan terbaru dalam karbon nanotube
berbasis gas sensor, Nanoteknologi,
Vol. 19, No. 33, 2008, ID Artikel 332001. [21].
Elektrokimia Sensor, ( www.intlsensor.com),
hlm. 27–35.
[22]. X. Lu, S. Wu, L. Wang, dan Z. Su, Solid-state
sensor hidrogen amperometrik berdasarkan sel bahan bakar
membran elektrolit polimer, Sensor dan
Aktuator B: Kimia, Vol. 107, No. 2, Juni 2005, hlm. 812–817.
[23]. K. Ho dan W. Hung, Sebuah amperometri NO 2 gas
sensor berdasarkan Pt / Na® pada 1 Elektroda, Sensor dan
Aktuator B: Kimia Vol. 79, No. 2, 2001, hlm. 11–16.
[24]. Y. Chao, S. Yao, WJ Buttner, dan JR Stetter,
Sensor amperometri untuk pengukuran hidrogen selektif dan
stabil, Sensor dan Aktuator B: Kimia, Vol. 106, No. 2, Mei
2005, hlm. 784–790.
73
 Sensor & Transduser, Vol. 168, Edisi 4, April 2014, hlm.61-75
[25]. A. Dutta, H. Nishiguchi, Y. Takita, dan T. Ishihara,
Amperometri hidrokarbon sensor menggunakan
Elektrolit padat La (Sr) Ga (Fe) O3 untuk pemantauan dalam gas
buang, Sensor dan Aktuator B: Kimia,
Vol. 108, No. 1–2, Juli 2005, hlm. 368–373.
[26]. DD. La, CK Kim, TS Jun, Y. Jung, GH Seong,
J. Choo, dan YS Kim, Pt multiwall yang didukung nanopartikel
karbon nanotube elektroda untuk
deteksi hidrogen amperometrik, Sensor dan
Aktuator B: Kimia, Vol. 155, No. 1, Juli 2011, hlm. 191–198.
[27]. C. Phawachalotorn, HAI. Sanguanruang, dan
T. Ishihara, Sensor amperometri yang sangat selektif untuk
deteksi karbon monoksida dalam gas buang,
Sensor dan Aktuator B: Kimia, Vol. 161, No. 1, Januari 2012,
hlm. 635–640.
[28]. C. Lee, SA Akbar, dan CO Park, Potensiometri
Sensor gas CO2 dengan elektrolit oxynitride lithium fosfor, Sensor [42]. J. Huang dan Q. Wan, berdasarkan sensor Gas
dan Aktuator B: Kimia,
Vol. 80, No. 3, Desember 2001, hlm. 234–242.
[29]. J.-C. Yang dan PK Dutta, Suhu tinggi
potensiometri NO2 sensor dengan penginderaan asimetris dan
referensi elektroda Pt, Sensor dan Aktuator B: Kimia, Vol. 143,
No. 2, Januari 2010, hlm. 459–463.
[30]. Y. Yan, N. Miura, dan N. Yamazoe, Potensiometri
sensor menggunakan zirkonia stabil untuk gas klorin,
Sensor dan Aktuator B: Kimia, Vol. 24, No. 1,
1995, hlm. 287–290.
[31]. R. Radhakrishnan, AV Virkar, SC Singhal, GC
Dunham, dan OA Marina, Desain, fabrikasi, dan karakterisasi
sensor oksigen potensiometri terhubung seri miniatur, Sensor
dan Aktuator B: Kimia, Vol. 105, No. 2, Maret 2005, hlm.
312–321.
[32]. C. Massie, G. Stewart, G. McGregor, dan
JR Gilchrist, Desain sensor optik portabel untuk deteksi gas
metana, Sensor dan Aktuator B: Kimia, Vol. 113, No. 2,
Februari 2006, hlm. 830–836.
[33]. LN Acquaroli, R. Urteaga, dan RR Koropecki,
Desain inovatif untuk sensor gas silikon berpori optik, Sensor
dan Aktuator B: Kimia, Vol. 149, No. 1, Agustus 2010, hlm.
189–193.
[34]. H. Manap, R. Muda, S. O'Keeffe, dan E. Lewis,
Penginderaan amonia dan evaluasi sensitivitas silang dengan gas
atmosfer menggunakan sensor serat optik,
Procedia Chemistry, Vol. 1, No. 1, September 2009, hlm. 959–962.
[35]. S. Okazaki, H. Nakagawa, S. Asakura, Y. Tomiuchi,
N. Tsuji, H. Murayama, dan M. Washiya, Karakteristik penginderaan
dari sensor serat optik untuk kebocoran hidrogen, Sensor dan
Aktuator B: Kimia, Vol. 93, No. 1–3, Agustus 2003, hlm. 142–147.
[36]. M. Girschikofsky, M. Rosenberger, S. Belle,
M. Brutschy, SR Waldvogel, dan R. Hellmann, Sensor kisi
planar Bragg optik untuk deteksi waktu nyata dari benzena,
toluena, dan xilena dalam uap pelarut, Sensor dan Aktuator
B: Kimia,
Vol. 171–172, No. 2010, Agustus 2012, hlm. 338–342. [37]. H.
Okajima, S. Kakuma, K. Uchida, Y. Wakimoto,
K. Noda, Pengukuran konsentrasi gas metan menggunakan
LED infra merah, in Prosiding dari
Konferensi Bersama Internasional SICE-ICASE, Busan, 18-21 Oktober
2006 hlm. 1656–1659.
[38]. D. Garcia Romeo, A. Martínez, dan C. Azcona,
CO berbasis NDIR 2 Sistem Monitor untuk Jaringan Sensor
Nirkabel, Simposium Amerika Latin IEEE
74
pada Sirkuit dan Sistem LASCAS, Playa Del Carmen, 29 Februari - 2
Maret 2012, hlm. 1-4.
[39]. D. Chen, W. Liu, Y. Zhang, J. Liu, R. Kan, M. Wang,
J. Chen, dan Y. Cui, deteksi H2S dengan spektroskopi serapan
laser dioda merdu, dalam Pro ceedings dari IEEE International
Conference on Information Acquisition, Shandong, 20-23
Agustus 2006, hlm. 754–758.
[40]. G. Zhang, Y. Li, dan Q. Li, Sebuah miniatur karbon
sensor gas dioksida berdasarkan penyerapan infra merah,
Optik dan Laser di bidang Teknik, Vol. 48, No. 12, Desember
2010, hlm. 1206–1212.
[41]. N. Kasai, C. Tsuchiya, T.Fukuda, K. Sekine, T.
Sano, dan T.Takehana, Deteksi kebocoran gas propana dengan absorpsi
inframerah menggunakan pemancar inframerah karbon dan kamera
inframerah, NDT & E Internasional, Vol. 44, No. 1, Januari 2011, hlm. 57–60.
semikonduktor logam oksida satu dimensi
struktur nano, Sensor, Vol. 9, No. 12, Januari
2009, hlm. 9903–9924.
[43]. A. Khodadadi, SS Mohajerzadeh, Y. Mortazavi,
dan AM Miri, sensor gas semikonduktor berbasis Cerium oksida /
SnO2 dengan sensitivitas yang ditingkatkan terhadap CO, Sensor
dan Aktuator B: Kimia, Vol. 80, No. 3, 2001, hlm. 267–271.
[44]. Prinsip Deteksi Gas (www.honeywell.com). [45].
G.Korotcenkov, Aspek praktis dalam desain satu-
sensor gas semikonduktor elektroda: Laporan status,
Sensor dan Aktuator B: Kimia, Vol. 121, No. 2, Februari 2007,
hlm. 664–678.
[46]. K. Shimanoe, M. Yuasa, T. Kida, dan N. Yamazoe,
Sensor gas semikonduktor menggunakan oksida berukuran nano
untuk deteksi sensitif tinggi gas terkait lingkungan, dalam format Prosiding
Konferensi Internasional IEEE tentang Bahan dan Perangkat
Nanoteknologi, Oktober 2011, hlm. 38–43.
[47]. T. Takada, T. Fukunaga, dan T. Maekawa, Baru
metode untuk identifikasi gas menggunakan sensor
semikonduktor tunggal, Sensor dan Aktuator B: Kimia, Vol. 66,
No. 1–3, Juli 2000, hlm. 22–24. [48]. R. Konishi,
Estimasi-konsentrasi dari
gas yang mudah terbakar dengan sensor gas semikonduktor yang
memanfaatkan jaringan saraf dan inferensi fuzzy,
Sensor dan Aktuator B: Kimia, Vol. 41, No. 1-3,
1997, hlm. 121–129.
[49]. G. Halek, M. Malewicz, dan H. Teterycz, Metode
peningkatan selektivitas sensor gas semikonduktor, in Prosiding
International Students and Young Scientists Workshop on
Photonics and Microsystem ', Wernigerode, 25-27 Juni 2009,
hlm. 31–35.
[50]. W.H King, detektor serapan piezoelektrik,
Kimia Analisis, Vol. 36, 1964, hlm. 1735–1739. [51]. C. Lim,
W. Wang, S. Yang, dan K. Lee,
Pengembangan sensor multi-gas berbasis SAW untuk deteksi CO
secara bersamaan 2 dan tidak 2, Sensor dan Aktuator B: Kimia, Vol.
154, No. 1, Mei 2011, hlm. 9–16.
[52]. G. Fischerauer, F. Dickert, P. Forth, dan U. Knauer,
Sensor kimia berdasarkan resonator SAW yang bekerja
hingga 1 GHz, in Prosiding IEEE Ultrasonics Symposium, 1996,
Jil. 1, hlm. 439–442.
[53]. MN Hamidon, V. Skarda, NM White, F. Krispel,
P. Krempl, M. Binhack, W. Buff, Fabrikasi perangkat gelombang
akustik permukaan suhu tinggi untuk aplikasi sensor, Sensor dan
Aktuator A, Vol. 123, Edisi 1, 2005, hlm. 403–407.
 Sensor & Transduser, Vol. 168, Edisi 4, April 2014, hlm.61-75

[54]. Daniel R. Raichel, Aplikasi akustik modern, Simposium Ultrasonik, November 2008, Jil. 1,
Springer-Verlag GmBH, 2000. hlm. 1850–1853.
[55]. H. Wohltjen dan R. Dessy, Gelombang akustik permukaan [65]. C. Lim, S. Yang, dan K. Lee, Bersamaan dan
probe untuk analisis kimia, I Pendahuluan dan deskripsi pengukuran nirkabel CO 2 dan garis penundaan reflektif, gergaji
TIDAK 2 menggunakan
instrumen, II Detektor kromatografi gas, III Penganalisis masuk Prosiding dari
polimer termomekanik, Konferensi Internasional tentang Sensor, Aktuator, dan Sistem
Kimia Analisis, Vol. 51, 1979, hlm. 1458–1478. [56]. MS Mikro Solid-State (TRANSDUCERS'09),
Nieuwenhuizen dan AJ Nederlof, gas A SAW Denver, CO, 21-25 Juni 2009, hlm. 995–998, 2009. [66]. C. Viespe
sensor untuk karbon dioksida dan air. Eksperimen dan C. Grigoriu, Gelombang akustik permukaan
pendahuluan, Sensor dan Aktuator B: Kimia, sensor dengan nanotube karbon dan nanokomposit berbasis
Vol. 2, No. 2, Mei 1990, hlm. 97–101. SiO2 / Si untuk deteksi VOC, Sensor dan Aktuator B: Kimia,
[57]. A. Venema, E. Nieuwkoop, WJ Ghijsen,
AW Barendsz, dan MS Nieuwenhuizen, Pengukuran Vol. 147, No. 1, Mei 2010, hlm. 43–47.
konsentrasi gas NO2 dengan kemosensor SAW, Transaksi [67]. D. Yao dan M. Chen, susunan sensor gas berdasarkan
IEEE pada Ultrasonics, Ferroelectrics dan Frequency perangkat gelombang akustik permukaan untuk deteksi dan
Control, Vol. 34, Masalah 2, 1987, hlm.148-155. analisis uap, dalam format Prosiding IEEE 5 th

Konferensi Internasional tentang Rekayasa Nano / Mikro dan

[58]. V. I Anisimkin, M. Penza, A. Valentini, F. Quaranta, Sistem Molekuler, Januari 2010, Jil. 1, hlm. 267–271.
L.Vasanelli, Deteksi gas yang mudah terbakar dengan menggunakan
garis penundaan gelombang akustik permukaan (SAW) ZnO-on-Si, Sensor [68]. H. Hao, M. Chen, dan T. Lin, permukaan kimia
dan Aktuator B: Kimia, Larik sensor gelombang akustik (SAW) untuk merasakan
Vol. 23, 1995, hlm. 197–201. konsentrasi yang berbeda dari NH3, n Prosiding IEEE 5 th Konferensi
[59]. K. Beck, T. Kunzelmann, M. Von Schickfus, dan Internasional tentang Rekayasa Nano / Mikro dan Sistem
S.Hunklinger, Sensor gas gelombang akustik permukaan tanpa kontak, Molekuler, Januari 2010, Jil. 10, hlm. 1092–1096.
Sensor dan Aktuator, Vol. 76, No. 1-3, Augusto 1999, hlm. 103–106.
[69]. C. Shen, C. Hsu, M. Su, R. Tsai, dan S. Wang,
[60]. H. Lee, D. Han, dan H. Ahn, Desain dan fabrikasi Karakteristik propagasi gelombang akustik permukaan dan
sensor gas SAW dengan struktur resonator, in sifat sensor gas pada kuarsa, in
Prosiding 5 th Konferensi Internasional tentang Properti dan Prosiding Simposium IUTAM tentang Kemajuan Terbaru
Aplikasi Bahan Dielektrik, Gelombang Akustik pada Padatan, Vol. 26, 2010, hlm. 293–302.
Seoul, 25-30 Mei 1997, Jil. 2, hlm. 1058–1061.
[61]. JA Thiele dan MP Cunha, Konfigurasi ganda [70]. TH Lin, YT Li, HC Hao, IC Fang, CM
sensor hidrogen suhu tinggi pada perangkat LGS SAW, in Prosiding Yang, DJYao, Sensor gas gelombang akustik permukaan untuk pemantauan
IEEE Ultrasonics Symposium, 2004, hlm. 809–812. rendah konsentrasi amonia, di
Prosiding IEEE 16 th Internasional
[62]. AZ Sadek, W. Wlodarski, K. Shin, RB Kaner, Konferensi tentang Sensor Solid-State, Aktuator, dan Sistem Mikro
dan K. Kalantar-Zadeh, Komposit bersuhu ruangan polianilin (Transduser'2011), Beijing, 5-9 Juni 2011 hlm. 1140–1143.
/ SnO2 nanofiber berbasis lapisan ZnO / 64 ° YX LiNbO 3
SAW sensor gas hidrogen, di Procee dings Konferensi [71]. D.-T. Phan dan G.-S. Chung, Gelombang akustik permukaan
Internasional tentang Prosiding Konferensi Bahan dan sensor hidrogen berdasarkan nanopartikel ZnO yang
Perangkat Optoelektronik dan Mikroelektronika (COMMAD digabungkan dengan katalis Pt, Sensor dan
'06), Perth, WA, Australia, 6-8 Desember 2006, hlm. Aktuator B: Kimia, Vol. 161, No. 1, Januari
208–211. 2012, hlm. 341–348.
[72]. MHS Abadi, MN Hamidon, AH Shaari,
[63]. AZ Sadek, W. Wlodarski, Y. Li, W. Yu, X. Li, dan N. Abdullah, RW And, dan N. Misron, sensor gas film tebal
X. Yu, A berbasis ZnO nanorod 64 derajat YX LiNbO3 Nanocrystalline SnO2-Pt untuk aplikasi polusi udara, Sensor
permukaan sensor gelombang akustik CO, di dan Transduser,
Prosiding Konferensi Internasional IEEE tentang Sensor, 2006, Vol. 125, No. 2, 2011, hlm. 76–88.
Jil. 6, hlm. 691–694. [73]. MH Shahrokh Abadi, MN Hamidon, AH
[64]. M. Penza, R. Rossi, M. Alvisi, P. Aversa, G. Shaari, N. Abdullah, dan R. Wagiran, susunan sensor gas ablated
Cassano, D. Suriano, M. Benetti, D. Cannata, F. Di laser film tipis SnO2 / Pt, Sensor, Vol. 11, No. 8, Januari 2011, hlm.
Pietrantonio, dan E. Verona, sensor gas SAW dengan film 7724–7735.
carbon nanotubes, di Prosiding IEEE

___________________

2014 Hak Cipta ©, Penerbitan Asosiasi Sensor Frekuensi Internasional (IFSA), SL Semua hak dilindungi undang-undang.
(http://www.sensorsportal.com)

75

Viieew
V. wppuubblliicca.dll
attiiodin ssttaattss