PETUNJUK PENGOPERASIAN SEM-EDX UNTUK UJI BANDING SAMPEL

STANDAR

1. Ruang Lingkup Akreditasi

a. Analisa Morfologi dan Resolusi
b. Analisa Ketebalan Lapisan
c. Analisa Komposisi Unsur

2. Nama Sampel
a. Analisa Morfologi dan Resolusi : Sampel dari LPTB
b. Analisa Ketebalan Lapisan : Sampel Lapisan Logam
c. Analisa Komposisi Unsur : Sampel EDX dari LPTB

3. Parameter
a. Analisa Morfologi dan Resolusi
- Secondary Electron
Vacc : 20.0kV
Perbesaran : Menyesuaikan LPTB
Working Distance : 5.0 mm
Pengukuran Resolusi/Dimensi : 3 kali

Vacc : 3.0kV
Perbesaran : Menyesuaikan LPTB
Working Distance : 5.0 mm
Pengukuran Resolusi/Dimensi : 3 kali

- Backscattered Electron
Vacc : 20.0kV
Perbesaran : Menyesuaikan LPTB
Working Distance : 5.0 mm
Pengukuran Resolusi/Dimensi : 3 kali

Vacc : 3.0kV
Perbesaran : Menyesuaikan LPTB
Working Distance : 5.0 mm
Pengukuran Resolusi/Dimensi : 3 kali

- Ultra Variable-Pressure Detector (UVD)/Variable-Pressure SEM/Low

Vacuum SEM
Vacc : 3.0kV
Perbesaran : Menyesuaikan LPTB
Working Distance : 5.0 mm
Pressure : 60Pa
Pengukuran Resolusi/Dimensi : 3 kali

b. Analisa Ketebalan Lapisan

Mode Image : Backscattered Electron
Vacc : 20.0kV
Perbesaran : 150x
Working Distance : 5.0 mm
 Pengulangan Pengukuran : 3 kali, sebanyak 3 gambar

c. Analisa Komposisi Unsur (EDX-Point)

Mode Image : Backscattered Electron
Vacc : 20.0kV
Perbesaran : 500x
Working Distance : 5.0 mm
Analisis Elemen : Au, Pt, Co, Ag dan Ni
Pengulangan Pengukuran : 3 kali

4. Petunjuk Pengoperasian
Disesuaikan dengan prosedur pengoperasian SEM di laboratorium.

5. Hasil Pengukuran
a. Analisa Morfologi dan Resolusi (Dimensi Gambar 12.3 W x 9.3 H)
- Secondary Electron (Vacc 20.0kV)

Gambar 1. Citra SEM sampel standar “nama sampel” pada perbesaran

“aaaax” (SE)

Tabel 1. Data hasil pengukuran dimensi dan hasil pengolahan statistik citra
SEM “nama sampel”
Dimensi (“satuan”)
Pengukuran Dimensi Jumlah Rata-rata Sr Z-score
1 2 3
Dimensi “Referensi (satuan)”
(SE)
- Secondary Electron (Vacc 3.0kV)

Gambar 2. Citra SEM sampel standar “nama sampel” pada perbesaran

“aaaax” (SE)

Tabel 2. Data hasil pengukuran dimensi dan hasil pengolahan statistik citra
SEM “nama sampel”
Dimensi (“satuan”)
Pengukuran Dimensi Jumlah Rata-rata Sr Z-score
1 2 3
Dimensi “Referensi (satuan)”
(SE)

- Backscattered Electron (Vacc 20.0kV)

Gambar 3. Citra SEM sampel standar “nama sampel” pada perbesaran

“aaaax” (BSE)

Tabel 3. Data hasil pengukuran dimensi dan hasil pengolahan statistik citra
SEM “nama sampel”
Dimensi (“satuan”)
Pengukuran Dimensi Jumlah Rata-rata Sr Z-score
1 2 3
Dimensi “Referensi (satuan)”
(BSE)
- Backscattered Electron (Vacc 3.0kV)

Gambar 4. Citra SEM sampel standar “nama sampel” pada perbesaran

“aaaax” (BSE)

Tabel 4. Data hasil pengukuran dimensi dan hasil pengolahan statistik citra
SEM “nama sampel”
Dimensi (“satuan”)
Pengukuran Dimensi Jumlah Rata-rata Sr Z-score
1 2 3
Dimensi “Referensi (satuan)”
(BSE)

- Ultra Variable-Pressure Detector (UVD)/Variable-Pressure SEM/Low

Vacuum SEM (3.0kV dan 60 Pa)

Gambar 5. Citra SEM sampel standar “nama sampel” pada perbesaran

“aaaax” (UVD/VP/LV)

Tabel 5. Data hasil pengukuran dimensi dan hasil pengolahan statistik citra
SEM “nama sampel”
Dimensi (“satuan”)
Pengukuran Dimensi Jumlah Rata-rata Sr Z-score
1 2 3
Dimensi “Referensi (satuan)”
(UVD/VP/LV)
 b. Analisa Ketebalan Lapisan(Dimensi Gambar 12.3 W x 9.3 H)

(a) (b)

(c)
Gambar 6. Hasil citra SEM dan pengukuran ketebalan sampel lapisan logam pada
posisi: (a) 1, (b) 2 dan (c) 3

Tabel 6. Data hasil pengukuran ketebalan dan hasil perhitungan statistik sampel
lapisan logam
Ketebalan Coating (µm)
Pengukuran
1 2 3
a
b
c
Jumlah
Rata-rata
Sr
Z-score

c. Analisa Komposisi Unsur (Dimensi Gambar 12.3 W x 9.3 H)

Tabel 7. Persentase atomik dan hasil pengolahan statistik dari sampel perak
(Ag), emas (Au) kobalt (Co), nikel (Ni) dan platina (Pt)
Spektrum Ag Au Co Ni Pt
1
2
3
Jumlah
Rata-rata
Sr
Z-score