SCANNING

ELECTRON
MICROSCOPY
(SEM)

Rizki Aprillia Tauriska | Rani Triwardhani | Anissa Layla Qodri | Sarah Aulia | Yaumil Akbar | Archie Pradipta
POKOK BAHASAN

KELEBIHAN &
DEFINISI PRINSIP BAGIAN
KEKURANGAN

APLIKASI VIDEO
 SEM (Scanning Electron Microscope) adalah
salah satu jenis mikroskop electron yang
menggunakan berkas electron untuk
menggambarkan bentuk permukaan dari
material yang dianalisis (Ayu, 2013)

SEM memiliki resolusi yang lebih tinggi dari pada

mikroskop optik. Hal ini disebabkan oleh panjang
gelombang de Broglie yang dimiliki elektron lebih
pendek daripada gelombang optik. Makin kecil
panjang gelombang yang digunakan maka makin
tinggi resolusi mikroskop.

Panjang gelombang de Broglie elektron adalah

λ=h/p, dengan h konstanta Planck dan p adalah
elektron. Momentum elektron dapat
ditentukan dari energi kinetik melalui
hubungan K=p2/2m, dengan K energi kinetik Scanning Electron Microscopy (SEM) / Mikroskop
elektron dan m adalah massanya. Pemindai Elektron
 PRINSIP KERJA

Prinsip kerja SEM adalah menembakkan permukaan benda dengan

berkas elektron berenergi tinggi. Permukaan benda yang dikenai
berkas akan memantulkan kembali berkas tersebut atau
menghasilkan elektron sekunder ke segala arah. Tetapi ada satu
arah di mana berkas dipantulkan dengan intensitas tertinggi.
Detektor di dalam SEM mendeteksi elektron yang dipantulkan dan
menentukan lokasi berkas yang dipantulkan dengan intensitas
tertinggi. Arah tersebut memberi informasi profil permukaan benda
seperti seberapa landai dan ke mana arah kemiringan

Pada saat dilakukan pengamatan, lokasi permukaan benda yang ditembak dengan berkas elektron di-scan ke
seluruh area daerah pengamatan. Kita dapat membatasi lokasi pengamatan dengan melakukan zoon-in atau
zoom-out. Berdasarkan arah pantulan berkas pada berbagai titik pengamatan maka profil permukan benda
dapat dibangun menggunakan program pengolahan gambar yang ada dalam komputer.
 PRINSIP KERJA

Syarat agar SEM dapat menghasilkan citra yang tajam adalah

permukaan benda harus bersifat sebagai pemantul elektron atau dapat
melepaskan elektron sekunder ketika ditembak dengan berkas
elektron. Material yang memiliki sifat demikian adalah logam. Jika
permukaan logam diamati di bawah SEM maka profil permukaan akan
tampak dengan jelas.

Agar profil permukaan bukan logam jelas dengan SEM maka

permukaan material tersebut harus dilapisi dengan logam. Film tipis
logam dibuat pada permukaan material tersebut sehingga dapat
memantulkan berkas elektron. Metode pelapisan yang umumnya
dilakukan adalah evaporasi dan sputtering .
 PRINSIP KERJA

Pada metode evaporasi, material yang akan diamati

E permukaanya ditempatkan dalam satu ruang (chamber) dengan
logam pelapis. Ruang tersebut dapat divakumkan dan logam
V pelapis dapat dipanaskan hingga mendekati titik leleh. Logam
A pelapis diletakkan di atas filamen pemanas. Mula-mula chamber
divakumkan yang dikuti dengan pemanasan logam pelapis.
P
O Atom-atom menguap pada permukaan logam. Ketika sampai
pada permukaan material yang memiliki suhu lebih renda, atom-
R atom logam terkondensasi dan membetuk lapisan film tipis di
permukaan material. Ketebalan lapisan dapat dikontrol dengan
A mengatur lama waktu evaporasi.
S
Agar proses ini dapat berlangsung efesien maka logam pelapis
I yang digunakan harus yang memiliki titik lebur rendah. Logam
pelapis yang umumnya digunakan adalah emas.
 PRINSIP KERJA

S Prinsip kerja sputtering mirip dengan evaporasi. Namun sputtering

dapat berlangsung pada suhu rendah (suhu kamar) Permukaan logam
P ditembak dengan ion gas berenergi tinggi sehingga terpental keluar dari
permukaan logam dan mengisi ruang di dalam chamber.
U
T Ketika mengenai permukaan sample, atom-atom logam tersebut
T memmebtuk fase padat dalam bentuk film tipis. Ketebalan lapisan
dikontrol dengan mengatur lama waktu sputtering.
E
R Pada saat pengukuran dengan SEM, lokasi di permukaan sample tidak
boleh terlalu lama dikenai berkas. elektron yang berenergi tinggi pada
I berkas dapat mencabut atom-atom di permukaan sample sehingga
permukaan tersebut akan rusak dengan cepat. Film tipis di permukaan
N sample akan menguap dan kembali menjadi isolator. Akhirnya bayangan
G yang terekam tiba-tiba menjadi hitam.
 Partikel Nanotube
(3 μm ) (1 μm)

Partikel yang terorganisasi

(300 nm)
INSTRUMEN SEM
 KELEBIHAN DAN KEKURANGAN
 Daya pisah tinggi
Dapat ditinjau dari jalannya berkas media, SEM dapat digolongkan dengan optik metalurgi prinsip refleksi, yang diarti sebagai permukaan spesimen yang
memantulkan berkas media.

 Menampilkan data permukaan spesimen

Teknik SEM pada hakekatnya merupakan pemeriksaan dan analisis permukaan. Data atau tampilan yang diperoleh adalah data dari permukaan atau lapisan
yang tebalnya sekitar 20 mikro meter dari permukaan. Sinyal lain yang penting adalah back scattered elektron yang intensitasnya bergantung pada nomor atom, yang
unsurnya menyatakn permukaan spesimen. Dengan cara ini diperoleh gambar yang menyatakan perbedaan unsur kimia yang lebih tinggi pada nomor atomnya.
Kemampuannya yang beragam membuat SEM popular dan luas penggunaannya, tidak hanya dibidang material melainkn juga dibidang biologi, pertanian, kedokteran,
elektronika, mikroelektronika dan lain-lain.
 Kemudahan penyiapan sampel
Spesimen untuk SEM dapat berupa material yang cukup tebal, oleh karena itu penyiapannya sangat mudah. Untuk pemeriksaan permukaan patahan
(fraktografi), permukaan diusahakan tetap seperti apa adanya, namun bersih dari kotoran, misalnya debu dan minyak. Permukaan spesimen harus bersifat konduktif.
Oleh karena itu permukaan spesimen harus bersih dari kotoran dan tidak terkontaminasi oleh keringat.
 Ukuran sample yang relatif besar

 Rentang perbesaran yang luas: 3X -150,000X

8/23/2019 10
 KELEBIHAN DAN KEKURANGAN

(+) (-)
DAYA PISAH TINGGI DIBANDING TEM RESOLUSINYA LEBIH
RENDAH
MENAMPILKAN DATA PERMUKAAN
SPESIMEN DIPERLUKAN COATING DENGAN Au

KEMUDAHAN PENYIAPAN SAMPEL DIGUNAKAN VAKUM

UKURAN SAMPLE YANG RELATIF BESAR HANYA PERMUKAAN YANG TERAMATI

RENTANG PERBESARAN YANG LUAS: 3X -150,000X

8/23/2019 11
Aplikasi dari teknik SEM dirangkum sebagai berikut:

Topografi: Menganalisa permukaan dan teksture

(kekerasan, reflektivitas dsb)

Morfologi: Menganalisa bentuk dan ukuran dari benda

sampel

Komposisi: Menganalisa komposisi dari permukaan benda

secara kuantitatif dan kualitatif.
THANK
YOU