13.1.

Introduction
• Ketika mempelajari sensor-sensor, disadari bahwa berbagai prinsip fisik
berbeda terlibat dalam operasi mereka. Juga menjadi jelas bahwa prinsip-
prinsip fisik tempat mereka beroperasi seringkali merupakan faktor penting
dalam memilih sensor untuk aplikasi yang diberikan, karena sensor yang
menggunakan prinsip tertentu dapat bekerja jauh lebih baik daripada
menggunakan prinsip yang berbeda dalam kondisi operasi tertentu.
• Oleh karena itu bijaksana untuk mencurahkan bab ini untuk mempelajari
berbagai prinsip fisik yang dieksploitasi dalam sensor pengukuran sebelum
melanjutkan ke bab terpisah yang ditujukan untuk pengukuran berbagai
kuantitas fisik.
• Prinsip-prinsip fisik yang akan diperiksa adalah perubahan kapasitansi,
perubahan resistansi, fenomena magnetik (induktansi, keengganan, dan
arus eddy), efek Hall, sifat bahan piezoelektrik, perubahan resistansi pada
kabel yang diregangkan / disaring (strain gauge), sifat bahan piezoresistif,
transmisi cahaya (baik di sepanjang jalur udara dan sepanjang kabel serat
optik), sifat-sifat USG, transmisi radiasi, dan sifat-sifat struktur
mikromachined (mikrosensor).
 Definition
 A sensor is a device that receives a stimulus and
responds with an electrical signal.

Fig 1.1

Level control system. A sight tube and the

operator’s eye form a sensor.
3
 What are some quantities
that can be sensed?

 Motion, position,  Sound

displacement  Moisture
 Velocity and  Light
acceleration  Radiation
 Force, strain  Temperature
 Pressure  Chemical presence
 Flow
These quantities are the stimulus.

4
 The Response is an
Electrical Signal

 When we say electrical we  The voltage, current or

mean a signal which can charge may be describe
be channeled, amplified by:
and modified by electronic • Amplitude
devices:
• Voltage
• Frequency
• Current
• Phase
• Charge
• Digital code

5
Any sensor is an energy converter
 This conversion can be direct or it may
require transducers.
Fig 1.2

 Example:
• A chemical sensor may have a part which
converts the energy of a chemical reaction into
heat (transducer) and another part, a
thermopile, which converts heat into an
electrical signal.
6
 Physical Principles of Sensing
 Charges, fields &  Seebeck and
potentials Peltier effects
 Capacitance  Thermal properties
 Magnetism of materials
 Induction  Heat transfer
 Resistance  Light
 Piezoelectric effect

7
 Types of Sensor
 Direct
• A sensor that can convert a non-
electrical stimulus into an electrical
signal with intermediate stages.
 Thermocouple (temperature to voltage)
 Indirect
• A sensor that multiple conversion steps
to transform the measured signal into
an electrical signal.
 A fiber-optic displacement sensor:
 Current photons current

8
13.2 Capasitive sensors
13.2 Capasitive sensors
• Sensor kapasitif terdiri dari dua pelat logam
paralel di mana dielektrik antara pelat adalah
udara atau media lain
• Ada dua bentuk perangkat kapasitif, yaitu
apakah jarak antara pelat logam tetap dan
yang tidak tetap.
13.2 Capasitive sensors
• Perangkat kapasitif di mana jarak antara pelat bervariasi digunakan terutama
sebagai sensor perpindahan. Gerak pada pelat kapasitif yang dapat berpindah
relatif terhadap pelat yang pada posisi tetap dapat merubah nilai kapasitansi.
Perangkat tersebut dapat digunakan secara langsung sebagai sensor perpindahan
dengan menerapkan gerakan yang akan diukur ke pelat kapasitor yang dapat
dipindahkan. Sensor perpindahan kapasitif biasanya merupakan bagian dari
instrumen yang mengukur tekanan, suara, atau akselerasi, sebagaimana
dijelaskan dalam bab-bab selanjutnya.
• Untuk yang menggunakan prinsip jarak antara pelat tetap, variasi dalam
kapasitansi dicapai dengan mengubah konstanta dielektrik bahan antara pelat di
suatu tempat. Salah satu aplikasi adalah di mana media dielektrik adalah udara
dan perangkat digunakan sebagai sensor kelembaban dengan mengukur kadar air
di udara. Aplikasi umum lainnya adalah sebagai sensor level cairan, di mana
dielektrik adalah bagian udara dan bagian cair sesuai dengan level cairan yang
dimasukkan perangkat. Kedua aplikasi ini dibahas secara lebih rinci dalam bab-
bab selanjutnya. Prinsip ini digunakan dalam perangkat untuk mengukur kadar air,
nilai kelembaban, dan tingkat cairan, seperti yang dibahas dalam bab-bab
selanjutnya.
 Capacitance
• Two isolated conductive objects of arbitrary shape
which can hold an electric charge is called a
capacitor.
– An E field is developed between the two conductors.

q 0 A
C 
V d

FALL 2004 SOPHOMORE CLINIC 12

How to Choose/Use Capacitive Sensors for Various
Applications
 Background
• Three Main Types:
• Displacement
• Touch Sensor and iPod Click
Wheel
• Accelerometer
• Automobile Suspension System,
Air Bag System, ABS
• Pressure
• Tire Pressure
 Background (cont...)

• Capacitance
• Electric Fringe Fields
• Dielectric differences
 Background (cont...)
• Advantages of Capacitive Sensor
• Higher accuracy
• Smaller size
• More reliable (compared to mechanical)
• No moving parts (more durable)
• No direct contact with the sensor
• Sealed from dirt
• Cheaper
 Water level sensor

• Metal electrode
• Ground vessel
• Dielectric change
causes change in
capacitance
 Water Level Sensor (cont...)

• Figure shows simplified

view
• Typical Applications:
• Gas Tank Sensor
• Water Reservoir
• Production Vats
• Cheaper than similar
sensors
• More Accurate
 Airbag System
• Required by Government law since 1999
model year
• Capacitive Pressure Sensor and Capacitive
Accelerometer Sensor are used for passenger
protection
 Airbag System
• Sense a passenger.
• Capacitive Pressure Sensor
• Use a thin diaphragm
• Pressure is detected based on change in the
capacitance between the diaphragm and the electrode
 Airbag System
• Sense a crash
• Capacitive Accelerometer Sensor
• A change in electrical capacitance with respect to
acceleration
 Touch sensor

• Electrical disturbance
• Two plate sensor
• Surface charge
• Overlay of 1-3mm
 Touch sensor (cont...)
• Interaction with E-fields
• E-fields projects through material
• Responsive to conductive devices
 Touch sensor (cont...)
• Change in capacitance
• Dielectric permittivity influence

• Common applications
– Touch screens (ex. iPhone, Nexus1)
– Track pads
 Vehicle Identification Capacitive Sensor

• Used at road toll stations

• Current Inductive sensors
• Drawbacks:
• Covers large area
• Senses only metal
• Not very accurate
• Solution: Use a capacitive sensor
 Capacitive sensor structure

• 11 Excitation and 30 detection electrodes

• B0 (detection circuit and CtD)
• B0 connects to B1-B30
• Capacitance between plates A and B
 Structure (cont...)

• Sensor embedded into a ramp

• Help slow the cars down
• Stray capacitance
 Capacitance measuring circuit

• Cx is very small
• Cs1 and Cs2 are large
• Measured Cx:
V3 = 2fVcCxRf + V1-V2
• Detection of 0.001 pF
• Sensitivity 1V/pF
 Capacitive Sensors for Thickness
Measurement


Utilizes high-performance,
complex sensors

Resolution down to less
than one nanometer

Thickness measurement:
capacitive vs. inductive

Ex: Measuring the
thickness of silicon wafers
Capacitive Sensors for Thickness Measurement

• Components:
• Probe: Device which emits
the electric field
• Probe Guard: Shapes the
electric field
• Circuitry: Measures very
small changes in
capacitance using complex
algorithms
Capacitive Sensors for Thickness Measurement

• Single channel:
• Only one sensor probe
• Non-flat surfaces produce
error

• Dual channel:
• Uses two sensors placed on
opposite sides of object to
be measured
• Nulls out curved surface
errors due to differential
operation
Capacitive Sensors for Thickness Measurement

• Typical Applications?
• Machining
• Manufacturing
• Precision thickness
measurements
 Conclusion
• Background
• Water Level
• Air Bag deployment systems
• Touch sensors
• Vehicle detection system
• Thickness Measurement
• Questions?
13.3. Resistive Sensors

• Sensor resistif bergantung pada variasi resistensi

suatu material ketika variabel yang diukur
diterapkan padanya. Prinsip ini diterapkan paling
umum dalam pengukuran suhu menggunakan
termometer atau termistor resistansi. Ini juga
digunakan dalam pengukuran perpindahan
menggunakan pengukur regangan atau sensor
piezoresistif. Selain itu, beberapa pengukur
kelembaban bekerja berdasarkan prinsip resistensi-
variasi. Semua aplikasi ini dipertimbangkan lebih
lanjut dalam bab-bab selanjutnya.
13.3. Resistive Sensors
13.3. Resistive Sensors
13.3. Resistive Sensors
13.3. Resistive Sensors
13.3. Resistive Sensors
13.3. Resistive Sensors
13.4. Magnetic Sensors
• Magnetic sensors utilize the magnetic
phenomena of inductance, reluctance, and
eddy currents to indicate the value of the
measured quantity, which is usually some
form of displacement.
13.4. Magnetic Sensors

Inductive sensors translate movement into a change in the

mutual inductance between magnetically coupled parts. One
example of this is the inductive displacement transducer
shown in Figure 13.1.
13.4. Magnetic Sensors
In variable reluctance sensors, a coil is
wound on a permanent magnet rather
than on an iron core as in variable
inductance sensors. Such devices are
used commonly to measure rotational
velocities. Figure 13.2 shows a typical
instrument in which a ferromagnetic
gearwheel is placed next to the sensor.

Eddy current sensors consist of a probe

containing a coil, as shown in Figure
13.3, that is excited at a high frequency,
which is typically 1 MHz. This is used
to measure the displacement of the
probe relative to a moving metal target.
Because of the high frequency of
excitation, eddy currents are induced
only in the surface of the target, and the
current magnitude reduces to almost
zero a short distance inside the target
 13.5. Half-Effect Sensors

Pada dasarnya, sensor efek Hall adalah

perangkat yang digunakan untuk mengukur
besarnya medan magnet. Ini terdiri dari
konduktor yang membawa arus yang
disejajarkan secara orthogonal dengan
medan magnet, seperti yang ditunjukkan
pada Gambar 13.4. Ini menghasilkan
perbedaan tegangan transversal di seluruh
perangkat yang berbanding lurus dengan
kekuatan medan magnet. Untuk arus
eksitasi, I, dan kekuatan medan magnet, B,
tegangan output diberikan oleh V=KIB, di
mana K dikenal sebagai konstanta Hall.

Efek Hall juga digunakan secara umum di tombol keyboard komputer. Ketika sebuah
tombol ditekan, magnet yang terpasang di bawah tombol bergerak melewati sensor efek
Hall. Ini menghasilkan tegangan yang diinduksi dalam sensor, yang diubah oleh rangkaian
pemicu menjadi output digital. Sakelar tombol tekan seperti itu dapat beroperasi pada
frekuensi tinggi tanpa pantulan kontak.
13.6. Piezoelectric Transducers
• Transduser piezoelektrik menghasilkan tegangan output ketika suatu gaya
diberikan padanya. Mereka juga dapat beroperasi dalam mode terbalik di mana
tegangan yang diberikan menghasilkan kekuatan output.
• Mereka sering digunakan sebagai pemancar dan penerima ultrasonik. Mereka
juga digunakan sebagai transduser perpindahan, terutama sebagai bagian dari
perangkat yang mengukur akselerasi, gaya, dan tekanan. Pada penerima
ultrasonik, variasi amplitudo sinusoidal dalam gelombang ultrasonik yang
diterima diterjemahkan menjadi perubahan sinusoidal dalam amplitudo gaya
yang diterapkan pada transduser piezoelektrik. Dengan cara yang sama, gerakan
translasi dalam transduser perpindahan disebabkan oleh cara mekanis untuk
menerapkan gaya pada transduser piezoelektrik. Transduser piezoelektrik terbuat
dari bahan piezoelektrik. Ini memiliki kisi molekul asimetris yang mendistorsi
ketika kekuatan mekanik diterapkan untuk itu. Distorsi ini menyebabkan
reorientasi muatan listrik di dalam material, menghasilkan perpindahan relatif
muatan positif dan negatif. Perpindahan muatan menginduksi muatan permukaan
pada material polaritas yang berlawanan antara kedua sisi. Dengan menanamkan
elektroda ke permukaan material, muatan permukaan ini dapat diukur sebagai
tegangan output. Untuk blok material persegi panjang, tegangan induksi diberikan
oleh
13.6. Piezoelectric Transducers
13.6. Piezoelectric Transducers
13.6. Piezoelectric Transducers
13.7. Strain Gauge
• Strain gauges adalah perangkat yang mengalami
perubahan resistensi ketika mereka diregangkan.
Mereka mampu mendeteksi perpindahan yang
sangat kecil, biasanya dalam kisaran 0,50 mm, dan
biasanya digunakan sebagai bagian dari transduser
lain, misalnya, sensor tekanan diafragma yang
mengubah perubahan tekanan menjadi
perpindahan kecil diafragma. Ketidakakuratan
pengukuran terendah 0,15% dari pembacaan skala
penuh dapat dicapai
13.7. Strain Gauge

material in metal strain gauge manufacture is a

copper–nickel–manganese alloy

In use, strain gauges are bonded to the object whose displacement is to be measured. The
process of bonding presents a certain amount of difficulty, particularly for semiconductor types. The
resistance of the gauge is usually measured by a d.c. bridge circuit, and the displacement is inferred
from the bridge output measured. The maximum current that can be allowed to flow in a strain gauge
is in the region of 5 to 50 mA depending on the type. Thus, the maximum voltage that can be applied
is limited and, consequently, as the resistance change in a strain gauge is typically small, the bridge
output voltage is also small and amplification has to be carried out. This adds to the cost of using
strain gauges.
13.8. Piezoresistive Sensors

• Sensor piezoresistif sering digunakan sebagai

pengukur regangan, di mana ia menghasilkan
faktor pengukur yang jauh lebih tinggi
daripada yang diberikan oleh kawat logam
atau pengukur foil. Selain itu, ketidakpastian
pengukuran dapat dikurangi hingga 0,1%. Ini
juga digunakan dalam sensor tekanan
semikonduktor-diafragma dan akselerometer
semikonduktor..
13.9. Optical Sensors

• Optical sensors are based on the transmission

of light between a light source and a light
detector, as shown in Figure 13.6. The
transmitted light can travel along either an air
path or a fiber-optic cable. Either form of
transmission gives immunity to
electromagnetically induced noise and also
provides greater safety than electrical sensors
when used in hazardous environments.
13.10. Ultrasonic Transducers
13.11. Nuclear Sensors
13.12. Mircrosensors
13.13. Summary
13.14. Problems
Thanks