82
Yunanto,
d!1!.
PENDAHULUAN
Pertemuan
Yunanto, dkk
83
Fe(4.S).
lapisan tipis
Prosiding Pertemuan dan Presentasilimiah Penelitian Oasar IImu Pengetahuan dan Teknologi Nuklir
P3TM-BATAN Yogyakarta. 8 Juli 2003
84
potensiostat
Prosiding
0.17
Yunanto, dkk
Pertemuan
1,,-11
0.15
is:
0.13
.. 0.11
]~
0.1
:J
OD7
CI.C5
om
0
SIll
7SO
1DI
tegangan
(Volt)
12SO
8JO
daD Presentasilimiah
Penelitlan Casal IImu Pengetahuan
P3TM-BATAN Yogyakarta, 8 Juli 2003
Yunanto, dkk
85
"'-11
0.17
0.119-".._1
0.'6
.5.
0.11
.5.
ore
"8
0.1t
~
0
.><
0075
~::J
~
>:
c.
009
::J
007
005
om
0JJ6S
007
0065
D.O6
30
.cs
60
7S
so
115
waktu (manit)
0."
1,,-
.~
11
0.14
0.12
0.1
1? ore
::J
006
004
D.O2
0
0.05
D.O6
007
tekanan
210
is:
.5.
111
so
ore
009
0.\
(Torr)
Prosiding Pertemuan dan Presentasi IImiah Penelitlan Dasar lImn Pengetahuan dan Teknologl Nuklir
P3TM-BATAN Yogyakarta, 8 Juli 2003
86
Yunanto, dkk
!!:!,."
0006
0.006
: 0.004
'ti3
0.002
1)
waktu pemanasan
15
20
Oam)
KESIMPULAN
Dari basil percobaan clan pengamatan yang
telah dilakukan dapat diambil beberapa kesimpulan
bahwa dengan menggunakan target Al bentuk
silinder , rnaka dapat dilakukan pelapisan Al pacta
substrat Fe dengan bentuk as yang cukup homogen.
Deposisi lapisan tipis Al pacta Fe untuk ketahanan
korosi bahan seeing digunakan pacta saluran
pendingin
peralatan
laboratorium,
knalpot
kendaraan bermotor, sudu turbin gas kecil.. Dalam
hal ini parameter yang renting pacta proses
pelapisan tersebut adalah waktu deposisi, tegangan
anoda clan tekanan gas. Dengan menggunakan
.sistem sputtering
bentuk
silinder
diperoleh
Prosiding Pertemuan dan Presentasilimiah Penelitian Dasar IImu Pengetahuan dan Teknologl Nuklir
P3TM-BATAN Yogyakarta, 8 Juli 2003
Yunanto, dkk
87
Yunanto
TANYAJAWAB
DR. Tri Mardji A.
~ Mengapa digunakan metode DC Sputtering,
tidak RF, apa keuntungannya.
~
Yunanto
Digunakan
DC
Sputtering karena
targetnya bahan konduktor, sedangkan
keuntungannya pembuatan eatu daya DC
lebih mudah daDmurah.
Ketebalan lapisan tipis Al pada.penelitian
ini tidak diukur ketebalan lapisan tipis
yang menghasilkan perlindungan yang
optimal pada parameter tegangari
elektroda 1000 volt waktu deposisi 30
menU,tekanan 10-1torr.
M. Husna Al Hasa
~
Bagaimana
pengaruh
sOOu
yang
mengakibatkan lapisan. semakin tebal daD
berakibat semakin rapuh/peeah.
Sigit H.
~ Bahan selain Al untuk ketahanan korosi ?
~
Yunanto
.
.
.
Prosiding Pertemuan dan Presentasillmiah Penelitlan Dasar IImu Pengetahuan dan Teknologl Nuklir
P3TM-BATAN Yogyakarta, 8 Juli 2003