http://
DAFTAR ISI
BAB I PENDAHULUAN
BAB I PENDAHULUAN
1.1 INTRODUCTION
1.2 APLIKASI MEMS
1.3 KLASIFIKASI DARI MEKANISME
AKTUATOR
1.4 FABRIKASI ELEMEN PENTING MEMS
BAB I
BAB I
1.1 INTRODUCTION
Pada saat ini perkembangan
nanoteknologi telah memperluas aplikasi
MEMS. Seperti pada bidang ; industri,
militer, kesehatan, komunikasi satelit,
telpon, sitem luar angkasa dan lain-lain.
BAB I
BAB I
BAB I
2.
BAB I
BAB I
Nanotubes
MEMS-Based Video Projection System
Photovoltaic Solar Cells
BAB I
BAB I
BAB I
BAB I
BAB I
BAB I
2.1 INTRODUCTION
2.2 KLASIFIKASI DARI MEKANISME
AKTUATOR
BAB II
BAB II
BAB II
BAB II
BAB II
Gambar. microrelays
DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA
BAB II
BAB II
BAB II
BAB II
BAB II
3.1
Pendahuluan
3.2 Electrostatic Rotary Microactuator
3.3 Vertical Comb Arrray Microactuator
BAB III
Pendahuluan
BAB III
BAB III
BAB III
BAB III
BAB III
BAB III
Gambar.
DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN
KULIAH
MEMSdari
JTM FT-UA
Design
VCAMs
BAB III
BAB III
BAB IV
4.1 Pendahuluan
BAB IV
Surface machining
Etching
Beam pattern
Photomask
Proses Packaging
Gambar. Proses Packaging, (a) thin film technology, (b) bonded chip
capsule
DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA
BAB IV
5.1 PENDAHULUAN
5.2 PRINSIP PENGEOPERASIAN DAN PARAMETER
PERFORMA DARI MEMS
5.3 KEMAMPUAN DAN ASPEK DISAIN DARI SHUNT
SWICTH RF-MEMS
5.4 KONIGURASI MEMS SHUNT SWICTH
5.5 RF-MEMS DENGAN VOLTASE AKTUASI RENDAH
5.6 PROSES FABRIKASI DAN OPERASIONAL SWITCH
5.7 MATERIAL PENGEMASAN DARI MEMS SWITCH
BAB V
5.1 PENDAHULUAN
Pada bab ini membahas tentang
perkembangan, aspek disain, dan
kemampuan dari RF-MEMS. Pada
penelitian sebelelumnya mengatakan
bahwa RF-MEMS yang menggunakan
konduktor switch kontak langsung lebih
menguntungkan daripada RF-MEMS yang
menggunakan switch semi-condutor
BAB 5 PENGEOPERASIAN RF-MEMS PADA MICROWAVE DAN
mm-WAVE
DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA
BAB 5 PENGEOPERASIAN RF-MEMS PADA MICROWAVE DAN mmWAVE KULIAH MEMS JTM FT-UA
DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN
BAB 5 PENGEOPERASIAN RF-MEMS PADA MICROWAVE DAN mmWAVE KULIAH MEMS JTM FT-UA
DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN
6.1 Introduction
6.2 Sifat dan parameter dari CPW
Transmisi Segaris
6.3 Distribusi MEMS Tranmisi segaris
fasa Berganti
6.1 INTRODUTION
ADA 2 JENIS PERGANTIAN FASA
Fasa yang menyerap
Fasa yang memantulkan
PERGANTIAN FASA MEMPENGARUHI
KERUSAKAN YANG TERJADI PADA
KOMPONEN
BAB 6 MICROWAVE
MEMS
BAB 6 MICROWAVE
MEMS
7.1 INTRODUCTION
7.2 POTENSI APLIKASI MICROPUMPS
7.3 ASPEK DISAIN DARI FIXED-VALVE
MICROPUMP
7.4 KEMAMPUAN DARI FERROFLUIDIC
MAGNETIG MICROPUMP
7.1 INTRODUCTION
Pada bab ini membahas tentang aplikasi
MEMS untuk micropumps dan microfluidics
Gambar. Fixed-valve MP
DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS
JTM FT-UA BAB VII APLIKASI DARI MICROPUMPS
DAN MICROFLUIDICS
8.1
8.2
8.3
8.4
8.5
INTRODUCTION
TUNABLE CAPACITORS
MICROMECHANICAL RESONATORS
TRANSCEIVERS
MEMS-BASED STRAIN SENSORS
8.1 INTRODUCTION
Gambar. Mikro-resonator
DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM
8.4 TRANSCEIVERS
9.1 INTRODUCTION
9.2 PHOTONIC CRYSTALS
9.3 NANOTEKNOLOGI BASED MATERIAL
DAN APLIKASI
BAB IX
9.1 Introduction
BAB IX
BAB IX
BAB IX
BAB IX
BAB IX
BAB IX
BAB IX
TERIMA KASIH