Anda di halaman 1dari 103

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

MEMS and Nanotechnology-Based Sensors


and Devices for Communications, Medical
and Aerospace Applications
MUHAMMAD GHUFRAN
1110913029

Free eBook Link:

http://

JURUSAN TEKNIK MESIN


FAKULTAS TEKNIK
UNIVERSITAS ANDALAS
PADANG
2014
DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

DAFTAR ISI

BAB I PENDAHULUAN

BAB II APLIKASI, MEKA2NISME, DAN PERFORMA AKTUATOR

BAB III TEKNOLOGI TERBARU DAN TERUNIK AKTUATOR

BAB IV PENGEMASAN, PROSES, DAN MATERIAL UNTUK


MEMS

BAB V PENGEOPERASIAN RF-MEMS PADA MICROWAVE DAN


mm-WAVE

BAB VI MICROWAVE MEMS

BAB VII APLIKASI DARI MICROPUMPS DAN MICROFLUIDICS

BAB VIII APLIKASI DI BIDANG KOMERSIAL

BAB IX MATERIAL UNTUK MEMS DAN NANOTEKNOLOGI


BERDASARKAN DARI SENSOR DAN DEVICES

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB I PENDAHULUAN

1.1 INTRODUCTION
1.2 APLIKASI MEMS
1.3 KLASIFIKASI DARI MEKANISME
AKTUATOR
1.4 FABRIKASI ELEMEN PENTING MEMS

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB I

BAB I
1.1 INTRODUCTION
Pada saat ini perkembangan
nanoteknologi telah memperluas aplikasi
MEMS. Seperti pada bidang ; industri,
militer, kesehatan, komunikasi satelit,
telpon, sitem luar angkasa dan lain-lain.

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB I

1.2 APLIKASI MEMS

gambar. Paradigm konektivitas kumunikasi


tanpa kabel , satelit, pemancar, pengguna dll.
DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB I

Apa itu MEMS?


Sebuah sistem yang berukuran
mikrometer dengan bentuk 3 dimensi
yang dapat dinamakan sensor, pompa,
dan katup yang saling mampu merasakan
dan memanipulasi parameter-parameter
fisika yang terjadi

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB I

Aplikasi yang potensial dari perlatan MEMS


yang sering dipakai dalam sistem luar angkasa
1.

2.

MEMS untuk tanpa kabel, pemancar,


satelit dan nanosatelit
Teknologi RF MEMS untuk keperluan
pemancar

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB I

Aplikasi Teknologi MEMS untuk


Sistem Militer

Kebutuhan material dalam proses


pabrikasi peralatan MEMS
Tipe-tipe nanostruktur dan propertinya
Pabrikasi untuk elemen-elemen kritis
dari MEMS
Teknologi MEMS untuk sirkuit elektronik
dan detektor untuk aplikasi militer
Nanoteknologi untuk persenjataan

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB I

Aplikasi MEMS untuk komersil,


Industri, Ilmiah,
and Sistem Biomedical

Nanotubes
MEMS-Based Video Projection System
Photovoltaic Solar Cells

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB I

Aplikasi MEMS untuk Hard-disk Drive


Didalam
media
penyimpanan
pada
komputer terdapat komponen MEMS yang
saling terintegrasi dan terhubung menjadi
media penyimpanan didalam komputer

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB I

Teknologi MEMS untuk satelit komunikasi


and aplikasi luar angkasa

Dalam bidang komunikasi dan sistem luar


angkasa
teknologi
MEMS
sangat
membantu
dalam
perkembangannya.
Dikarenakan ukuran yang sangat kecil,
konsumsi tenaga yang besar, dan sangat
tahan uji itulah yang menyebabkan MEMS
sangat dibutuhkan dalam aplikasi ini.

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB I

Sirkuit 3d dari peralatan MEMS untuk


berbagai aplikasi

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB I

1.4 FABRIKASI ELEMEN PENTING MEMS

Pada bab ini membahas proses


sederhana fabrikasi dari pembuatan
elemen penting dari mems. Ada
beberapa tahapan seperti :
Fabrikasi IC
Fabrikasi Wafer
Surface preparation
Photomask
photoresist

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB I

Gambar. Proses fabrikasi Mems.

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB I

BAB II APLIKASI, MEKANISME, DAN


PERFORMA AKTUATOR

2.1 INTRODUCTION
2.2 KLASIFIKASI DARI MEKANISME
AKTUATOR

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB II APLIKASI, MEKANISME, DAN


PERFORMA AKTUATOR
2.1 Pendahuluan
Dalam mekanisme aktuator dijelaskan
bagaimana gaya-gaya mekanis terjadi
misalnya pada batang cantilever, gaya
pembebanan, respon waktu, desain yang
kompleks, dan aliran arus yang terjadi.

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB II

2.2 Klasifikasi dari Mekanisme Aktuator

Electrostatic (ES) actuation


Piezoelectric actuation
Electrothermal actuation
Electromagnetic actuation
Electrodynamic actuation
Electrochemical actuation

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB II

Gambar. Electrostatic (ES) actuation mechanism


Contoh dari aktuator ini adalah relay
DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB II

Gaya pada batang cantilever

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB II

Piezoelectric Actuation Mechanism

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB II

Electrothermal Actuation Mechanism

Gambar. microrelays
DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB II

Electromagnetic Actuation Mechanism


Pada mekanisme aktuator electromagnetik
memakai sistem magnetik yang dialiri oleh
arus listrik.
Cara perhitungan Magnetic force (F)

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB II

Electrodynamic Actuation Mechanism


Pada Electrodynamic Actuation Mechanism
prinsip yang dipakai disini adalah prinsip
gaya Lorentz

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB II

Ilustrasi dari sistem Electrodynamic


Actuation Mechanism

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB II

Electrochemical Actuation Mechanism


Menurut penelitian dari University of
Cincinnati dan University of North Carolina
pada
Electrochemical
Actuation
Mechanism yang paling banyak digunakan
adalah carbon nanotube (CNT) atau
disebut juga material cerdas.

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB II

BAB III TEKNOLOGI TERBARU DAN


TERUNIK AKTUATOR

3.1

Pendahuluan
3.2 Electrostatic Rotary Microactuator
3.3 Vertical Comb Arrray Microactuator

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB III

Pendahuluan

Pada bab ini membahas tentang teknologi terbaru


aktuator dan terunik serta kemampuan kerja dari
aktuator tersebut.

Gambar. Piggyback microactuator pada HDD

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB III

3.2 Electrostatic Rotary Microactuator

Electrostatic Rotary Microactuator


(ESRM) adalah salah satu kandidat kuat
mikroaktuator untuk dual-stage
servomechanism, karena lebih simpel
dan lebih murah. Untuk lebih lengkapnya
bisa kita lihat pada gambar di bawah ini

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB III

Gambar. Komponen pinting pada dual-stage sevomechanism


DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB III

Gambar. Komponen Rotary Microactuator

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB III

Perhitungan Gaya (F) pada Aktuator


konfigurasi konvensional

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB III

Perhitung Gaya (F) pada Aktuator


Konfigurasi Tilted

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB III

3.3 Vertical Comb Array Actuator

VCAMs cocok untuk aplikasi dimana handal


pada kebutuhan dasarnya aktuator vertikal.

Gambar.
DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN
KULIAH
MEMSdari
JTM FT-UA
Design
VCAMs

BAB III

Gambar. Design comb finger

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB III

BAB IV Pengemasan, Proses, dan Material


MEMS
4.1Pendahuluan
4.2 Kebutuhan Material Pengemasan
dan Proses Pengemasan
4.3Lingkungan terhadap Performa
MEMS

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB IV

4.1 Pendahuluan

pada bab ini menjelaskan tentang


pengemasan dan proses penting untuk
design dan perkembangan MEMS.

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB IV

4.2 Pengemasan dan Material Fabrikasi


Berbagai material dibutuhkan pada
fabrikasi MEMS seperti:
cantilever beam
wafer
cavity
electroplating film
etc.
DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

Selain fabrikasi material, MEMS juga


mempunyai berbagai proses seperti:

Surface machining
Etching
Beam pattern
Photomask

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

Proses Packaging

Gambar. Proses Packaging, (a) thin film technology, (b) bonded chip
capsule
DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

4.3 Dampak Lingkungan pada Performa


MEMS

Kebanyakan sifat dari besi, alloy,


substrate, dan semiconductor adalah
material tergantung pada temperatur dan
tekanan tertentu.

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

Dampak dari Variasi temperatur pada


koefisien perpindahan panas

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

Sifat termal baja yang cocok untuk


MEMS pada aplikasi Aerospace dan
satelit

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB IV

BAB V PENGEOPERASIAN RF-MEMS PADA


MICROWAVE DAN mm-WAVE

5.1 PENDAHULUAN
5.2 PRINSIP PENGEOPERASIAN DAN PARAMETER
PERFORMA DARI MEMS
5.3 KEMAMPUAN DAN ASPEK DISAIN DARI SHUNT
SWICTH RF-MEMS
5.4 KONIGURASI MEMS SHUNT SWICTH
5.5 RF-MEMS DENGAN VOLTASE AKTUASI RENDAH
5.6 PROSES FABRIKASI DAN OPERASIONAL SWITCH
5.7 MATERIAL PENGEMASAN DARI MEMS SWITCH

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB V

5.1 PENDAHULUAN
Pada bab ini membahas tentang
perkembangan, aspek disain, dan
kemampuan dari RF-MEMS. Pada
penelitian sebelelumnya mengatakan
bahwa RF-MEMS yang menggunakan
konduktor switch kontak langsung lebih
menguntungkan daripada RF-MEMS yang
menggunakan switch semi-condutor
BAB 5 PENGEOPERASIAN RF-MEMS PADA MICROWAVE DAN
mm-WAVE
DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

5.2 PRINSIP PENGEOPERASIAN DAN PARAMETER PERFORMA DARI MEMS

Ada beberapa elemen penting dari RFMEMS seperti :


Cantilever beam
Contact pads
Substrate material
Passivation layer
Mekanisme Aktuator
Elemen di atas memiliki material dan
geometrik khusus untuk MEMS.

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB 5 PENGEOPERASIAN RF-MEMS PADA MICROWAVE DAN


mm-WAVE

Gambar. Cantilever Beam


DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

Tabel. Perbedaan performa dari variasi RF


switches

BAB 5 PENGEOPERASIAN RF-MEMS PADA MICROWAVE DAN


mm-WAVE
DIGUNAKAN
DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

5.3 KEMAMPUAN DAN ASPEK DISAIN DARI SHUNT SWICTH RF-MEMS

Sebuah MEMS dengan shunt switch


dapat difabrikasi dengan menggunakan
CPW atau microstrip transmission-line
configuration.

BAB 5 PENGEOPERASIAN RF-MEMS PADA MICROWAVE DAN mmWAVE


DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

Gambar. (a)RF-MEMS menggunakan shunt switch (b)


rangkaian dari cirkuit
BAB 5 PENGEOPERASIAN RF-MEMS PADA MICROWAVE DAN mm-WAVE
DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

Menghitung Vpull pada shunt switch


untuk mengetahui besar elektrostatiknya

BAB 5 PENGEOPERASIAN RF-MEMS PADA MICROWAVE DAN mmWAVE KULIAH MEMS JTM FT-UA
DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN

Gambar. Proses fabrikasi dan material yang


dibutuhkan dalam disain RF-MEMS
BAB 5 PENGEOPERASIAN RF-MEMS PADA MICROWAVE DAN mm-WAVE

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

5.4 KONFIGURASI MEMS SHUNT SWICTH

Beberapa aplikasi MEMS memerlukan


isolasi tinggi untuk mencapai sinyal yang
kuat dan gangguan elektronik yang kecil.

BAB 5 PENGEOPERASIAN RF-MEMS PADA MICROWAVE DAN mm-WAVE


DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

Gambar. Ekivalen cirkuit untuk menunjukkan


parameter elektrikal

BAB 5 PENGEOPERASIAN RF-MEMS PADA MICROWAVE DAN mmWAVE

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

5.5 RF-MEMS DENGAN VOLTASE AKTUASI RENDAH

Pada sub bab ini membahas tentang


potensi dari mikro mekanikal membran
untuk MEMS switch.
Membran kapasitif pada RF-MEMS sitch
pada umumnya mengalami beberapa
masalah seperti : switching-nya lambat,
adanya gaya tiba-tiba, dan microwelding.

BAB 5 PENGEOPERASIAN RF-MEMS PADA MICROWAVE DAN mm-WAVE


DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

Gambar. Membran Kapasitif metalik shunt switch.


BAB 5 PENGEOPERASIAN RF-MEMS PADA MICROWAVE DAN mmDIGUNAKANWAVE
DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

5.6 JENIS RF-MEMS SWITCHES

Untuk MEMS sebelumnya menggunakan


switch dengan mekanisme ES aktuasi
dan kontak metal. Sekarang telah telah
ditemukan mekanisme yang cocok untuk
aplikasi RF-MEMS yaitu mekanisme bukatutup pada kontak metalnya.

BAB 5 PENGEOPERASIAN RF-MEMS PADA MICROWAVE DAN mm-WAVE


DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

Tabel . Kriteria Peforma tergantung dari


kemampuat dari switch

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB 5 PENGEOPERASIAN RF-MEMS PADA MICROWAVE DAN mm-WAVE

Gambar. Disain RF-MEMS switch

BAB 5 PENGEOPERASIAN RF-MEMS PADA MICROWAVE DAN mm-WAV

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

5.7 MATERIAL PENGEMASAN DARI MEMS SWITCH

Pada bab ini mengenai bahan material


apa yang cocok untuk RF-MEMS switch
seperti :
Besi
Alloy
Material Subtrat

BAB 5 PENGEOPERASIAN RF-MEMS PADA MICROWAVE DAN mm-W


DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

Tabel. Sifat dari CE-Alloys

BAB 5 PENGEOPERASIAN RF-MEMS PADA MICROWAVE DAN mmWAVE KULIAH MEMS JTM FT-UA
DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN

BAB VI MICROWAVE MEMS

6.1 Introduction
6.2 Sifat dan parameter dari CPW
Transmisi Segaris
6.3 Distribusi MEMS Tranmisi segaris
fasa Berganti

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB 6 MICROWAVE MEMS

6.1 INTRODUTION
ADA 2 JENIS PERGANTIAN FASA
Fasa yang menyerap
Fasa yang memantulkan
PERGANTIAN FASA MEMPENGARUHI
KERUSAKAN YANG TERJADI PADA
KOMPONEN

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB 6 MICROWAVE MEMS

6.2 SIFAT DAN PARAMETER DARI CPW


TRANMISI SEGARIS

Gambar. Struktur CPW tranmisi segaris

UNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB 6 MICROWAVE MEMS

Grafik. Karakteristik dari CPW line

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB 6 MICROWAVE MEMS

Pada gambar diatas menunjukkan lebar


konduktor (W), ketebalan (t), spacing di
tengah konduktor (G), ketinggian
substrat (h), CPW transmission lines
saat (t=0) (k = W/ [W + 2G]

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB 6 MICROWAVE MEMS

Perhitungan dari CWP line Parameter

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FTUA

BAB 6 MICROWAVE MEMS

6.3 Distribusi MEMS Tranmisi segaris fasa Berganti

DTML atau Distributed MEMS


transmission-line adalah circuits dan
komponen yang sering dipakai dalam
disain dan pengembangan dari filter,
traveling-wave amplifier, nonlinier
tranmission-line segments, dan fasa
berganti.

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM


FT-UA

BAB 6 MICROWAVE
MEMS

Gambar. Kontruksi DTML

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS


JTM FT-UA

BAB 6 MICROWAVE MEMS

Gambar. Model untuk DMTL

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM


FT-UA

BAB 6 MICROWAVE
MEMS

BAB VII APLIKASI DARI MICROPUMPS DAN


MICROFLUIDICS

7.1 INTRODUCTION
7.2 POTENSI APLIKASI MICROPUMPS
7.3 ASPEK DISAIN DARI FIXED-VALVE
MICROPUMP
7.4 KEMAMPUAN DARI FERROFLUIDIC
MAGNETIG MICROPUMP

UNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-

BAB VII APLIKASI DARI MICROPUMPS

7.1 INTRODUCTION
Pada bab ini membahas tentang aplikasi
MEMS untuk micropumps dan microfluidics

Gambar. Fixed-valve MP
DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS
JTM FT-UA BAB VII APLIKASI DARI MICROPUMPS
DAN MICROFLUIDICS

7.2 PONTENSI APLIKASI DARI


MICROPUMPS

Di bawah ini beberapa aplikasi MEMS


pada Micropumps :

Valveless diffuse/nozzle-based fluid


pump
Permodelan dan simulasi dari MP
Disain, fabrikasi dan pengetesan dari
fixed-valve pump

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM


BAB VII APLIKASI DARI MICROPUMPS
FT-UA
DAN MICROFLUIDICS

7.3 ASPEK DISAIN DARI FIXED-VALVE MICROPUMP

Fixed-valve MP pada umumnya


digunakan pada aplikasi-aplikasi pompa.
Dimana MP ini lebih murah dan
realabilitynya tinggi. Selain itu MP jenis
ini lebih fleksibel dan memiliki
clearances yang lebih bagus
dibandingkan jenis yang lain.

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTMBAB VII APLIKASI DARI MICROPUMPS


FT-UA
DAN MICROFLUIDICS

Untuk meningkatkan performa pompa itu


sendiri dibutuhkan derajat kebebasan yang
besar.

Gambar. Fixed-Valve MP, Diagram shcematik


DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS

BAB VII APLIKASI DARI MICROPUMPS

Gambar. Jenis-jenis geometrik dari tesla valve


DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM
FT-UA

BAB VII APLIKASI DARI MICROPUMPS


DAN MICROFLUIDICS

Tabel. Tesla-type valve dan parameter


geometrinya

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS


JTM FT-UA

BAB VIII APLIKASI DARI MICROPUMPS


DAN MICROFLUIDICS

7.4 KEMAMPUAN DARI FERROFLUIDIC MAGNETIG MICROPUMP

Pada sub-bab ini fokus pada aspek disain


dan kemampuan dari ferrofluidic
magnetic (FM) MP.

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS


JTM FT-UA

BAB VIII APLIKASI DARI MICROPUMPS


DAN MICROFLUIDICS

Gambar. Posisi magnet dari FM MP


DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM

BAB VII APLIKASI DARI MICROPUMPS


DAN MICROFLUIDICS

BAB VIII APLIKASI DI BIDANG KOMERSIAL

8.1
8.2
8.3
8.4
8.5

INTRODUCTION
TUNABLE CAPACITORS
MICROMECHANICAL RESONATORS
TRANSCEIVERS
MEMS-BASED STRAIN SENSORS

UNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-

BAB VIII APLIKASI DI BIDANG

8.1 INTRODUCTION

Pada bab ini membahas MEMS, NT-based, dan


sensors untuk aplikasi kesehatan, aerospace,
satelit, dan militer.

Gambar. Skema penggunaan telfon genggam


DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS

BAB VIII APLIKASI DI BIDANG

8.2 TUNABLE CAPACITORS

Tunable capacitos adalah kemampuan


untuk menghasilkan wide-band dalam
frekuensi radio dan frekuensi mikro.

Gambar. Komponen tunable capasitor

GUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-

BAB VIII APLIKASI DI BIDANG

Gambar. MEMS bridge


DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS

BAB VIII APLIKASI DI BIDANG

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS

BAB VIII APLIKASI DI BIDANG

Tabel. Hasil perhitungan dari kapasitor Zero-bias


Bridge

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM

BAB VIII APLIKASI DI BIDANG

8.3 MICROMECHANICAL RESONATORS

Resonator digunakan untuk frekuensi pilihan


dalam telekumunikasi dan sistem komunikasi.

Gambar. MEMS varactor


DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM

BAB VIII APLIKASI DI BIDANG

Gambar. Perbandingan ukuran teknologi SAW dan


High-Q MM resonator

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS

BAB VIII APLIKASI DI BIDANG

Gambar. Circuit untuk 3-port MM resonator


DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM

BAB VIII APLIKASI DI BIDANG

Gambar. Mikro-resonator
DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM

BAB VIII APLIKASI DI BIDANG

8.4 TRANSCEIVERS

Transciever adalah komponen penting dalam


sistem komunikasi. Pada zaman sekarang
dengan adanya nanoteknologi adalah
keuntungan pada perkembangan teknologi
transcievers. MEMS membuat dapak yang
sangat besar pada level sistem teknologi
transciver, dengan MEMS peneliti dapat
membuat transciever yang murah,
berkemapuan tinggi, ukuran yang sangat
kecil, dan komsumsi tenaga yang kecil.

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM

BAB VIII APLIKASI DI BIDANG

8.5 MEMS-BASED STRAIN SENSORS

MEMS-based strain sensor bisa digunakan


untuk mengecek keamanan dari struktur
jembatan, mesin jet, turbin gas, terowongan
bawah tanah, bangunan comersial. biasanya
sensor di gabung dengan struktur utama.

Gambar. MEMS strain sensor


DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM

BAB VIII APLIKASI DI BIDANG

Gambar. Tampak atas, lokasi dari MEMS strain sensor


DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS

BAB VIII APLIKASI DI BIDANG

BAB IX MATERIAL UNTUK MEMS DAN


NANOTEKNOLOGI TERGANTUNG DARI
SENSOR DAN DEVICES

9.1 INTRODUCTION
9.2 PHOTONIC CRYSTALS
9.3 NANOTEKNOLOGI BASED MATERIAL
DAN APLIKASI

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-

BAB IX

9.1 Introduction

Pada bab ini membahas tentang potensi


(kemampuan khusus) dan sifat material yang
cocok dalam disain MEMS dan Nanoteknologi.

Gambar. Material lithium untuk microbatteries

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM


FT-UA

BAB IX

9.2 PHOTONIC CYSTAL

Sebuah photonic cystal dibuat dengan


variasi periodik dalam indeks relatif (n)
material. Photonic cystals contoh fiber
(PFC), adalah material hybrib yang
dihasilkan dari subsrat silika. Material ini
memiliki indeks relatif rendah dan
meningkatkan performa dispersinya.

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

Gambar. Penggunaan Fiber


DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB IX

Photonic bandgap Fiber adalah material


mems yang memliki intregritas mekanik
yang tinggi, dan kemampuan dalam
lingkungan thermal, dispersi yang
rendah, meningkatkat kestabilan optikal,

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB IX

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB IX

Gambar. Photonic crystal VCSEL

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB IX

9.3 NANOTEKNOLOGI BASED MATERIAL


DAN APLIKASI
Pada bab ini membahas aplikasi-aplikasi
Mems, berdasarkan marerialnya.
Nanocrystal
Photonic Nanocrystal
Dan lain-lain

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB IX

Pada bab ini kita dapat mengetahui


aspek disain dan kemampuan sebuah
MEMS.

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

BAB IX

TERIMA KASIH

DIGUNAKAN DI LINGKUNGAN KULIAH MEMS JTM FT-UA

Anda mungkin juga menyukai