Home Work 5 Analisa Kerusakan (Failure Analysis)

Program Pascasarjana Teknik Metalurgi dan Material

Dedi Hermawan
(2012/1206311193)

1. Jelaskan beberapa Tools untuk analisa kerusakan!

Dalam melakukan analisis untuk keperluan Failure Analisis, biasanya digunakan
beberapa tools sebagai berikut :
1. SEM dan EDS
SEM (Scanning Electron Microscopy) merupakan suatu alat untuk melihat
struktur prmukaan material dengan resolusi yang tinggi (tingkat pembesaran
10-3000000 kali). Pada dasarnya SEM merupakan suatu jenis mikroskop yang
menggunakan elektron untuk menumbuk suatu spesimen dan menghasilkan
image yang diperbesar.
EDS merupakan suatu bagian dari SEM (dengan tambahan x-ray analyzer)
yang dapat digunakan untuk mengetahui komposisi kimia permukaan
spesimen dengan ukuran luas mikron.
Dengan menggunakan SEM dan EDS maka selain dapat diperoleh image
dengan pembeasran yang sangat tinggi juga dapat diketahui komposisi kimia
pada suatu lokasi tertentu.
2. Mikroskop Optik
Mikroskop optik pada dasarnya merupakan suatu mikroskop yang digunakan
untuk melihat struktur permukaan material dengan sumber pencahayaan
yang berasal cahaya. Tingkat pembesaran image pada miroskop optik lebih
kecil bila dibandingkan dengan tingkat pembesaran pada SEM yaitu 4-1000
kali.
3. XRD dan XRF
XRD merupakan suatu metode analisa non destruktive yang didasarkan pada
pengukuran radiasi sinar-X yang terdifraksi oleh bidang kristal keika terjadi
interaksi antara suatu materi dengan radiasi elektromagnetik sinar-X.

Dengan XRD dapat ditentukan struktur kristal spesimen dan juga analisis
kimia dari spesimen tersebut.
XRF juga merupakan suatu tools analisis yang mirip dengan XRD dimana
analsiis unsur-unsur pada spesimen dapat diketahui dari hasil interaksi antara
radiasi gelombang sinar-X dengan materi dimana suatu unsur akan
memamcarkan sinar-x karakteristik yang khusus yang berbeda diantara satu
unsur dengan unsur lainnya.

2. Jelaskan fungsi dan prinsip kerja Tools diatas!

1. SEM dan EDS
Selain fungsi utamanya untuk melihat struktur permukaan spesimen dengan
pembesaran dan resolusi yang tinggi, SEM juga dapat digunakan :
-

untuk melihat orientasi kristalografi material

untuk melihat batas butir material

untuk melihat perbedaan fasa material

untuk pengujian patah permukaan

untuk mengevaluasi komposisi kimia permukaan

untuk pengujian semi konduktor dalam failure analysis, function control

dan design verification.

Secara umum, gambar pada SEM dibuat berdasarkan deteksi elektron baru
(elektron sekunder) atau elektron pantul yang muncul dari permukaan sampel
ketika permukaan sampel tersebut discan dengan sinar elektron. Elektron
sekunder atau elektron pantul yang terdeteksi selanjutnya diperkuat sinyalnya,
kemudian besar amplitudonya ditampilkan dalam gradasi gelap-terang pada
layar monitor CRT (cathode ray tube). Di layar CRT inilah gambar struktur obyek
yang sudah diperbesar bisa dilihat.
Prinsip kerja SEM adalah menembakkan permukaan benda dengan berkas
elektron bernergi tinggi. Permukaan benda yang dikenai berkas akan
memantulkan kembali berkas tersebut atau menghasilkan elektron sekunder ke
segala arah. Tetapi ada satu arah di mana berkas dipantulkan dengan intensitas
tertinggi. Detektor di dalam SEM mendeteksi elektron yang dipantulkan dan
menentukan lokasi berkas yang dipantulkan dengan intensitas tertinggi. Arah

tersebut memberi informasi profil permukaan benda seperti seberapa landai

dan ke mana arah kemiringan.
Pada saat dilakukan pengamatan, lokasi permukaan benda yang ditembak
dengan berkas elektron di-scan ke seluruh area daerah pengamatan. Lokasi
pengamatan dapat dibatasi dengan melakukan zoon-in atau zoom-out.
Berdasarkan arah pantulan berkas pada berbagai titik pengamatan maka profil
permukan benda dapat dibangun menggunakan program pengolahan gambar
dalam komputer. Secara umum skema alat SEM dapat dilihat pada gambar
berikut.

2. Mikroskop Optik
Seperti juga SEM, fungsi utama mikroskop optik adalah untuk menghasilkan
gambar permukaan mikrostruktur dari suatu spesimen dengan tingkat
pembesaran yang lebih kecil dari SEM. Selain itu, mikroskop optik dapat
digunakan untuk mengetahui :
-

jenis fasa/struktur mikro dengan identifikasi struktur mikro

komposisi struktur mikro material

besar butir material

Secara umum, prinsip utama dari mikroskop optik adalah dengan menggunakan
cahaya sebagai sumber untuk mengidentifikasi spesimen. Spesiman yang disinari
oleh cahaya akan dipantulkan melalui lensa-lensa sehingga mengalami

pembesaran dan digunakan untuk mengidentidikasi mikrostruktur material.

Secara umum, skema mikroskop optik dapat dilihat pada gambar berikut.

3. XRD dan XRF

Dalam analisis kerusakan, XRD memiliki fungsi utama :
-

untuk menentukan struktur kristal :

a. bentuk dan ukuran sel satuan kristal (d, sudut dan panjang ikatan)
b. pengindeksan bidang kristal
c. jumalh atom per-sel satuan

Untuk analisis kimia

a. Identifikasi/penentuan jenis kristal
b. Penentuan kemurnian relatif dan derajat kristalinitas sampel
c. Deteksi senbyawa baru
d. Deteksi kerusakan oleh suatu perlakuan

Sedangkan XRF memiliki fungsi utama dapat menganalisis kandungan unsurunsur yang ada pada suatu spesimen. Prinsip dasar cara kerja antara XRF dan
XRD cukup mirip dimana menggunakan hasil interaksi radiasi sinar-X dengan
spesimen.
Apabila radiasi sinar-X menumbuk suatu materi maka akan terjadi suatu reaksi
diantaranya diserap, ditransmisikan ataupun dipantulkan. Pada XRD, sinar-X
yang dipantulkan oleh kisi kristal akan memiliki suatu sudut tertentu yang dapat

digunakan untuk mengidentifikasi arah kristal dan komposisi dari spesimen

tersebut. Hal ini dapat dilihat pada gambar berikut.

Sedangkan pada XRF, interaksi sinar-X dengan spesimen akan dapat

mengionisasi elektron atau menurunkun elektron ke tingkat kulit yang lebih
dalam dan menghasilkan sinar-X karakteristik yang sangat spesifik untuk tiap
jenis unsur. Dengan mengidentidikasi sinar-X karakteristik tersebut maka dengan
XRF dapat ditentukan komposisi unsur yang ada pada spesimen tersebut.

3. Gambarkan skematis perbedaan prinsip kerja antara OM dan SEM

Secara skematis, perbedaan prinsip kerja antara OM dan SEM dapat dilihat pada
gambar berikut.

Dari gambar diatas dapat dilihat bahwa mikroskop optik memiliki skema peralatan
dan cara kerja yang berbeda dengan SEM. Prinsip kerja seara umum untuk
mikroskop optk dan SEM telah dijelaskan pada pertanyaan sebelumnya. Secara
umum perbedaan antara mikroskop optik dan SEM adalah sebagai berikut.

Sebagai contoh, perbandingan gambar yang dihasilkan antara mikroskop optik dan
SEM adalah sebagai berikut.

4. Jelaskan hasil apa saja yang akan diperoleh dari analisa kerusakan material dengan
menggunakan ketiga tools diatas.
1. SEM
Penggunaan SEM dalam analisa kerusakan material sangatlah luas, diantaranya
adalah sebagai berikut :
-

Memberikan gambar yang memiliki tingkat pembesaran dan resolusi

yang lebih tinggi dari mikroskop optik. Hal ini menjadikan SEM sebuah
tools yang penting untuk melihat mikrostruktur material dalam analisa
kerusakan.

Dapat membedakan jenis patahan dari permukaan material misalnya

apakah material mengalami patah ductile, patah getas, patah akibat fatiq
dan sebagainya.

Dengan BSE dapat digunakan untuk melihat composition contrast

Dapat digunakan untuk memperkirakan awal mula retakan pada suatu

material

Dengan EDS dapat digunakan untuk mengetahui komposisi kimia pada

suatu spot tertentu

2. Mikroskop Optik
Dengan menggunakan mikroskop optik dalam analisa kerusakan, dapat
diperoleh informasi sebagai berikut :
-

Dengan menggunakan mikroskop optik secara makro, dapat digunakan

untuk melihat perbedaan jenis patahan.

Untuk melihat struktur mikro dari spesimen

3. XRD dan XRF

Dengan menggunakan XRD, akan dapat diketahui arah kristal material dan juga
komposisi dari spesiemn tersebut.
-

Material single kristal akan memberikan sudut difraksi yang tunggal jika
dibandingkan dengan material multi kristal

Dengan menggunakan XRF, maka akan dapat diperoleh informasi terkait dengan
kompsosisi unsur yang ada pada suatu spesimen.

5. Jelaskan perbedaan antara Secondary Electron (SE) dan Quick Back Scatter Electron
(QBSE) padahasil pengamatan permukaan material logam.
Jenis elekteon yang ditangkap oleh detektor memiliki fungsi yang berbeda antara
yang satiu dan lainnya. Hal ini menyebabkan diperlukan jenis detektor yangberbeda
diantara jenis elektron yang dipantulkan. Untuk secondary electron dan Quick Back
Scatter Electron, perbedaannya adalah sebagai berikut.
-

Secondary electron akan ditangkap oleh Secondary electron detector dan

akan memberikan image yang menggambarkan gelap terang material
berfdasakan tinggi rendahnya permukaan material tersebut atau yang biasa
disebut dengan topografi permukaan material.

Quick Back Scatter Electron akan ditangkap oleh Electron Back Scatter
Detector dan akan memberikan image yang menggambarkan gelap terang
material berfdasakan dari nomor ataom dan topografi. Jadi dengan
menggunakan BSE, maka SEM dapat digunakan untuk membedakan fasa
pada permukaan material;.