Makalah Semikonduktor

Elektron Beam

KELOMPOK

Lucya valentika sinurat (2)

Hanifah hutami (18)

JURUSAN FISIKA

FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM

UNIVERSITAS NEGERI PADANG

2018
 KATA PENGANTAR

Puji syukur penulis panjatkan kepada Allah Yang Maha Esa yang
telah memberikan rahmat serta karunianya sehingga penulis dapat
menyelesaikan makalah ELEKTRON BEAM Sebagai tugas mata kuliah
Semikonduktor. Terimakasih penulis ucapkan kepada Ibuk/bapak Dosen
pengampu mata Semikonduktor. Atas bimbingan dan kesempatan yang telah
diberikan beliau, maka penulis dapat menyelesaikan tugas makalah ini dengan
baik. Semoga makalah ini dapat memberikan manfaat bagi pembaca pada
umumnya, dan bagi penulis sendiri. Penulis menyadari bahwa dalam menyusun
makalah ini tidak luput dari kekurangan dan kesalahan. Maka penulis memohon
maaf dan penulis mengharapkan adanya kritik dan saran yang membangun agar
dikemudian hari penulis dapat menyusun makalah dengan lebih baik lagi.

. Padang, 23 Mei 2018

Penulis
 BAB I
PENDAHULUAN

1.1 Latar Belakang

Mesin pemercepat elektron atau sering disebut EBM (Electron Beam
Machine) adalah satu jenis teknologi yang telah dikembangkan dalam dua dekade
yang lalu sebagai sumber radiasi pada proses iradiasi suatu produk industri.
Pemanfaatan EBM dalam bidang industri telah berkembang pesat di negara –
negara maju, terutama dalam proses pengeringan pelapisan (curing of coatings)
permukaan suatu bahan, proses pembentukan ikatansilang pada plastik, karet,
sterilisasi perlatan medis, pengawetan bahan makanan, modifikasi tekstil dan graft
polymerization.(Suprapto, 2006)
Mesin pemercepat elektron memiliki banyak fungsi dalam teknologi modern,
termasuk dunia industri yang notabenenya bersinggungan langsung dengan
teknologi modern. Mesin pemercepat elektron dapat berfungsi dalam proses
penggilingan, pengeboran serta perforasi dalam dunia industri.
1.2 Tujuan Makalah
 Menjelaskan tentang mesin pemercepat elektron
 Menjelaskan tentang prinsip dasar mesin pemercepat elektron
 Aplikasi mesin pemercepat elektron pada dunia industri

1.3 Hasil yang Dituju

Makalah ini ditulis bertujuan agar mahasiswa dapat menjelaskan tentang
mesin pemercepat elektron, dalam hal ini tedapat point – ponit terkait mesin
pemercepat elaktron yakni prinsip dasar dan aplikasi mesin pemercepat elektron
dalam dunia industri.
 BAB II
KAJIAN PUSTAKA

2.1 Dasar teori

Teknik EBM digunakan untuk memotong lubang halus dan slot dalam
materi apapun. Dalam ruang vakum, sinar elektron kecepatan tinggi difokuskan
pada benda kerja. Energi kinetik dari elektron, setelah mencolok benda kerja,
perubahan panas, yang menguap jumlah menit materi. Vakum mencegah elektron
dari hamburan, akibat tabrakan dengan molekul gas. EBM digunakan untuk
memotong lubang sekecil 0,001 inci (0,025 milimeter) dengan diameter atau slot
sempit seperti 0,001 inci bahan hingga 0.250 inci (6,25 mm) dengan ketebalan.
EBM juga digunakan sebagai alternatif untuk optik cahaya metode manufaktur di
industri semikonduktor. Karena elektron memiliki panjang gelombang lebih
pendek daripada cahaya dan dapat dengan mudah terfokus, metode elektron-beam
sangat berguna untuk litografi-resolusi tinggi dan untuk pembuatan sirkuit terpadu
yang kompleks. Pengelasan juga dapat dilakukan dengan berkas elektron,
terutama dalam pembuatan komponen mesin pesawat terbang (Willard, 2012)

Gambar 2.1 Mekanisme penghilangan material pada mesin pemercepat elektron

 Mesin pemercepat elektron wajib dilakukan dalam ruang hampa. Jika tidak
elektron akan berinteraksi dengan molekul udara, sehingga elektron
akankehilangan energi dan kemampuan pemotongan. Jadi benda kerja yang akan
dikenai mesinterletak di bawah sinar elektron dan tetap berada dalam keadaan
vakum. Energi tinggiterfokus kedalam berkas elektron dibuat untuk menimpa
pada benda kerja dengan ukuran tempat10 - 100 µm. Energi kinetik dari elektron
kecepatan tinggi diubahmenjadi energi panas sebagai elektron menyerang bahan
kerja. Karena daya masa jenis tinggiinstan mencair dan penguapan dimulai
"meleleh – penguapan" depansecara bertahap berkembang. Akhirnya bahan
mencair, jika beberapa di bagian atas dari depan, dikeluarkan dari zona
pemotongan oleh uap yang tekanan tinggidi bagian bawah. Tidak seperti di berkas
pengelasan elektron , pistol di EBMdigunakan dalam modus pulse. Lubang dapat
dibor dalam lembaran tipis dengan menggunakan satupulse. Untuk piring tebal,
beberapa pulse akan diperlukan. Pemercepat elektron juga dapat bermanuver
dengan menggunak-kan kumparan defleksi elektromagnetik untuk
pengeboranlubang bentuk apapun.

2.2 Pembahasan
Elektron acak dipancarkan dari permukaan katoda panas dan dipercepat
menuju anoda dengan potensial percepatan tinggi diletakan diantara anoda dan
katoda. Karena bentuk medan elektrostatik yang dibentuk oleh konfigurasi anoda
cangkir jaringan yang digunakan, elektron yang dipancarkan secara elektrostatik
dibentuk menjadi aliran sedikit yang melewati anoda, aliran tersebut mencapai
kecepatan maksimum yang tersedia dari tegangan percepatan dan
mempertahankan kecepatan maksimum ini, ketika proses berlangsung di
lingkungan vakum, samoai aliran bertabrakan dengan benda kerja.

Gambar 2.2 Elemen Mesin Pemercepat Elektron

Perakitan kolom aliran elektron memiliki built-in sistem optik yang
memungkinkan operator untuk secara akurat posisi titik dampak aliran dan
mengamati pengeboran, pemotongan, atau operasi penggilingan berlangsung.
Melalui penggunaan optik visual, operator secara bersamaan dapat melihat benda
kerja dan pelampiasan tempat sampai dengan 40 kali perbesaran pada beberapa
peralatan.
Setelah elektron melewati anoda, tapi sebelum aliran elektron bertabrakan
dengan benda kerja, variabel kekuatan lensa elektromagnetik digunakan untuk
memfokuskan kembali aliran tersebut untuk setiap diameter yang diinginkan di
lokasi yang tepat pada benda kerja. Dengan demikian aliran mencapai kerapatan
daya yang sangat tinggi. Sebuah berkas elektron yang berdiameter penampang
0.013 – 0.03 mm memiliki daya kerapatan 1.55x109 W/cm2. Ini daya kerapatan
yang sangat tinggi yang secara langsung menguap setelah aliran tersebut
mengenai benda kerja.
Kumparan defleksi elektromagnetik, dipasang dibawah lensa fokus
merupakan tambahan yang digunakan untuk menekuk aliran, sehingga tempat
aliran yang diarahkan dengan cara yang diinginkan diatas permukaan kerja.
Sisitem defleksi ini memungkinkan pemrograman aliran dalam pola geometris
tertentu, dengan menyesuaikan masukan kumparan arus dengan cara yang tepat.
Pada titik aliran pelampiasan, energi kinetik dari aliran elektron diubah menjadi
energi panas dalam benda kerja.
Setiap material, logam atau bukan logam, yang akan ada dalam vakkum
tinggi dapat dipotong, walaupun pengalaman menunjukan bahwa berlian tidak
dipotong dengan baik. Lubang dengan kedalaman diameter 100:1 dapat dipotong.
Keterbatasan termasuk biaya peralatan yang tinggi dan kebutuhan untuk vakum,
yang biasanya memerlukan proses penumpukandan membatasi ukuran benda
kerja. Proses ini umumnya ekonomis hanya untuk tipis pemotongan bagian kecil.
Pengeboran : Dalam lubang pengeboran, berkas elektron terfokus pada satu
tempat dan menguapkan bahan sampai telah benar – benar menembus benda kerja
atau diaktifkan dari setelah kedalaman lubang tertentu telah tercapai. Diameter
lubang tergantung pada diameter aliran dan kerapatan energi. Jika lubang yang
lebih besar dari diameter aliran yang diperlukan, berkas elektron dibelokkan
elektromagnetik dalam lintasan melingkar dengan diameter yang diperlukan.
Memvariasikan amplitude dari tegangan generator terhubung ke sistem defleksi
elektromagnetik dapat mengubah diameter jalur aliran melingkar. Jika lubang
yang sangat besar yang diperlukan, benda kerja dapat dipindahkan dari pusat dan
diputar.
Secara umum, lubang kurang dari 0.13 mm dapat dibor seketika hinga
ketebalan bahan 1.25 mm. Diameter lubang lebih besar dari 0.13 mm dapat dibor
dengan membelokkan atau memutar berkas elektron.
Lubang melingkar yang diproduksi dengan teknik pengeboran berkas
elektron. Diameter lubang biasanya antara 0.03 mm dan 1.02mm. lubang bukan
lingkaran juga dapat dibor dengan menggunakan EBM. Teknik multipulse
digunakan. Mesin EB modern memiliki kontrol komputer defleksi aliran ditambah
dengan CNC gerak benda kerja. Untuk mesin lubang bukan liongkaran, sistem
kontrol yang digunakan untuk memindahkan benda kerja dan membelokkan
analog aliran kontur lubang yang telah ditentukan.
Perforasi : Elektron Beam Machine digunakan secara luas untuk melubangi
banyak bahan termasuk super alloy tahan panas, plastik, dan tekstil.
Kentungan penting dari EB perforasi adalah kemampuan proses untuk
mengebor lubang yang relatif kecil dalam bahan tebal. Proses ini biasanya
digunakan untuk menghasilkan lubang dengan kedalaman diameter rasio sekitar
10:1. Kemampuan ini digunakan secara efektif dalam pengeboran lubang kecil di
tepi trailing sudut turbin, misalnya :
Lubang condong adalah keuntungan lain dari EB perforasi. Sudut dimana
berkas elektron dapat diarahkan pada benda kerja biasanya antara 20 – 90 0 .
kemampuan ini memungkinkan penerapan EB perforasi untuk bilah turbin, cincin
ruang pembanakaran, piring mixer, dan bagian turbin gas lainnya.
Penggilingan : Aplikasi yang digunakan untuk EBM pabrik kecil lubang
profil berbentuk kurang dari 160 mm2 . benda kerja dipegang stasioner sedangkan
berkas elektron diprogram untuk memotong pola.

a) E-beam Evaporation
E-beam (electron beam) evaporation adalah proses evaporasi termal, dan
bersama dengan sputtering adalah salah satu dari dua tipe deposisi uap fisika
(PVD) yang paling umum. E-beam evaporation menyediakan untuk transfer
langsung sejumlah besar energi ke dalam sumber material, memungkinkan
penguapan logam dan bahan dielektrik dengan suhu leleh yang sangat tinggi,
seperti emas dan silikon dioksida, masing-masing. Oleh karena itu, adalah
mungkin untuk menyimpan bahan yang tidak dapat diuapkan dengan penguapan
termal resistif standar. Manfaat tambahan dari evaporasi e-beam adalah tingkat
deposisi lebih tinggi dari mungkin dengan baik sputtering atau penguapan resistif.
Dalam evaporasi e-beam, bahan penguapan dapat ditempatkan langsung
di perapian tembaga berpendingin air atau menjadi wadah dan dipanaskan oleh
sinar elektron terfokus. Panas dari berkas elektron menguapkan material, yang
kemudian mengendap pada substrat untuk membentuk film tipis yang dibutuhkan.
 Gambar 2. Skema E-beam Evaporation

Dalam mode operasi ini, pancaran sinar elektron intensitas tinggi

difokuskan pada material target yang ditempatkan dalam air yang didinginkan
tembaga. Prosesnya dimulai dengan vakum. Sebuah filamen dipanaskan sehingga
akan membentuk sebuah balok yang dibelokkan dan fokus pada material yang
akan diuapkan oleh medan magnet. Ketika E-beam menumbuk material magnet
target, energi kinetik dari gerak ditransfer ke energi panas.
E-beam evaporation digunakan untuk menyimpan berbagai macam
material. Umumnya digunakan untuk aplikasi film tipis optik seperti laser optik
dan panel surya untuk kacamata dan kaca arsitektur, penguapan e-beam
menyediakan kualitas optik, listrik, dan mekanik yang diperlukan. E-beam
evaporation memberikan efisiensi penggunaan material yang tinggi dibandingkan
dengan proses PVD lainnya, mengurangi biaya.
Sistem evaporator e-beam Denton Vacuum dikirim dengan pengendali
sweep yang dapat diprogram untuk memberikan pemanasan optimal dari bahan
evaporasi dan meminimalkan kontaminasi dari wadah. Multi-pocket e-beam
sources dapat disediakan untuk menguapkan bahan evaporasi yang berbeda secara
berurutan tanpa merusak vakum untuk desain film multi-layer. Sistem
dikonfigurasikan dengan pengendali pengendapan film tipis untuk kontrol proses
satu dan banyak lapisan otomatis. Pemantauan optik dan kontrol perangkat keras
dan perangkat lunak real-time dapat sepenuhnya diintegrasikan ke dalam sistem
untuk memungkinkan kontrol proses otomatis untuk aplikasi pelapisan optik yang
kritis.
E-beam evaporation dapat dikontrol, diulang dan kompatibel dengan
penggunaan sumber bantuan ion untuk meningkatkan karakteristik kinerja film
tipis yang diinginkan. Denton telah mengembangkan dua sistem untuk aplikasi
evaporasi e-beam, satu menawarkan konfigurasi serbaguna untuk R & D dan
produksi percontohan, yang lain menargetkan produksi volume tinggi dengan
konfigurasi khusus aplikasi. Kami memiliki lebih dari 50 tahun pengalaman
dalam memberikan solusi proses turn-key untuk metalisasi, lift-off, dan pelapisan
optik presisi. Solusi e-beam di bawah ini memberikan banyak opsi untuk
memenuhi persyaratan aplikasi.
 BAB III
PENUTUP
3.1 Kesimpulan
Mesin pemercepat elektron wajib dilakukan dalam ruang hampa. Jika tidak
elektron akan berinteraksi dengan molekul udara, sehingga elektron
akankehilangan energi dan kemampuan pemotongan. Jadi benda kerja yang akan
dikenai mesin terletak di bawah sinar elektron dan tetap berada dalam keadaan
vakum. Energi tinggiterfokus kedalam berkas elektron dibuat untuk menimpa
pada benda kerja dengan ukuran tempat10 - 100 µm. Energi kinetik dari elektron
kecepatan tinggi diubahmenjadi energi panas sebagai elektron menyerang bahan
kerja. Karena daya masa jenis tinggiinstan mencair dan penguapan dimulai
"meleleh – penguapan" depansecara bertahap berkembang. Akhirnya bahan
mencair, jika beberapa di bagian atas dari depan, dikeluarkan dari zona
pemotongan oleh uap yang tekanan tinggidi bagian bawah. Tidak seperti di berkas
pengelasan elektron , pistol di EBM digunakan dalam modus pulse. Lubang dapat
dibor dalam lembaran tipis dengan menggunakan satupulse. Untuk piring tebal,
beberapa pulse akan diperlukan. Pemercepat elektron juga dapat bermanuver
dengan menggunak-kan kumparan defleksi elektromagnetik untuk pengeboran
lubang bentuk apapun.
Pengeboran : Dalam lubang pengeboran, berkas elektron terfokus pada satu
tempat dan menguapkan bahan sampai telah benar – benar menembus benda kerja
atau diaktifkan dari setelah kedalaman lubang tertentu telah tercapai. Diameter
lubang tergantung pada diameter aliran dan kerapatan energi. Jika lubang yang
lebih besar dari diameter aliran yang diperlukan, berkas elektron dibelokkan
elektromagnetik dalam lintasan melingkar dengan diameter yang diperlukan.
Memvariasikan amplitude dari tegangan generator terhubung ke sistem defleksi
elektromagnetik dapat mengubah diameter jalur aliran melingkar. Jika lubang
yang sangat besar yang diperlukan, benda kerja dapat dipindahkan dari pusat dan
diputar.
Perforasi : Elektron Beam Machine digunakan secara luas untuk melubangi
banyak bahan termasuk super alloy tahan panas, plastik, dan tekstil.
Penggilingan : Aplikasi yang digunakan untuk EBM pabrik kecil lubang profil
berbentuk kurang dari 160 mm2 . benda kerja dipegang stasioner sedangkan
berkas elektron diprogram untuk memotong pola.
 DAFTAR PUSTAKA

Elshourbagy, Hazem Elsayed, 2014. Elecron Beam Machine.Production

Engineering & Mechanical Design Department Faculty of Engineering -
Mansoura University, Egypt.

McCarthy,Willard J, 2013. Electron Beam Machine, Encyclopedia Britannica,

www. Britannica.com, diakses pada tanggal 21 desember 2014 pukul 9:00
am.

Paul, Soumitra, Module Non conventional Machining Lesson 40 Electron Beam

and Laser Beam Machining Version 2 ME. Department of Mechanical
Engineering Indian Institute of Technology, Kharagpur, Indian

Suprapto, 2006. Rancangan Dan Konstruksi Sumber Elektron Untuk Mesin

Berkas Elektron Industri Lateks.Pusat Teknologi Akselerator dan Proses
Bahan, BATAN, Yogyakarta.