A.

Komponen Utama SEM

Sumber : Dokumentasi Pribadi

SEM memiliki beberapa peralatan utama, antara lain:

1. Penembak elektron (electron gun)

Memiliki fungsi sumber sinar elektron yang dapat dipercepat oleh anoda. Umumnya
berupa filamen yang mudah melepas elektron. Terdapat tiga jenis penembak elektron yaitu
Termal, Tungsten filamen dan Field Emission
2. Lensa Magnetik
Terdiri dari 2 Condenser lens. Berfungsi membelokkan elektron dan memfokuskan
dengan menggunakan medan magnet.
3. Detektor
Memiliki fungsi menangkap hamburan elektron dan menghasilkan informasi berbeda
sesuai jenis detektor : Backscatter detector, informasi nomor atom dan topografi, Secondary
detector informasi mengenai topografi.
4. Sample Holder
Berfungsi menaruh sampel yang akan diamati pada SEM
5. Monitor CRT (Cathode Ray Tube)
Berbentuk berupa monitor yang berfungsi mempermudah melihat struktur objek yang
akan dianalisa.

B. Prinsip kerja dari SEM

1. Pistol elektron menghasilkan elektron beam/ sinar elektron. Kemudian jika di beri
tegangan pada lilitan maka terjadi pemanasan, yang menyebabkan anoda membentuk
gaya yang menarik elektron menuju anoda
2. Setelah itu elektron difokuskan menuju suatu titik pada permukaan sampel
3. Koil pemindai selanjutnya mengarahkan sinar elektron terfokus untuk memindai
sampel
4. Terjadi hamburan elektron ketika elektron mengenai sampel
5. Detektor mendeteksi Secondary Electron (SE) atau Back Scattered Electron (BSE)
pada sampel dan sampel akan terlihat pada monitor CRT

C. Jenis sampel yang dapat dianalisa

1. Sampel Padat: logam, bubuk kimia, kristal, polymers, plastik, keramik, fosil,
butiran, karbon, campuran partikel logam, sampel Arkeologi.
 2. Sampel Biologi: sel darah, produk bakteri, fungal, ganggang, benalu dan
cacing. Jaringan binatang, manusia dan tumbuhan.
3. Sampel Padatan Biologi: contoh profesi dokter gigi, tulang, fosil dan sampel
arkeologi

D. Preparasi Sampel

• Hindari semua air, larutan atau material-material lain yang mudah menguap dalam vakum
• Permukaan harus rata untuk BSE dan OIM
• Tentukan jumlah sample.
• Samples Non-logam, seperti building materials, insulating ceramics, harus di caoting agar
konduktivitas listriknya baik. Logam dan samples konduktivitas dapat diletakan langsung
kedalam SEM.

E. Jenis data yang di dapat

1. Topografi, berupa ciri-ciri permukaan sampel dan teksturnya sampel seperti
kekerasan, sifat memantulkan cahaya, dsb
2. Morfologi, berupa bentuk dan ukuran dari partikel penyusun objek seperti kekuatan,
cacat pada Integrated Circuit (IC) dan chip, dsb
3. Komposisi, berupa data kuantitatif unsur dan senyawa yang terkandung di dalam
objek seperti titik lebur, kereaktifan, kekerasan, dsb.
4. Informasi kristalografi, mendapatkan informasi berupa susunan dari butir-butir di
dalam objek yang diamati seperti konduktifitas, sifat elektrik, kekuatan, dsb.

F. Penafsiran dari data yang diperoleh

Bedasarkan data yang telah dianalisis,didapatkan informasi berisi kualitas batuan

reservoir dicirikan adanya persebaran porositas dan kualitas, keberadaan dan kelimpahan
mineral pada sistem porositas batuan. Hasil dari analisis ini akan diserahkan ke perusahan
migas untuk proses ekspolarasi migas