Scanning Electron Microscope (SEM)

Sumber : dokumen pribadi

Prinsip Kerja Scanning Electron Microscopy (SEM)

Cara kerja SEM menggunakan prinsip scanning yaitu berkas
electron diarahkan pada titik permukaan specimen. Gerakan
electron diarahkan dari satu titik ke titik lain pada permukaan
specimen. Hasil yang didapatkan dari scanning ini yaitu
merupakan gambaran yang jelas dari permukaan specimen dalam
bentuk tiga dimensi.
Prinsip kerja SEM, yaitu :
a. Diawali dengan electron beam yang dihasilkan oleh sebuah filamen
pada electron gun yang digunakan yaitu tungsten hairpin gun
dengan filamen berupa lilitan yang berfungsi sebagai katoda. Tegang
yang dihasilkan pada lilitan mengakibatkan terjadinya pemanasan.
b. Anoda kemudian akan membentuk gaya yang dapat menarik
electron melaju menuju ke anoda.
c. Kemudia electron beam difokuskan ke suatu titik pada permukaan
Sumber :
http://enfo.agt.bme.hu/drupal/en/node/8881
sampel dengan menggunakan dua buah condenser lens.
d. Condenser lens kedua (lensa objektif) memfokuskan beam dengan
diameter yang sangat kecil yaitu ± 10-20 nm.
e. Selanjutnya hamburan electron, baik Secondary Electron (SE) atau
Back Scattered Electron (BSE) dari permukaan sampel akan
dideteksi oleh detector yang dimunculkan dalam bentuk gambar tiga
dimensi pada layar CRT.
 X-ray Diffraction and Diffractometry (XRD)

Sumber : dokumen pribadi

Prinsip kerja XRD

X-ray Diffraction memiliki 4 tahapan kerja, yaitu :

a. Produksi. Pada tahap ini, electron yang dihasilkan ketika filamen (katoda) dipanaskan akan
dipercepat akibat perbedaan tegangan antara filamen (katoda) dan logam target (anoda)
sehingga tumbukan dengan logam target. Tumbukan antara electron yang dipercepat tersebut
dengan logam target akan menghasilkan radiasi sinar-X yang akan dikeluar dan akan
berinteraksi dengan struktur kristal material yang diuji.
b. Difraksi. Setelah tahap produksi material yang akan dianalisis diukur struktur kristalnya dan
harus berada pada fasa padat karena pada kondisi tersebut kedudukan atom-atomnya berada
dalam susunan yang sangat teratur sehingga membentuk bidang-bidang kristal. Terjadi dua pola
pada saat difraksi yaitu pola terang dan pola gelap. Pola gelap terbentuk karena terjadi
interferensi destruktif dan pola terang terjadi ketika terjadi interferensi destruktif dari pantulan
gelombang-gelombang sinar-X yang saling bertemu. Interferensi konstruktif terjadi sesuai
dengan Hukum Bragg, yaitu : n λ = 2d sin θ
 c. Deteksi. Selanjutnya hasil dari interferensi konstruktif akan dideteksi oleh detector. Agar
pendeteksian dapat terbaca makan posisi material yang akan diuji harus tepat pada arah sudut
pantul radiasi sinar-X tersebut.
d. Interpretasi. Selanjutnya setelah dideteksi akan diperkuat gelombangnya dengan
menggunakan amplifier. Lalu interferensi konstruktif radiasi sinar-X tersebut akan terbaca
secara spektroskopi sebagai puncak-puncak grafik yang ditampilkan oleh layar computer.
Dengan menganalisis puncak-puncak grafik tersebut struktur kristal suatu material dapat
diketahui. Contoh gambar grafiknya seperti dibawah ini.

Sumber : dokumen pribadi

Referensi

lib.ui.ac.id/file?file=digital/125054-R040871-Pengaruh%20proses-Literatur.pdf

digilib.unila.ac.id/13301/12/16.Bab%20II.pdf

digilib.itb.ac.id/files/disk1/626/jbptitbpp-gdl-mauritzpmn-31295-3-2008ts-2.pdf

eprints.polsri.ac.id/1859/3/BAB%20II.pdf