Backscattered Electron (BSE) Imaging

BSE bersumber dari wilayah yang luas dalam volume interaksi. BSE terjadi akibat tabrakan elastis
elektron dengan atom, yang menyebabkan perubahan dalam lintasan elektron. Bayangkan tabrakan
electron-atom sebagai “Bola Billiard” , di mana partikel-partikel kecil (elektron) bertabrakan
dengan partikel yang lebih besar (atom) (Thermo Fisher Scientific Phenom World BV, 2017).

Atom yang lebih besar memiliki lebih banyak elektron dibandingkan dengan atom ringan, dan
dengan demikian memiliki sinyal yang lebih tinggi. Jumlah BSE yang mencapai detektor
sebanding dengan jumlah Z suatu atom. Ketergantungan jumlah BSE pada jumlah atom membantu
untuk membedakan antara fase yang berbeda, memberikan pencitraan yang menyampaikan
informasi tentang komposisi sampel. Selanjutnya, BSE juga dapat memberikan informasi yang
bermanfaat seperti topografi, kristalografi dan medan magnet sampel (Thermo Fisher Scientific
Phenom World BV, 2017).

Figure 1 . a) SEM image of an Al/Cu sample, b), c) Simplified illustration of the interaction
between electron beam with aluminum and copper. Copper atoms (higher Z) scatter more electrons
back towards the detector than the lighter aluminum atoms and therefore appear brighter in the
SEM image.
Detektor solid state adalah detektor BSE paling umum yang biasanya mengandung konjungsi p-
n. Prinsip kerja didasarkan pada produksi pasangan electron-hole oleh elektron backscattered yang
terlepas dari sampel dan ditangkap oleh detektor. Jumlah pasangan ini bergantung pada energi dari
elektron backscattered. P-n terkait dengan dua elektroda, salah satu yang menarik elektron dan
yang lainnya persimpangan terkait dengan dua elektroda, salah satu yang menarik elektron dan
lainnya sebagai “Holes”, sehingga menghasilkan arus listrik, yang juga bergantung pada jumlah
elektron backscattered yang diserap. Detektor BSE diposisikan di atas sampel, konsentris dengan
berkas elektron dalam susunan “donat”, sehingga untuk memaksimalkan koleksi elektron
backscattered dan mereka terdiri dari bagian-bagian yang terbagi secara simetris (Thermo Fisher
Scientific Phenom World BV, 2017).

Ketika semua bagian diaktifkan, kontras gambar menunjukkan jumlah Z atom dari nomor tersebut.
Atau, dengan memungkinkan hanya kuadran tertentu pada detektor, informasi topografi dari
gambar dapat dipulihkan (Thermo Fisher Scientific Phenom World BV, 2017).

Figure 2. Typical position of the backscattered and secondary electron detectors.

Secondary Electrons (Elektron Sekunder)

Sebaliknya, elektron sekunder berasal dari permukaan atau daerah yang dekat dengan permukaan
sampel. ES terjadi karena interaksi inelastis antara berkas elektron primer dan sampel dan
mengandung energi yang lebih rendah daripada elektron backscattered. Elektron sekunder sangat
bermanfaat untuk pemeriksaan topografi permukaan sampel, seperti yang terlihat pada Gambar 3
(Thermo Fisher Scientific Phenom World BV, 2017).

Figure 3. a) Full BSD, b) Topography BSD and c) SED image of a leaf.

Detector Everhart-Thornley merupakan perangkat yang paling umum digunakan untuk mendeteksi
SE. Detector Everhart-Thornley terdiri dari sintilator dalam “Faraday cage”, yang bermuatan
positif dan menarik SE. Sintilator yang kemudian digunakan untuk mempercepat elektron dan
mengubahnya menjadi cahaya sebelum mencapai photo multiplier untuk amplifikasi. SE detektor
diposisikan di sisi ruang elektron, pada bagian sudut untuk meningkatkan efisiensi pendeteksian
elektron sekunder (Thermo Fisher Scientific Phenom World BV, 2017).

Kedua jenis elektron adalah sinyal yang sering digunakan oleh pengguna SEM untuk
pencitraan/imaging. Tidak semua pengguna SEM membutuhkan jenis informasi yang sama,
sehingga kemampuan memiliki banyak detektor membuat SEM menjadi alat yang sangat
serbaguna karena dapat memberikan solusi yang menguntungkan untuk aplikasi yang berbeda
(Thermo Fisher Scientific Phenom World BV, 2017).
Thermo Fisher Scientific Phenom World BV. 2017. Different Types of SEM Imaging – BSE and Secondary
Electron Imaging. Thermo Scientific : Netherlands.