Bab 12

Sensor Akustik

Dasar-dasar akustik diberikan dalam Sect. 3.10. Di sini kita akan membahas sensor akustik
untuk berbagai rentang frekuensi. Sensor jangkauan suara biasanya disebut mikrofon, namun,
namanya sering digunakan bahkan untuk gelombang ultrasonik dan infrasonik. Intinya, mikrofon
adalah transduser tekanan yang disesuaikan untuk transduksi gelombang suara pada rentang
spektral yang luas, yang umumnya tidak termasuk frekuensi sangat rendah di bawah beberapa Hz.
Mikrofon berbeda dengan sensitivitas, karakteristik pengarahan, lebar pita frekuensi, rentang
dinamis, ukuran, dll. Selain itu, desainnya sangat berbeda tergantung pada media dari mana
gelombang suara dirasakan. Misalnya, untuk persepsi gelombang udara atau getaran dalam
padatan, sensor disebut mikrofon, sedangkan untuk operasi dalam cairan, itu disebut hidrofon
(bahkan jika cairan bukan air - dari nama Yunani ular air mitologis, Hydra) . Perbedaan utama
antara sensor tekanan dan sensor akustik adalah bahwa sensor tekanan tidak perlu mengukur
tekanan perubahan yang konstan atau sangat lambat. Rentang frekuensi operasinya biasanya
dimulai pada beberapa hertz (atau serendah puluhan millihertz untuk beberapa aplikasi),
sedangkan batas frekuensi operasi atas cukup tinggi - hingga beberapa megahertz untuk aplikasi
ultrasonik dan bahkan gigahertz dalam gelombang akustik permukaan (SAW). ) perangkat.

Karena gelombang akustik adalah gelombang tekanan mekanis, setiap mikrofon atau
mikrofon memiliki struktur dasar yang sama dengan sensor tekanan: ia terdiri dari diafragma
bergerak dan transduser perpindahan, yang mengubah defleksi diafragma menjadi sinyal listrik.
Semua mikrofon dan hidrofon berbeda dengan desain kedua komponen penting ini. Selain itu,
mereka dapat menyertakan beberapa bagian tambahan seperti muffler, reflektor atau lensa fokus,
dll. Namun, dalam bab ini kami hanya akan meninjau bagian penginderaan dari beberapa yang
paling menarik, dari sudut pandang kami, sensor akustik.

12.1 Mikrofon Resistif

Di masa lalu, konverter tekanan resistif (tekanan terhadap listrik) digunakan cukup luas dalam
mikrofon. Konverter terdiri dari bubuk semikonduktif (biasanya grafit) yang resistivitas curahnya
sensitif terhadap tekanan. Saat ini kita dapat mengatakan bahwa bubuk tersebut memiliki sifat
piezoresistif. Namun, perangkat awal ini memiliki rentang dinamis yang cukup terbatas, respons
frekuensi yang buruk, dan tingkat kebisingan yang tinggi. Mikrofon karbon adalah kapsul yang
mengandung butiran karbon yang ditekan di antara dua lempeng logam. Tegangan diterapkan pada
pelat logam, menyebabkan arus kecil mengalir melalui karbon. Salah satu lempeng, diafragma,
bergetar di bawah gelombang suara yang terjadi, memberikan tekanan yang bervariasi pada
karbon. Tekanan yang berubah mendeformasi butiran, menyebabkan area kontak antara setiap
pasangan butiran yang berdekatan berubah, dan ini menyebabkan resistensi listrik dari massa
butiran berubah. Perubahan resistansi menyebabkan perubahan voltase yang sesuai pada kedua
pelat, dan karenanya dalam arus yang mengalir melalui mikrofon, menghasilkan sinyal listrik.
Mikrofon karbon dulu biasa digunakan di telepon. Saat ini, prinsip piezoresistif yang sama dapat
digunakan dalam sensor mikromachin, di mana resistor sensitif stres adalah bagian integral
darisilikon

diafragma(Bag. 10.5).

12.2 Mikrofon Kondensor

Jika kapasitor pelat paralel diberi muatan listrik, q, tegangan melintasi pelatnya diatur oleh (3.19).
Di sisi lain, menurut (3.20) kapasitansi tergantung pada jarak d antara pelat. Dengan demikian
menyelesaikan dua persamaan ini untuk tegangan kita sampai pada di

mana e0 ¼ 8,8542 _ 10-12 C2 / Nm2 adalah konstanta permitivitas (Bagian 3.1). Persamaan di
atas adalah dasar untuk pengoperasian mikrofon kondensor, yang merupakan cara lain untuk
mengatakan mikrofon "kapasitif". Dengan demikian, mikrofon kapasitif secara linear mengubah
jarak antara pelat menjadi tegangan listrik, yang dapat diperkuat lebih lanjut. Perangkat ini pada
dasarnya membutuhkan sumber muatan listrik q yang besarnya secara langsung menentukan
sensitivitas mikrofon. Muatan dapat disediakan baik dari catu daya eksternal yang memiliki
tegangan dalam kisaran dari 20 hingga 200 V, atau dari sumber internal yang mampu
menghasilkan muatan seperti itu. Ini dilakukan oleh lapisan electret bawaan, yang merupakan
kristal dielektrik terpolarisasi. Saat ini, banyak mikrofon kondensor dibuat dengan diafragma
silikon, yang memiliki dua tujuan: untuk mengubah tekanan akustik menjadi perpindahan, dan
untuk bertindak sebagai pelat bergerak kapasitor. Beberapa desain menjanjikan dijelaskan dalam
[1-3].Untuk mencapai sensitivitas tinggi, tegangan bias harus sebesar mungkin, menghasilkan
defleksi statis besar diafragma, yang dapat mengakibatkan penurunan resistivitas goncangan dan
rentang dinamis yang lebih rendah. Selain itu, jika celah udara antara diafragma dan pelat belakang
sangat kecil, hambatan akustik celah udara akan mengurangi sensitivitas mekanis mikrofon pada
frekuensi yang lebih tinggi. Misalnya, pada celah udara 2 mm, frekuensi cutoff atas hanya 2 kHz
telah diukur [1]. Salah satu cara untuk meningkatkan karakteristik mikrofon kondensor adalah
dengan menggunakan umpan balik mekanis dari output amplifier ke diafragma [4]. Gambar 12.1a
menunjukkan diagram sirkuit dan Gambar 12.1b adalah gambar elektroda interdigitized dari
mikrofon. Elektroda melayani tujuan yang berbeda: satu untuk konversi perpindahan diafragma
menjadi tegangan pada input amplifier A1 sedangkan elektroda lainnya adalah untuk mengubah
tegangan umpan balik Va menjadi defleksi mekanis melalui gaya elektrostatik. Umpan balik
mekanis jelas meningkatkan linieritas dan rentang frekuensi mikrofon, namun secara signifikan
mengurangi defleksi yang menghasilkan sensitivitas yang lebih rendah. Mikrofon kondensor
frekuensi radio (RF) menggunakan sinyal RF tambahan yang dihasilkan oleh osilator kebisingan
rendah. Osilator dapat dimodulasi frekuensi oleh perubahan kapasitansi yang dihasilkan oleh
gelombang suara yang menggerakkan diafragma kapsul, atau kapsul dapat menjadi bagian dari
rangkaian resonansi yang memodulasi amplitudo sinyal osilator frekuensi tetap. Demodulasi
menghasilkan sinyal frekuensi audio noise rendah dengan impedansi sumber yang sangat rendah.
Teknik ini memungkinkan penggunaan diafragma dengan tegangan lebih longgar, yang dapat
digunakan untuk mencapai respons frekuensi yang lebih luas karena kepatuhan yang lebih tinggi.
Mikrofon kondensor menjangkau rentang dari pemancar telepon hingga mikrofon karaoke yang
murah hingga mikrofon rekaman dengan ketelitian tinggi. Mereka umumnya menghasilkan sinyal
audio berkualitas tinggi dan sekarang menjadi pilihan populer dalam aplikasi rekaman
laboratorium dan studio. Kesesuaian yang melekat dari teknologi ini adalah karena massa yang
sangat kecil yang harus digerakkan oleh gelombang suara insiden. Untuk membaca lebih lanjut
tentang mikrofon kondensor, buku yang bagus mungkin direkomendasikan [5].
12.3 Mikrofon Serat Optik

Pengukuran akustik langsung di lingkungan yang tidak bersahabat, seperti pada turbojet atau mesin
roket, membutuhkan sensor, yang dapat menahan panas tinggi dan getaran kuat. Pengukuran
akustik dalam kondisi keras seperti itu diperlukan untuk validasi kode dinamika fluida komputasi
(CFD), tes akustik struktural, dan pengurangan kebisingan jet. Untuk aplikasi seperti itu, mikrofon
interferometrik serat optik bisa sangat cocok. Salah satu desain tersebut [6] terdiri dari
interferometer Michelson yang tidak sensitif terhadap suhu mode tunggal dan diafragma pelat
reflektif. Interferometer memonitor defleksi pelat, yang berhubungan langsung dengan tekanan
akustik. Sensor didinginkan dengan air untuk memberikan perlindungan termal bagi bahan optik
dan menstabilkan sifat mekanik diafragma. Untuk memberikan efek interferensi antara sinar lampu
yang masuk dan keluar: dua serat menyatu bersama dan dibelah pada daerah runcing minimum
(Gbr. 12.2). Serat dimasukkan ke dalam tabung stainless steel, yang didinginkan dengan air. Ruang
internal dalam tabung diisi dengan epoksi, sedangkan ujung tabung dipoles sampai serat optik
diamati. Selanjutnya, aluminium disimpan secara selektif ke salah satu ujung inti serat yang
menyatu untuk membuat permukaan cerminnya memantul. Serat ini berfungsi sebagai lengan
referensi mikrofon. Inti serat lainnya dibiarkan terbuka dan berfungsi sebagai lengan
penginderaan. Ketidakpekaan suhu diperoleh dari jarak dekat referensi dan lengan penginderaan
rakitan.

Cahaya dari sumber laser (dioda laser yang beroperasi di dekat panjang gelombang 1,3
mm) memasuki salah satu inti dan merambat ke ujung yang menyatu, di mana ia digabungkan ke
inti serat lainnya. Ketika mencapai ujung inti, cahaya di inti referensi dipantulkan dari cermin
aluminium ke sisi input dan output sensor. Bagian cahaya, yang mengarah ke input hilang dan
tidak berpengaruh pada pengukuran, sedangkan bagian yang menuju ke output, menghantam
permukaan detektor. Bagian cahaya yang bergerak ke kanan di inti penginderaan keluar dari serat
dan menyerang diafragma tembaga. Bagian dari cahaya dipantulkan dari diafragma kembali ke
serat penginderaan dan merambat ke ujung keluaran,

bersama dengan cahaya referensi. Tergantung pada posisi diafragma, fase cahaya yang dipantulkan
akan bervariasi, sehingga menjadi berbeda dari fase cahaya referensi. Saat bepergian bersama ke
detektor output, lampu referensi dan penginderaan saling mengganggu, menghasilkan modulasi
intensitas cahaya. Oleh karena itu, mikrofon mengubah perpindahan diafragma menjadi intensitas
cahaya. Secara teoritis, rasio signal-to-noise dalam sensor tersebut dapat diperoleh pada urutan 70-
80 dB, sehingga menghasilkan penempatan diafragma minimum yang dapat dideteksi minimum
sebesar 1 A ° (10 _10 m). Gambar 12.3 menunjukkan plot tipikal dari intensitas optik dalam
detektor versus fase untuk pola interferensi. Untuk memastikan fungsi transfer linier, titik operasi
harus dipilih di dekat bagian tengah intensitas, di mana kemiringan adalah yang tertinggi dan
linieritas adalah yang terbaik. Kemiringan dan titik operasi dapat diubah dengan menyesuaikan
panjang gelombang dioda laser. Penting untuk defleksi untuk tetap dalam seperempat dari panjang
gelombang operasi untuk mempertahankan input proporsional. Diafragma dibuat dari foil 0,05 mm
dengan diameter 1,25 mm. Tembaga dipilih untuk diafragma karena konduktivitas termal yang
baik dan modulus elastisitas yang relatif rendah. Fitur yang terakhir memungkinkan penggunaan
diafragma yang lebih tebal, yang memberikan penghilangan panas yang lebih baik dengan tetap
mempertahankan frekuensi dan defleksi alami yang dapat digunakan. Tekanan 1,4 kPa
menghasilkan defleksi pusat maksimum 39 nm (390 A °), yang berada dalam 1/4 dari panjang
gelombang operasi (1.300 nm). Frekuensi akustik maksimum, yang dapat ditransfer dengan
mikrofon optik, dibatasi hingga sekitar 100 kHz, yang jauh di atas rentang kerja yang diinginkan
yang diperlukan untuk pengujian akustik struktural.

12.4 Mikrofon

piezoelektrik Efek piezoelektrik dapat digunakan untuk desain mikrofon sederhana. Kristal
piezoelektrik adalah konverter langsung dari tekanan mekanis menjadilistrik
muatan. Bahan yang paling sering digunakan untuk sensor adalah keramik piezoelektrik, yang
dapat beroperasi hingga batas frekuensi sangat tinggi. Ini adalah alasan mengapa sensor
piezoelektrik digunakan untuk transduksi gelombang ultrasonik (Bag. 7.5). Namun, bahkan untuk
rentang yang dapat didengar, mikrofon piezoelektrik digunakan cukup luas. Aplikasi yang umum
adalah perangkat yang diaktifkan suara dan alat pengukur tekanan darah di mana suara Korotkoff
arteri harus dideteksi. Untuk aplikasi yang tidak menuntut akustik seperti itu, desain mikrofon
piezoelektrik cukup sederhana (Gbr. 12.4). Ini terdiri dari disk keramik piezoelektrik dengan dua
elektroda disimpan di sisi yang berlawanan. Elektroda terhubung ke kabel baik dengan epoksi
konduktif listrik atau dengan solder. Karena impedansi listrik keluaran dari mikrofon seperti itu
sangat besar, diperlukan penguat impedansi masukan yang tinggi. Film piezoelektrik (PVDF dan
kopolimer) digunakan selama bertahun-tahun sebagai pickup akustik yang sangat efisien dalam
instrumen musik [7]. Salah satu aplikasi pertama untuk film piezoelektrik adalah sebagai pickup
akustik untuk biola. Kemudian, film ini diperkenalkan untuk garis gitar akustik sebagai pickup
jembatan yang dipasang di pelana, dipasang di jembatan gitar. Kesetiaan yang sangat tinggi pada
pickup membawa jalan ke keluarga aplikasi penginderaan getaran dan akselerometer. Dalam satu
pickup gitar, film tebal, desain tekan (di bawah sadel); yang lain adalah accelerometer berbiaya
rendah, sementara yang lain adalah desain penjemputan pasaran yang ditempel pada instrumen.
Karena bahan Q-faktorrendah1 , transduser ini tidak memiliki self-resonance pickup keramik
keras. Pelindung dapat dicapai dengan desain lipatan seperti yang ditunjukkan pada Gambar.
12.5a. Sisi penginderaan adalah elektroda yang sedikit lebih sempit di bagian dalam lipatan.
Teknik lipatan memberikan pickup yang lebih sensitif daripada metode pelindung alternatif karena
pelindung dibentuk oleh salah satu elektroda. Untuk aplikasi dalam air, film dapat digulung dalam
tabung dan banyak dari tabung tersebut dapat dihubungkan secara paralel (Gbr. 12.5b).
12.5 Mikrofon Electret

Electret adalah relatif dekat dengan bahan piezoelektrik dan piroelektrik. Akibatnya, mereka
semua adalah rahasia dengan sifat piezoelektrik atau piroelektrik yang ditingkatkan. Electret
adalah bahan dielektrik kristal terpolarisasi secara listrik. Aplikasi pertama dari rahasia untuk
mikrofon dan earphone di mana dijelaskan pada tahun 1928 [8]. Mikrofon electret adalah
transduser elektrostatik yang terdiri dari diafragma elektret logam dan pelat belakang yang
dipisahkan dari diafragma oleh celah udara (Gbr. 12.6). Metalisasi atas dan pelat logam
dihubungkan melalui resistor R voltase V yang dapat diperkuat dan digunakan sebagai sinyal
keluaran. Karena electret adalah dielektrik yang secara permanen terpolarisasi secara elektrik,
densitas muatan s1 pada permukaannya konstan dan menetapkan celah udara sebagai medan listrik
E1. Ketika gelombang akustik menimpa diafragma, yang terakhir membelok ke bawah
mengurangi ketebalan celah udara s1 untuk nilai Ds. Dalam kondisi sirkuit terbuka, amplitudo dari
bagian variabel dari tegangan keluaran menjadi

demikian, diafragma yang dibelokkan menghasilkan tegangan melintasi elektroda. Tegangan itu
dalam fase dengan defleksi diafragma. Jika sensor memiliki kapasitansi C, persamaan di atas harus
dituliskan sebagai di

mana f adalah frekuensi gelombang sonik. Jika gaya pemulih disebabkan oleh elastisitas rongga
udara di belakang diafragma (ketebalan efektif s0) dan tegangan T membran, perpindahannya Ds
ke tekanan suara Dp dengan asumsi kerugian yang dapat diabaikan diberikan oleh [10] di

mana g adalah rasio panas spesifik, p0 adalah tekanan atmosfer, dan A adalah area membran. Jika

kita mendefinisikan sensitivitas mikrofon electret sebagai , maka di bawah

resonansi, itu dapat dinyatakan sebagai [9]

Terlihat bahwa sensitivitas tidak tergantung pada area. Jika massa membran adalah M, maka
frekuensi resonansi ditentukan oleh
Frekuensi ini harus dipilih jauh di atas frekuensi atas rentang operasi mikrofon. Mikrofon electret
berbeda dari detektor serupa lainnya dalam arti tidak memerlukan tegangan bias dc. Untuk dimensi
dan sensitivitas desain yang sebanding, mikrofon kondensor akan membutuhkan bias lebih dari
100 V. Ketegangan mekanis membran umumnya dijaga pada nilai yang relatif rendah (sekitar 10
Nm _1), sehingga gaya pemulih ditentukan oleh kompresibilitas celah udara. Sebuah membran
dapat dibuat dari Teflon FEP, yang secara permanen diisi oleh sinar elektron untuk memberikan
sifat electret.suhu Koefisiensensitivitas mikrofon electret berada di kisaran 0,03 dB / _C dalam
kisaran suhu dari _10 hingga þ50_C [11]. Mikrofon foil-electret (diafragma) memiliki fitur yang
lebih diinginkan daripada apa pun jenis mikrofon lainnya. Diantaranya adalah rentang frekuensi
yang sangat luas dari 10_3 Hz dan hingga ratusan MHz. Mereka juga menampilkan respons
frekuensi datar (di dalam _1 dB), distorsi harmonik rendah, sensitivitas getaran rendah, impuls
yang baik respon, dan ketidakpekaan terhadap medan magnet. Sensitivitas mikrofon electret
berada dalam kisaran beberapa mV / mbar. Untuk operasi dalam kisaran infrasonik, mikrofon
electret memerlukan miniatur lubang pemerataan tekanan di pelat belakang. Saat digunakan dalam
rentang ultrasonik, electret sering diberi bias tambahan (seperti mikrofon kondensor) di Selain
polarisasi sendiri. Mikrofon electret adalah sensor impedansi tinggi dan karenanya membutuhkan
input tinggi elektronik antarmuka impedansi. Transistor JFET telah menjadi input pilihan
bertahun-tahun. Namun, amplifier monolitik baru-baru ini mendapatkan popularitas. Sebuah
contoh adalah LMV1014 (National Semiconductors), yang merupakan penguat audio dengan
rendah konsumsi saat ini (38 mA) yang dapat beroperasi dari catu daya baterai kecil mulai dari 1,7
hingga 5 V.
12.6 MikrofonMikrofon

Dinamisdinamis bekerja melalui induksi elektromagnetik. Mereka kuat, relatif murah, dan tahan
terhadap kelembaban. Ini, ditambah dengan potensi keuntungan yang tinggi (sebelum umpan balik
diterapkan), menjadikannya ideal untuk penggunaan di atas panggung. Mikrofon kumparan
bergerak menggunakan prinsip dinamis yang sama seperti pada loudspeaker, hanya terbalik (Gbr.
12.7a). Sebuah kumparan induksi bergerak kecil, diposisikan di
medan magnet dari magnet permanen, melekat pada diafragma. Ketika suara masuk melalui kaca
depan mikrofon (tidak diperlihatkan dalam gambar), gelombang suara menggerakkan diafragma.
Ketika diafragma bergetar, kumparan bergerak di medan magnet, menghasilkan tegangan yang
bervariasi di terminal kumparan. Ini adalah hasil dari induksi elektromagnetik. Seperti berikut dari
(3.36), medan magnet variabel menginduksi tegangan dalam koil. Dengan demikian, pergerakan
koil di dalam magnet permanen menghasilkan tegangan yang diinduksi dan arus berikutnya dalam
hubungan langsung dengan laju perubahan medan magnet. Satu membran dinamis tidak akan
merespons secara linear ke semua frekuensi audio. Beberapa mikrofon karena alasan ini
menggunakan banyak membran untuk berbagai bagian dari spektrum audio dan kemudian
menggabungkan sinyal yang dihasilkan. Menggabungkan beberapa sinyal dengan benar sulit dan
desain yang melakukan ini jarang dan cenderung mahal. Pita mikrofon menggunakan pita logam
tipis, biasanya bergelombang yang tersuspensi dalam medan magnet (Gbr. 12.7b). Pita tersambung
secara elektrik ke output mikrofon, dan getarannya di dalam medan magnet menghasilkan sinyal
listrik. Pita mikrofon mirip dengan mikrofon koil bergerak dalam arti bahwa keduanya
menghasilkan suara dengan cara induksi magnetik. Mikrofon pita dasar mendeteksi suara dalam
pola dua arah (juga disebut gambar-delapan) karena pita, yang terbuka untuk suara bagian depan
dan belakang, merespons gradien tekanan daripada tekanan suara. Meskipun pickup depan dan
belakang yang simetris dapat menjadi gangguan dalam perekaman stereo normal, penolakan sisi
tinggi yang dapat digunakan untuk keuntungan adalah beberapa aplikasi, terutama di mana
penolakan kebisingan latar belakang diperlukan.
12.7 Detektor Akustik Solid-State

Saat ini, penggunaan sensor akustik lebih luas daripada mendeteksi gelombang suara di udara.
Terutama mereka menjadi semakin populer untuk mendeteksi getaran mekanis dalam padatan
untuk membuat sensor seperti mikrobalances dan perangkat SAW. Aplikasi berkisar pada
pengukuran perpindahan, konsentrasi senyawa, tegangan, gaya, suhu, dll. Semua sensor tersebut
didasarkan pada gerakan elastis pada bagian padat sensor dan penggunaan utamanya berfungsi
sebagai bagian dalam sensor lain yang lebih kompleks, misalnya, dalam detektor kimia,
akselerometer, sensor tekanan, dll. Dalam sensor kimia dan biologis, jalur akustik, tempat
gelombang mekanis merambat, dapat dilapisi dengan senyawa selektif kimia, yang hanya
berinteraksi dengan stimulus yang menarik. Alat eksitasi (biasanya dari sifat piezoelektrik)
memaksa atom-atom padatan ke dalam gerakan getaran tentang posisi kesetimbangannya. Atom-
atom tetangga kemudian menghasilkan gaya pemulih yang cenderung membawa atom yang
dipindahkan kembali ke posisi semula. Dalam sensor akustik, karakteristik getaran, seperti
kecepatan fasa dan / atau koefisien atenuasi, dipengaruhi oleh stimulus. Dengan demikian, dalam
rangsangan eksternal sensor akustik, seperti regangan mekanis pada sensor solid, meningkatkan
kecepatan rambat suara. Pada sensor lain, yang disebut gravimetri, penyerapan molekul atau
perlekatan bakteri menyebabkan pengurangan kecepatan gelombang akustik. Dan dalam detektor
lain, yang disebut sensor viskositas akustik, cairan kental kontak daerah aktif dari sensor
gelombang elastis dan gelombang dilemahkan. Gelombang akustik yang merambat dalam benda
padat telah digunakan secara luas dalam perangkat elektronik seperti filter listrik, garis tunda,
mikroaktuator, dll. Keuntungan utama gelombang akustik dibandingkan dengan gelombang
elektromagnetik adalah kecepatan rendahnya. Kecepatan tipikal dalam padatan berkisar antara
1,5_103 hingga 12_103 m / s, sedangkan SAW praktis menggunakan kisaran antara 3,8_ 103
hingga 4,2 _103 m / s [12]. Artinya, kecepatan akustik adalah lima urutan besarnya lebih kecil dari
pada gelombang elektromagnetik. Hal ini memungkinkan untuk pembuatan sensor mini yang
beroperasi dengan frekuensi hingga 5 GHz. Ketika sensor akustik solid-state dibuat, penting untuk
memasangkan sirkuit elektronik ke struktur mekanisnya di mana gelombang merambat. Efek yang
paling nyaman digunakan adalah efek piezoelektrik. Efeknya reversibel (lihat Bagian 3.6), yang
berarti bahwa ia bekerja dengan dua cara: tekanan mekanik menginduksi muatan polarisasi listrik
dan medan listrik yang diterapkan menekankan kristal piezoelektrik. Dengan demikian, sensor
umumnya memiliki dua transduser piezoelektrik di kedua ujungnya: satu di ujung transmisi untuk
generasi gelombang akustik dan yang lainnya di ujung penerima - untuk konversi gelombang
akustik menjadi sinyal listrik. Karena silikon tidak memiliki efek piezoelektrik, bahan
piezoelektrik tambahan harus disimpan pada goyangan silikon dalam bentuk film tipis [12]. Bahan
piezoelektrik khas yang digunakan untuk tujuan ini adalah seng oksida (ZnO), aluminium nitrida
(AlN), dan yang disebut sistem larutan padat timbal-zirkonit-titanium oksida Pb (Zr, Ti) O3 yang
dikenal sebagai keramik PZT. Saat menyimpan film tipis pada bahan semikonduktor, beberapa
sifat utama harus diperhitungkan. Mereka adalah sebagai berikut:

1. Kualitas adhesi ke substrat

2. Resistensi terhadap faktor-faktor eksternal (seperti cairan yang berinteraksi

denganpenginderaan

permukaanselama operasinya)

3. Stabilitas lingkungan (kelembaban, suhu, guncangan mekanik dan getaran)

4 Nilai kopling elektromekanis dengan substrat

5. Kemudahan pemrosesan dengan teknologi yang tersedia

6. Biaya

Kekuatan efek piezoelektrik pada perangkat gelombang elastis tergantung pada konfigurasi
elektroda transduksi. Tergantung pada desain sensor, untuk eksitasi massal (ketika gelombang
harus merambat melalui ketebalan penampang sensor) elektroda diposisikan di sisi yang
berlawanan dan area mereka cukup besar. Untuk SAW, elektroda eksitasi diinterdigitisasi.
Beberapa konfigurasi untuk sensor akustik solid-state diketahui. Mereka berbeda dengan mode
gelombang yang merambat melalui materi. Gambar 12.8 menunjukkan dua versi yang paling
umum: sensor dengan mode pelat lentur (a) dan dengan mode pelat akustik (b). Dalam kasus
sebelumnya, membran yang sangat tipis dilenturkan oleh pasangan kiri dari elektroda
interdigitized dan defleksi vertikal menginduksi respons pada pasangan yang tepat dari elektroda.
Sebagai aturan, ketebalan membran secara substansial kurang dari
panjang gelombang osilasi. Dalam kasus terakhir, gelombang terbentuk pada permukaan lempeng
yang relatif tebal. Dalam kedua kasus, ruang antara pasangan kiri dan kanan dari elektroda
digunakan untuk interaksi dengan stimulus eksternal, seperti tekanan, cairan kental, molekul gas,
atau partikel mikroskopis. Sirkuit aplikasi tipikal untuk SAW mencakup pelat SAW sebagai
perangkat pengatur waktu dari osilator frekuensi. Karena banyak faktor internal dan eksternal
dapat berkontribusi pada perambatan gelombang akustik dan, selanjutnya, untuk mengubah
frekuensi osilasi, penentuan perubahan stimulus mungkin ambigu dan mengandung kesalahan.
Solusi yang jelas adalah dengan menggunakan teknik diferensial, di mana dua perangkat SAW
identik digunakan: satu perangkat untuk merasakan stimulus dan yang lainnya adalah referensi
(Gbr. 12.9). Perangkat referensi terlindung dari stimulus, tetapi tunduk pada faktor-faktor umum,
seperti suhu, penuaan, dll. Perbedaan perubahan frekuensi dari kedua osilator sensitif hanya pada
variasi stimulus, sehingga membatalkan efek faktor palsu.