LAPORAN PRAKTIKUM SPIN COATING (1-5) 01111740000047
SPIN COATING
Miftakhu Surur, Amilia, Dr. Sungkono
Departemen Fisika, Fakultas Sains dan Analitika Data, Institut Teknologi Sepuluh Nopember (ITS)
Jl. Arief Rahman Hakim, Surabaya 60111 Indonesia
e-mail: amiliasswnt@gmail.com
Abstrak―.Pada percobaan spin coating ini memiliki tujuan
yaitu membuat dan memahami lapisan tipis pada material
Polymethil Methacrylate (PMMA). Prinsip yang digunakan
pada percobaan ini yaitu prinsip gaya sentrifugal yang
dihasilkan dari gerak melingkar yang mana gaya ini
merupakan kebalikan dari gaya sentripetal. Sedangkan alat
dan bahan yang digunakan pada percobaan ini diantaranya
yaitu kaca preparat, kertas amplas, mikroskop optik, alkohol,
spin coater, pipet tetes, hairdryer, software logitec, larutan
PMMA. Sedangkan langkah pada percobaan ini yaitu alat dan
bahan dipersiapkan terlebih dahulu kemudian sisi-sisi kaca
preparat diamplas dan dicuci dengan alkohol 70%. Setelah itu
kaca preparat di letakkan di spin coater dan di tetesi larutan
PMMA. Kemudian udara di dalam spin coater dihisap. Setelah
itu spin coater diaktifkan dengan variasi kecepatannya yaitu
1000 rpm, 1500 rpm dan 2000 rpm. Lapisan yang terbentuk
kemudian diamati menggunakan mikroskop optik dan
software web cam dan photoeditor. Setelah dilakukan
percobaan didapatkan hasil bahwa pada kecepatan 1000 rpm,
1500 rpm dan 2000 rpm tebal lapisannya secara berturut-turut
yaitu 0,500454524 µm, 0,409912428 µm dan 0,111717034 µm.
Kata Kunci― Lapisan Tipis, Polymethil Methacrylate, Spin
Coating.
I. PENDAHULUAN
P ERKEMBANGAN bidang sains dan teknologi lapisan
tipis dewasa ini memang mempunyai peran penting
dalam kehidupan sehari-hari. Teknologi lapisan tipis sudah
dikenal berpuluh-puluh tahun di industri besar maupun
kecil. Proses teknologinya terus menerus dikembangkan
sampai sekarang dengan menggunakan proses-proses
modifikasi terbaru, terlebih lagi setelah digunakannya
pendeposisian-pendeposisian material-material tertentu pada
substrat dan pembuatan lapisan dengan ketebalan menurut
yang dikehendaki. Aplikasi dari teknologi ini telah
menjangkau dan mengakomodir berbagai bidang, baik
bidang fisika, kimia, industri maupun bidang ilmu
pengetahuan lainnya. Pada aplikasi di bidang optik,
ketebalan suatu lapisan tipis sangat berpengaruh terhadap
kualitas material dan sifat optisnya. Dalam pembuatan
lapisan tipis, salah satunya adalah metode spin coating
dimana metode ini menumbuhkan lapisan tipis pada substrat
dengan cara meneteskan cairan ke pusat subtrat yang
diputar.
Spin Coating adalah sebuah metode untuk
menghasilkan lapisan tipis yang merata di atas sebuah
substrat dengan cara merotasikan larutan film tipis tersebut
dengan kecepatan sudut tertentu. Lapisan tipis yang
dihasilkan dengan metode ini memiliki tingkat
kehomogenan yang cukup tinggi. Ketebalan lapisan yang
diinginkan bisa dikontrol berdasarkan waktu dan kecepatan
putaran dari alat spin coater. Proses spin coating meliputi 4
tahapan yang terdiri dari deposisi spin up dan spin off serta
tahap evaporasi yang menentukan kete balan akhir dari
lapisan tipis [1].
1
Poli metil metakrilat (PMMA) adalah bahan yang sangat
luas penggunaannya untuk diluar maupun didalam ruangan
karena tahan terhadap cuaca luar. Bahan ini digunakan
antara lain dalam industry otomotiv, monitor filing listrik,
lensa, bahan pelapis untuk material pada pesawat terbang
yang mempunyai kecepatan < Mach 1, pemanas tenaga
matahari, mesin, alat ekstrusi, incubator bayi dan lain-lain.
PMMA juga dapat diproses menghasilkan bahan pelapis
yang bersifat termoseting. Pembuatan poli metil metakrilat
dapat dilakukan secara polimerisasi rantai dan reaksi adisi.
Proses ini dapat berlangsung secara radikal beban dalam
kondisi bulk dan suspense. Polimerisasi secara radikal.bebas
kondisi nulk menghasilkan PMMA dengan berat molekul
tinggi dan dalam bentuk lembaran, batang, tabung.
Sedangkan polimerisasi secara radikal bebas dalam kondisi
suspense menghasilkan PMMA dengan berat molekul lebih
rendah dan dalam bentuk butir-butir [1].
Lapisan tipis yang dihasilkan dengan metode spin
coating memiliki tingkat kehomogenan yang cukup tinggi.
Ketebalan dan kualitas lapisan yang diinginkan bisa
dikontrol berdasarkan viskositas atau kekentalan larutan,
kandungan material, waktu dan kecepatan putaran dari alat
spin coater. Selain itu, metode spin coating ini akan
menghasilkan lapisan tipis pandu gelombang berindeks bias
tinggi diantara daerah berindeks bias rendah, yaitu substrat
dan udara. Sehingga cahaya dibatasi oleh pantulan dalam
total pada bidang batas film substrat dan film-kover [1].
Spin coating memepergunakan gaya sentrifugal dari
gerak melingkar untuk meratakan larutan sehingga bisa
melapisi substrat. Semakin cepat putaran spin coating, maka
lapisan yang dihasilkan makin tipis. Besar gaya sentrifugal
ini sama dengan gaya senstripetal namun arahnya gayanya
berlawanan. Hal ini dapat terjadi, karena apabila kecepatan
putarannya semakin tinggi maka gaya sentrifugalnya akan
semakin besar pula. Sehingga larutan lebih cepat merata dan
semakin tipis karena gaya tarik permukaan ke samping
semakin besar. Namun hal ini mengakibatkan terdapat
sejumlah larutan yang terpercik dan berlebih karena tidak
terkena substrat [2]
II. METODE PENELITIAN
A. Alat dan Bahan
Adapun alat dan bahan yang digunakan pada percobaan
ini diantaranya kaca preparat yag berfungsi sebagai substrat,
kertas amplas berfungsi untuk menghaluskan sisi substrat,
Mikroskop optik berfungsi untuk mengamati lapisan yang
terbentuk pada substrat, alkohol berfungsi untuk
membersihkan substrat, spin coater berfungsi sebagai alat
yang membuat lapisan tipis, pipet tetes berfungsi sebagai
meneteskan larutan PMMA diatas substrat, hairdryer
berfungsi untuk mengeringkan lapisan yang sudah terbentuk
pada substrat, Software logitec berfungsi untuk mengolah
LAPORAN PRAKTIKUM SPIN COATING (1-5) 01111740000047 1

Gambar 2.1. Skema alat pada spin coater

Gambar 2.2. Skema alat pada mikroskop

gambar lapisan yang diperoleh pada laptop dan larutan

PMMA sebagi bahan pada untuk membuat lapisan pada
substrat.
B. Metodologi
Pada percobaan ini terdapat 3 tahapan yang harus
dilakukan. Pertama yaitu tahap persiapan dimana pada tahap
ini disiapkan alat dan bahan yang digunakan. Kemudian
dihaluskan dua sisi samping kaca preparat dengan amplas.
Setelah itu dibersihkan kaca preparat menggunakan alkohol
70% agar steril. Tahap kedua yaitu tahap fabrikasi lapisan
tipis PMMA. Pada tahap ini diteteskan larutan PMMA
dengan menggunakan pipet pada substrat yang berupa kaca
preparat yang telah halus dan disterilkan. Dimasukkan
Gambar 2.3. Diagram alir
substrat beserta larutannya ke dalam spin coater. Setelah itu
ditekan gas penghisap agar kaca dapat bertahan pada mengalikan ketebalan dalam pixel dengan 1 pixel (µm)
tempatnya. Kemudian dinyalakan spin coater untuk dengan persamaan.
memutar substrat beserta larutannya dengan kecepatan yang
telah ditentukan asisten dalam waktu dua menit. Dibiarkan C. Skema Alat
satu substrat kaca tanpa perlakuan. Tahap ketiga yaitu tahap Adapun skema alat yang digunakan pada praktikum ini
analisa karakteristik lapisan PMMA. Pada tahap ini hasil dapat dilihat pada gambar 1 dan 2.
yang sudah didapatkan diamati menggunakan mikroskop D. Diagram Alir
optik kemudian hasilnya dishoot menggunakan software
Adapun diagram alir dari metodologi diatas dapat dilihat
web cam. Gambar yang tertangkap dipastikan terlihat jelas
pada gambar 2.3.
lapisan dan substratnya. Diambil gambar lapisan pada posisi
awal kemudian geser skala micrometer sebesar 0.05 mm dan E. Persamaan
diambil gambar lapisan setelah digeser. Kemudian dihitung Adapun persamaan yang digunakan pada percobaan ini
konversi jarak 1 pixel dalam satuan micrometer dengan adalah sebagai berikut:
persamaan (pengamatan pixel dilakukan dengan
menggunakan software photoeditor). Dihitung ketebalan pergeseran (0,05 mm)
lapisan dalam pixel dengan mengetahui posisi pixel pada 1 Pixel= ……………………….
pixel 2− pixel 1
batas lapisan dengan software photoeditor. Setelah itu
.......(1)
dihitung ketebalan lapisan dalam micrometer dengan
LAPORAN PRAKTIKUM SPIN COATING (1-5) 01111740000047 1

tebal=∆ pixel x 1 pixel(μm)………………………… terjadi kesulitan dalam proses drying atau pengeringan
(2) lapisan dan akan memakan waktu yang lebih lama dalam
proses pendeposisian. Yang kedua, cairan yang digunakan
harus mempunyai viskositas yang cukup, dalam artian tidak
terlalu tinggi juga tidak terlalu rendah. Maka dari itu,
Tabel 3.1. Data hasil percobaan spin coating
digunakan cairan berupa Larutan PMMA.
Kecepatan Putar
Pixel 1(awal) Pixel 2 (akhir) Terdapat berbagai macam gaya yang dapat diuraikan
(rpm)
1000 605,621 640,456 pada sebelum, saat dan sesudah terjadinya proses pelapisan
1500 508,623 510,412 dengan
2000 443,593 452,395
Tabel 3.3 Data hasil perhitungan spin coating
Tabel 3.2. Data hasil percobaan spin coating Kecepatan Putar
1 pixel Tebal (µm)
Tebal rata- (rpm)
Kecepatan Ketebalan Lapisan (mm)
putar rata (mm) 1000 1,435338022 0,500454524
(rpm) 1500 27,94857462 0,409912428
Ujung Kiri Tengah Ujung Kanan
2000 5,680527153 0,111717034
1000 0,015 1,018 0,013 0,348666667
1500 0,008 0,016 0,02 0,014666667 menggunakan metode spin coating, misalnya gaya berat,
2000 0,013 0,022 0,024 0,019666667 gaya normal, gaya gesek, gaya sentripetal, gaya sentrifugal
dan sebagainya. Namun, pada dasarnya gaya yang
menyebabkan larutan PMMA berpencar dan melapisi
III. HASIL DAN DISKUSI substrat secara rata dan homogen adalah karena adanya gaya
A. Analisa Data sentrifugal dan turbulensi pada saat terjadinya proses spin
Adapun data hasil percobaan spin coating dapat dilihat coating yang dihasilkan dari gerak rotasi dengan kecepatan
pada tabel 3.1 dan tabel 3.2 tinggi. Semakin cepat putaran spin coating, maka lapisan
yang dihasilkan makin tipis. Hal ini dapat terjadi, karena
F. Perhitungan apabila kecepatan putarannya semakin tinggi maka gaya
Pada perhitungam ini akan dilakukan satu contoh sentripetalnya akan semakin besar pula. Sehingga larutan
perhitungan pada data kecepatan putar 1000 rpmdimana lebih cepat merata secara homogen dan semakin lebih tipis
untuk hasil perhitungan data yang lain akan langsung karena gaya tarik permukaan ke sampingnya (menjaui titik
dimaksukkan dalam tabel pusat) semakin besar. Namun, jika kecepatan yang
digunakan terlalu tinggi, akan mengakibatkan sejumlah
Diketahui : Pixel 1 = 605,621 larutan yang terpercik karena gaya berat saat diteteskan
bernilai lebih kecil dari gaya ke samping yang terdapat pada
Pixel 2 = 640,456
rotasi. Hal ini terlihat dari hasil percobaan yang ada pada
Pixel = 0,348666667 tabel 3.3terlihat bahwa ketika kecepatan putarnya semakin
besar maka lapisannya yang terbentuk akan semakin tipisn.
Ditanya : Tebal (lapisan)………..? Pada percobaan ini digunakan substrat berupa kaca.
Digunakannya kaca karena kaca memiliki indek bias yang
pergeseran ( 0,05 mm ) lebih kecil dari larutan PMMA. Atau dapat dikatakan indeks
Dijawab : 1 Pixel=
pixel 2− pixel 1 bias PMMA lebih besar dari kaca sehingga tidak ada
gelombang cahaya yang kembai masuk merambat pada
0,05 mm daerah udara kembali setelah masuk kedalam lapisan tipis
1 Pixel=
640,456−605,621 sehingga dapat dikatakan gelombang mengalami
pemantulan dalam total pada daerah lapisan tipis.
1 Pixel=1 , 435338022 μm Pemanduan dalam total dapat terjadi pula bila sudut datang
lebih besar daripada sudut kritisnya.
tebal=∆ pixel x 1 pixel ( μm ) Faktor-faktor lain selain kecepatan yang dapat
memengaeruhi ketebalan lapisan yang dihasilkan dengan
tebal=0,348666667 x 1,43533802 2 μm metode spin coating ini adalah lamanya waktu perputaran
densitas larutan, viskositas dan titik didih yang berpengaruh
tebal=0 , 500454524 μm
pada penguapan. Selain itu faktor lain yang mempengaruhi
G. Pembahasan ketebalan juga dikarenakan kecepatan putar spin coater.
Pada percobaan spin coating ini, jenis cairan yang
digunakan adalah larutan yang terdiri dari banyak senyawa III. KESIMPULAN
Methyl Methaclarylate (MMA) atau biasa disebut Adapun kesimpulan yang didapatkan setelah dilakukan
larutan Polymethyl Methaclarylate (PMMA) serta praktikum ini yaitu didapatkan bahwa pada saat
menggunakan kaca sebagai substrat. Hal ini dikarenakan kecepatannya 1000 rpm tebal lapisan yang terbentuk sebesar
PMMA memiliki sifat kimia, fisika dan sifat optik yang
0,500454524 µm, saat kecepatannya 1500 rpm tebal lapisan
dimilikinya. Yang pertama, cairan yang digunakan harus
yang terbentuk sebesar 0,409912428 µm dan saat
dapat menguap pada suhu tertentu, jika cairan yang
kecepatannya 2000 rpm tebal lapisan yang terbentuk sebesar
digunakan memiliki titik didih yang terlalu tinggi, akan
0,111717034 µm. Selain itu besar dari lapisan yang
LAPORAN PRAKTIKUM SPIN COATING (1-5) 01111740000047 1

terbentuk dipengaruhi oleh beberapa parameter seperti

kekentalan larutan, laju putaran, waktu putaran dan juga titik
didih dari larutan.

UCAPAN TERIMA KASIH

Saya Miftakhu Surur, selaku penulis laporan ini
mengucapkan terimakasih kepada Allah SWT yang telah
memberikan rahmat dan hidayah-Nya sehingga laporan ini
dapat diselesaikan. Terimakasih pula kepada Bapak Dr.
Sungkono, selaku dosen Fisika Laboratorium II, Amalia,
selaku asisten Fisika Laboratorium II dengan percobaan
Spin Coating, teman-teman, serta pihak-pihak yang telah
membantu, sehingga terlaksananya praktikum dan
terselesaikannya laporan ini pada waktu yang tepat.

DAFTAR PUSTAKA
[1] Wahyuni, Dwi., Sri Rukmini Dew. 2003. “ Penelitian Pembuatan
Polimetil Metakrilat (PMMA)”. Jurnal Teknologi Dirgantara, Vol. 1,
No.2, 22:23.
[2] May, Gray, Light Leigh, Elshazly Dina. 1999. “Spin Coating Theory”.
Georgia Institut of Technology
LAPORAN PRAKTIKUM SPIN COATING (1-5) 01111740000047 1

LAMPIRAN

Gambar 7. 1500 rpm Akhir

Gambar 4. 1000 rpm Awal

Gambar 8. 2000 rpm Awal

Gambar 5. 1000 rpm Akhir

Gambar 9. 2000 rpm Akhir

Gambar 6. 1500 rpm Awal

LAPORAN PRAKTIKUM SPIN COATING (1-5) 01111740000047 1