PROGRAM STUDI TEKNIK KIMIA

UNIVERSITAS AHMAD DAHLAN

YOGYAKARTA

PERANCANGAN PABRIK
POLYCRISTALINE
SILICON
UNTUK PELENGKAP KASUS STUDI MATA KULIAH
PERANCANGAN PABRIK KIMIA 1

DR.-ING. SUHENDRA
SILICON
CRYSTALLINE SILICON

Crystalline silicon (c-Si) adalah bentuk kristal

dari silicon
• multicrystalline silicon (multi-Si) dengan kristal
kecil
• monocrystalline silicon (mono-Si), kristal
kontinyu

Crystalline silicon bahan baku utama yang

digunakan pada teknolongi photovoltaic untuk multi-Si mono-Si
memproduksi sel surya (solar cells).
Industri Polycristlalline Silicon untuk Sel Surya

Batasan materi ini

3
 Proses Diagram Produksi Poly-Si
Poly-Si:Polycristalline Silicon;
Silikon kualitas melaturgi
DCS: H2SiCl2 ;TCS: HSiCl3
(Metallurgical Grade Silicon, MGS, 2N)
STC: SiCl4
1. Proses Hidrogenasi Recycle H2, HCl, STC
2H2 + 3STC + Si → 4 TCS Recycle DCS/ STC
3HCl + Si → TCS + H2

2. Proses pemurnian
Pemisahan DCS/ TCS/ STC dan impuritan lainnya

TCS kemurnian tinggi 4. Proses recovery gas buang

Recycle H2, TCS Pemisahan H2/ HCl/ TCS/ STC
dan bahan kimia lainnya
3. Proses CVD (chemical
vapor deposition) Silicon kualitas solar cell (SG, 9N-11N)
4 TCS → Si (Poly-Si) + 2H2 + 3 STC dan kualitas bahan elektronik (EG, 12 N)
TCS + H2 → Si(Poly-Si) + 3HCl
4
HYDROGENATION – REACTOR / CONVERTER
HYDROGENATION – REACTOR /
CONVERTER
Fugsi H – reactor adalah menghasilkan SiHCL3
(TCS) dari bahan baku SiCl4 (STC) dan H2 pada
suhu sekitar 1100°C.

Di dalam reactor, STC dikonversi secara kontinyu

dengan H2 excess menjadi TCS.

Supply energi/ panas untuk reaksi STC dan H2

dengan electrical graphite heater yang
dikombinasikan dengan heat exchanger grafit

Target operasi: efisiensi tinggi, konsumsi energi

miimal, TCS kemurnian tinggi
 HYDROGENATION – REACTOR / CONVERTER
Thermodynamika dan kinetika
❖Setelah reaksi, process didinginkan dengan sangat cepat (quenching) to untuk mencegah reaksi
samping dari SiHCl3 menjadi STC.
❖ Selain TCS, process gas yang dihasilkan juga mengandung unconverted feed materials dan by-
products seperti hydrogen chloride, low and high boilers.
 HYDROGENATION – REACTOR / CONVERTER

Operational consequences and needs:

•Temperature tinggi (>1000°C) harus dipertahankan untuk mencapai high
reaction yields (kinetic)
•Reactive mixture harus mencapai thermodynamic equilibrium
•Sesudah reaksi off-gas harus didinginkan dengan cepat (quenched) di
dalam graphite heat-exchangers to “freeze”/ membekukan reaksi,
mempertahankan products dan mencegarh reaction balik.
•Efficient cooling menghasilkan yields yang tinggi.
HYDROGENATION – REACTOR / CONVERTER

Thermodynamika dan kinetika

•Campuran (SiCl4/H2) dialirkan ke reactor. Feed gas kemudian dipanaskan di
dalam heat exchangers oleh hot process gas dari reactor. Setelah itu,
dipanaskan hingga 1.100° C oleh electrical graphite heaters. Setelah reaksi,
process didinginkan dengan sangat cepat (quenching) untuk mencegah
reaksi samping dari SiHCl3 menjadi STC.
•Selain TCS, process gas yang dihasilkan juga mengandung unconverted feed
materials dan by-products seperti hydrogen chloride, low and high boilers.

8
SLIM ROD
 DEPOSITION – REACTOR / D-REACTOR
(SIEMENS REACTOR)

❑ Silicon slim rods solar-grade

silicon “ditimbun” (deposited) dari
gas TCS (SiHCl3).

❑ TCS dan hydrogen dikonversi

menjadi polysilicon dengan
chemical vapor deposition (CVD), T
surface dari silicon slim rods 1,100
°C. Kemudian silicon rods
membesar dengan kontinyu
hingga ketebalan 150 mm – 180.

❑ Process deposition berlangsung 3

- 5 hari.
DEPOSITION – REACTOR / SIEMENS
REACTOR
Contoh kualitas produksi solar-grade silicon:

Silicon rod growing rate: up to 1.9 mm/h

Silicon deposition rate: 30 kg/h
Molar ratio H2/TCS: 3.5 mol/mol
Total silicon deposition per run: up to 3,700 kg
Specific energy consumption: 45 kWh/kg Si
Specific energy recuperation: 35 kWh/kg Si
RUANG PRODUKSI
CHLOROSILANES PURIFICATION SYSTEM
Setelah Produk Polycristalline Terbentuk...
TERIMAKASIH
SUHENDRA@CHE.UAD.AC.ID