BAB 3.

DIFRAKSI ELEKTRON
Mavindra Ramadhani

2713 201 202

IGNB Dwistha Prayukti

2714 201 001

Nia Sasria

2714 201 009

INTRODUCTION
Difraksi merupakan metode yang unggul
untuk memahami apa yang terjadi pada level
atomis dari suatu material kristalin
Sinar X, elektron dan neutron memiliki
panjang gelombang yang sebanding dengan
dimensi atomik sehingga radiasi sinar
tersebut sangat cocok untuk menginvestigasi
material kristalin
Berkas electron yang melewati material
kristalin akan terdifraksi dan membentuk pola
difraksi electron
Dari pola difraksi tersebut kita dapat
mengetahui secara langsung struktur kristal
dari suatu material yang belum diketahui
komposisinya. Kemudian secara tidak
langsung mengukur ukuran, bentuk dan
internal stress dari suatu kristal
Dalam melakukan analisis pola difraksi
elektron, 2 parameter penting yang perlu
diperhatikan adalah Geometri pola difraksi

GEOMETRI DIFRAKSI ELEKTRON

Difraksi Bragg
Berkas electron yang menembus kristal
material akan dihamburkan secara elastis dan
tak elastis
Hukum Bragg menyatakan hubungan antara
berkas electron datang dengan jumlah n dan
panjang gelombang yang dihamburkan oleh
kristal (d) pada sudut
kisi
Pada suatu material kristalin memiliki
susunan atom yang terstruktur dan memiliki
orientasi pada suatu bidang kristal yang
dapat dinyatakan sebagai indeks miller (hkl)
Dimana pada suatu kristal kubik dengan
panjang rusuk a nilai jarak spasi antar bidang
(dhkl) dinyatakan sebagai :

Notasi indeks miller berguna sebagai dasar

untuk interprestasi pola difraksi dari electron
yang menembus material kristalin

GEOMETRI DIFRAKSI ELEKTRON

Faktor Struktur
Tiap jenis bidang dalam struktur kristal akan
memiliki jarak spasi dan rapat atom per unit
area yang berbeda, sehingga intensitas difraksi
electron juga akan berbeda tiap jenis bidang
Amplitudo seberkas electron yang terdifraksi
dari bidang hkl dapat dinyatakan :
(rumus 3-5)

Sedangkan factor struktur dinyatakan oleh

persamaan :

Untuk factor struktur dengan amplitudo

hamburan dalam arah tegak lurus atom ( fj() )
dinyatakan oleh persamaan :
(rumus 3-6)

GEOMETRI DIFRAKSI ELEKTRON

Faktor Struktur
Beberapa bidang dapat memberikan
peningkatan berkas yang tak terdifraksi atau
dapat disebut refleksi terlarang (forbidden
reflections) dimana factor strukturnya
berjumlah 0
Misalnya pada kelompok atom [0,0,0],
[0,1/2,1/2], [1/2,0,1/2], dan [1/2,1/2,0] dengan
indeks miller (100) akan menghasilkan nilai 0

(rumus 3-7)

Kombinasi dari factor struktur dan Hukum

Bragg dapat memberikan info mengenai arah
seluruh berkas yang didifraksikan dengan kuat

GEOMETRI DIFRAKSI ELEKTRON

Faktor Struktur

Contoh pada kristal FCC , hanya bidang bidang dengan indeks Miller
seluruhnya ganjil atau seluruhnya genap yang memberikan berkas
berkas terdifraksi
Tabel di atas merupakan bidang bidang dalam struktur kristal FCC
yang memberikan berkas berkas yang terdifraksi sempurna

GEOMETRI DIFRAKSI ELEKTRON

Difraksi di dalam
TEM

Gambar di samping merupakan skema

pembentukan bayangan pada mikroskop
dengan proyeksi 2 langkah
Untuk memahami geometri difraksi electron,
system lensa dapat kita abaikan. Dimana pola
difraksi akan terlihat pada titikm DD dan EE
yang merupakan perpotongan dari seluruh
Seberkas
sinar sinarelectron
paralel yang jatuh pada material
kristalin akan melewati specimen tanpa
interaksi dan menumbuk layar pada jarak L
pada O dan terdapat electron yang terdifraksi
pada sudut 2 dan menumbuk layar pada A
(rumus 3-8)
dengan jarak r dari O ,sehingga
Bila dikombinasikan dengan persamaan Hk.
Bragg :
(rumus 3-9)

POLA POLA NOKTAH DIFRAKSI

Spesimen kristal tunggal akan terorientasi
sedemikian hingga beberapa set bidang yang
paralel terhadap berkas akan menyebabkan
kenaikan pola-pola difraksi yang terdiri atas
susunan reguler noktah-noktah.

Spesimen mengandung beberapa kristal

dengan orientasi berbeda, dimana hanya
bidang-bidang kristal tertentu yang dapat
mendifraksi, ini berarti bahwa jumlah jarak
spasi d dan r pada pola adalah terbatas dan
noktah-noktah tidak terdistribusi secara acak
tetapi jatuh pada cincin.

Spesimen mengandung banyak kristal-kristal

berorientasi acak, dimana noktah-noktah pada
cincin sedemikian dekat satu dan lainnya

POLA POLA NOKTAH DIFRAKSI

Analisis Pola Pola
Difraksi

Analisis pola difraksi dapat digunakan untuk menentukan material tak

dikenal dengan menggunakan jarak antar atom pada kristal yang
digunakan sebagai kisi difraksi.
Pengukuran yang paling akurat adalah dibuat bersama-sama dengan
standar yang telah diketahui parameter kisinya.
Contoh jenis pengukuran :
Kalibrasi konstanta kamera dengan menggunakan lembaran tipis emas
plokristalin, yang sampel-sampelnya dipreparasi dengan evaporasi
emas pada karbon tipis dan memiliki ukuran butir cukup kecil untuk
memberikan pola cincin kontinu.
Pola-pola difraksi kristal tunggal seringkali digunakan untuk menentukan
orientasi kristalografi spesimen di dalam mikroskop terutama untuk
menganalisis cacat-cacat kristalografi di dalam material.

POLA POLA NOKTAH DIFRAKSI

Analisis Pola Pola
Difraksi

Contoh hasil analisis untuk pola difraksi dari kristal tunggal aluminium :
a.Nilai r untuk dua noktah difraksi yang berada dekat pusat pola difraksi diukur.
b.Sudut yang berhadapan dengan dua noktah pada noktah tak terdifraksi diukur.
c. Jika konstanta kamera diketahui maka d1 dan d2 dapat ditentukan.
d.Indeks-indeks noktah difraksi ditentukan dari persamaan 3-5.
e.Kita memiliki kebebasan untuk memilih indeks-indeks spesifik dari satu noktah.

POLA POLA NOKTAH DIFRAKSI

Analisis Pola Pola
Difraksi

Sebagai contoh, kita dapat mengambil noktah 1

sebagai 111. Karena di dalam kasus ini, sudut
adalah 90 dan sistem kristal adalah kubik, kita
mengetahui bahwa vektor perkalian titik dari indeksindeks titik harus nol, dan indeks-indeks noktah 2
oleh karena itu harus ditambahkan hingga nol.

PENGGUNAAN KISI RESIPROKAL DALAM ANALISIS DIFRAKSI

Konsep kisi resiprokal yaitu tiap-tiap bidang real

lattice direpresentasikan dengan sebuah titik yang
berada pada jarak 1/d dari titik awal (O) dan tegak
lurus bidang
Vektor yang menggambarkan posisi dari titik kisi
resiprokal relatif terhadap O dinyatakan sebagai g
dinamakan vektor difraksi
Hubungan dari dua representasi kisi dalam Gambar
3-7 ditunjukkan oleh fakta bahwa jika kita
mengetahui baik kisi resiprokal maupun kisi
sesungguhnya, kita dapat mengkonstruksi kisi
lainnya

PENGGUNAAN KISI RESIPROKAL DALAM ANALISIS DIFRAKSI

Difraksi terjadi dari bidang-bidang yang hampir paralel
terhadap berkas elektron (Gambar 3-8a).
Pola difraksi terdiri dari : titik-titik, dipisahkan oleh
suatu jarak yang proporsional terhdap 1/d, berada satu
garis arah tegak lurus bidang-bidang (Gambar 3-8b).
Kisi resiprokal (Gambar 3-8c) adalah sebaris titik-titik
berjarak spasi 1/d, yang berada tegak lurus terhadap
bidang-bidang.
Pola difraksi adalah potongan terskala yang melalui kisi
resiprokal tegak lurus terhadap berkas.
Kita dapat memperoleh pola difraksi untuk setiap
orientasi kristal dengan mengorientasikan kisi dan
mengambil potongan melalui kisi tersebut.

PENGGUNAAN KISI RESIPROKAL DALAM ANALISIS DIFRAKSI

Konstruksi Bola
Ewald

Hubungan antara kisi resiprokal dan pola difraksi dapat

didemonstrasikan agak lebih formal dengan konstruksi Bola
Ewald
Kristal difraksi direpresentasikan oleh kisi resiprokalnya.
Berkas elektron direpresentasikan oleh sebuah vektor dengan
panjang 1/, paralel terhadap arah berkas, dan berhenti pada
awal kisi resiprokal.
Sebuah bola (Bola Ewald atau Bola Refleksi) beradius 1/
digambar mengitari A.
Bola Ewald lewat melalui sebuah titik kisi resiprokal pada jarak
1/d dari titik awal. Sehingga diperoleh :
Hukum Bragg dipenuhi
oleh konstruksi ini

Jadi difraksi dapat terjadi ketika Bola Ewald menyentuh sebuah

titik kisi resiprokal.

KISI RESIPROKAL DALAM ANALISIS DIFRAKSI

Difraksi dari Sebuah Kristal
Hingga

Beberapa pola difraksi juga terbentuk oleh

struktur kristal yang tidak tepat terorientasi pada
sudut Bragg
Gambar di samping merupakan sebuah diagram
Bola Ewald, yang memiliki selisih sebesar vector
Pada gb (a) seberkas electron yang menembus
s pada kisi resiprokal g
specimen dengan tebal t akan terdifraksi menjadi
beberapa hamburan electron dengan intensitas
total (Ig) dengan nilai :
(rumus 3-10)

(a)

(b
)

g merupakan jarak lenyap (extinction distance)

(rumus 3-11)
dengan nilai :
Hubungan antara intensitas difraksi dengan
deviasi sudut Bragg (s) dapat dilihat pada gb (b)
dimana intensitas difrasi maksimum akan terjadi
bila tidak terdapat deviasi
Tebal specimen (t) akan berpengaruh terhadap
lebar setengah puncak intensitas (1/t)
Sehingga semakin tipis specimen, pola difraksi

KISI RESIPROKAL DALAM ANALISIS DIFRAKSI

Difraksi dari Sebuah Kristal
Hingga

Pada gambar berikut menunjukkan beberapa

kondisi pola difraksi electron dari kristal Si
dengan ketebalan yang makin meningkat dari (a)
ke (d)
Dimana pada specimen (d) terlihat adanya
reduksi dalam jumlah noktah noktah difraksi
sehingga dapat mempersulit mekanisme
interprestasi hasil difraksi elektron

(1)

Pada gambar (2) menunjukkan pola difaksi kristal

paduan Al-Cu yang memiliki orientasi kristal
parallel terhadap berkas electron
Pola difaksi yang terbentuk pada kondisi ini akan
menunjukkan adanya garis strike yang
memotong noktah. Pola ini terbentuk karena
adanya perpotongan antara titik titik kisi
resiprokal dengan Bola Ewald

JENIS JENIS LAIN POLA DIFRAKSI

Pola Pola Garis Kikuchi
Garis Kikuchi terjadi akibat sinar hamburan-tidak
elastis berasal dari titik P dalam spesimen (lihat
gambar), yang kemudian mengalami difraksi
Bragg. Jadi, untuk kumpulan bidang-bidang pada
gambar, elektron yang bergerak dalam arah PQ
dan PR akan terdifraksi sesuai Bragg di Q dan R,
sehingga dihasilkan sinar dalam arah QQ dan RR
Karena elektron dalam berkas RR berasal dari
sinar hamburan PR, intensitas berkas ini lebih
rendah daripada QQ yang terdiri dari elektron
yang dihamburkan pada sudut yang lebih kecil di P.
Karena P merupakan sumber sferis, difraksi ulang
di titik Q dan R menghasilkan kerucut sinar, yang
bila berpotongan dengan film akan menghasilkan
garis yang mendekati garis lurus.

JENIS JENIS LAIN POLA DIFRAKSI

Pola Pola Garis Kikuchi
Garis Kikuchi muncul dalam pola difraksi elektron
transmisi yang relatif tebal karena refleksi Bragg
dari elektron secara inelastic tersebar kristal.
Ada beberapa alternatif garis terang dan gelap
yang berhubungan dengan jarak atom di spesimen.
Pita ini dapat diukur juga ( lebar mereka adalah
terbalik dengan jarak atom )

Gambar 7. Garis Kikuchi lewat langsung melalui titik

ditransmisikan dan difraksi.

JENIS JENIS LAIN POLA DIFRAKSI

Pola Pola Garis Kikuchi

1. Berkas Cahaya
Sejajar

2. Berkas Cahaya
Konvergen

3. Berkas Cahaya
Divergen

JENIS JENIS LAIN POLA DIFRAKSI

Pola Pola Garis Kikuchi
Jika seberkas elektron terpusat (konvergen)
difokuskan pada spesimen, maka noktah difraksi
berubah menjadi piringan-piringan, dan dari analisa
struktur, bisa diketahui ketebalan spesimen,
struktur kristal dan parameter kisi.
Kualitas pola paling baik, jika daerah difraksi
memiliki ketebalan dan uniform orientasi, serta
bebas dari cacat.

JENIS JENIS LAIN POLA DIFRAKSI

Data Pola Difraksi Berkas Elektron
Terpusat (CBED)
Fringes : dibentuk oleh berkas difraski yang kuat. Dapat digunakan
untuk menentukan ketebalan spesimen.
Pola - pola CBED dapat juga digunakan untuk mengukur parameter
seperti tegangan operasi dan ketebalan spesimen.
Dapat digunakan untuk mengukur parameter kisi hingga 1 dalam 104
Pola dapat dipakai untuk memberikan informasi mengenai struktur
kristal, khususnya pola titik dan pola ruang. Informasi bisa diketahui
komposisi kimia yang ditentukan dari EDX. Struktur kristal tersebut
disebut alur Laue (Laue Pattern). Alur Laue ini identik dengan
struktur kristal yang terdapat pada atom penyusun material yang
ditembak sinar X tersebut.

JENIS JENIS LAIN POLA DIFRAKSI

Laue Pattern
Dalam metode back-refleksi, film ini ditempatkan
antara sumber x-ray dan kristal. Sinar yang
terdifraksi dalam arah terbalik dicatat.
Satu sisi kerucut Laue refleksi didefinisikan dari sinar
yang ditransmisikan. Film ini memotong kerucut,
dengan bintik-bintik difraksi berbentuk garis
lengkung (hiperbola)

Film ditempatkan di belakang kristal untuk merekam sinar yang

ditembakkan melalui kristal.

Sisi refleksi kerucut Laue didefinisikan oleh sinar yang

ditransmisikan. Film ini memotong berbentuk kerucut, dengan
bintik-bintik difraksi umumnya berbentuk elips

Memberikan informasi tentang kristal dalam

arah
paralel
terhadap
berkas
elektron
(informasi 2 dimensi)

TERIMAKASI
H