CICHA ENGGATAU
ALAT DAN BAHAN
› Alat-alat yang digunakan dalam percobaan yaitu spektrofotometer
raman, kruss DSA 100, botol semprot, gelas piala, pipet tetes,
termometer, dan jarum suntik.
› Bahan-bahan yang digunakan dalam percobaan yaitu dua resin
komersial NOA 68T (Resin A) dan NOA73 (Resin B), grapheme,
gas hydrogen, lampu, CVD, foil tembaga dan akuabides.
METODE
Sintesis Graphene CVD
Graphene yang telah disintesis dengan metode CVD menggunakan
foil tembaga sebagai substrat dan metana sebagai prekursor karbon
dalam 1 inci tabung kuarsa tungku. Foil tembaga kemudian dimuat ke
dalam tabung kuarsa dan terkena 2 sccm dengan menggunakan gas H2
untuk tekanan total 70 mTorr, sedangkan suhu dinaikkan ke suhu
pertumbuhan, secara optimal 1000°C. Setelah substrat dipanaskan
selama 20 menit, film-film tembaga akan terkena metana ( 450 mTorr)
selama kurang lebih 30 menit, kemuadian CVD dengan cepat
didinginkan sampai suhu ruangan di bawah gas H2 pada suhu di
bawah 100°C sebelum sampel terkena udara.
Transfer CVD Graphene oleh di Polimerisasi In Situ