sumber sinar, yaitu: 1. Analisis yang didasarkan pada penyerapan sinar- X. 2. Analisis yang didasarkan pada pemancaran sinar pendarfluor sinar-X. 3. Analisis yang didasarkan pada prinsip difraksi sinar-X (X-Ray Diffraction, XRD)
Perbedaan mendasar: XRD : penyerapan sinar-X dilakukan oleh atom. IR, UV, Visibel : penyerapan sinar oleh molekul. Sumber sinar-X monokromator sampel slit detektor kolimator Susunan komponen pada spektrofotometer sinar-X Cara memperoleh sinar-X 1. Membombardir target (sasaran, biasanya logam) dengan berkas sinar elektron yang berenergi tinggi. 2. Menyinari suatu bahan dengan berkas primer sinar-X, sehingga dihasilkan berkas sekunder sinar-X yang dikenal dengan pendarfluor sinar-X. 3. Melalui peluruhan bahan radioaktif yang menghasilkan atau memancarkan sinar-X.