Lely Susita RM., Sudjatmoko, Tjipto S., Darsono, Sri Sulamdari, Supardjono
PPNY-BATAN. JI. Babarsari Kotak Pos 1008. Yogyakarta 55010
ABSTRAK
KARAKTERiSASI STRUKTUR lvl/KROSTAINLESS-STEEL HASIL UI'IPLANTASIION NITROGEN. Telah
dilakukan karakterisasi struktur mikro stainless steel austenitik 316L yang diimplantasi dengan ion
lIitrogellellergi 50. 60 don 80 /reV,sedangdosis ion bervariasidari 5 x /O/~ ion-'"",!sampai " .T101'
ionic",!. Perubahan struktur mikro stainless-steel diamati dengan menggunakan mikroskop optik.
Hasi/ pengamatan menunjukkan adanya perubahan ukuran butir setelah implantasi ion nitrogell. Dalam
makalah ini juga disajikan hasi/ perubahan kekerasan sebagai akibat dari variasi energi dan dosis ion.
Dari percobaan yang dilakukan diperoleh hasil bahwa kekerasan optimal dicapai pada energi ion 60 Ice"
dan dosis 2,2 x 1017ion/cm!yaitll sebesar -109knoop.
ABSTRACT
MICROSTRUCTURE CHARACTERiZATION OF STAINLESS-STEEL h'I'IPLANTED BY NITROGE.\'
ION. ,'vlicrostructurecharacteri:ation ofSS 316-L austenitic stainless-steel implanted by nitrogen ion at
energy of 50, 60, 80 keV and ion dose of 5 x lotd ion/cm! to -1.0x 1017ion/cm! has been carried out.
The microstructure change of SS 316-L was observed by means of an optical microscope. From the
observation. it was found that there was a change. in grain si:e after nitrogen ion implantation. The
change of surface hardness due to ion dose and energy variation is also presented in this paper. From the
experiment.. it's was found that the optimal hardness of "09 KHN was achieved at the ion energy of 60
kef' and ion dose of2.2xI0t" ioll/cn/.
listrik. Sedang yang termasuk eara modem adalah dengan perubahan dosis clan energi ion yang dike-
eara yang memanfaatkan teknologi laser, plasma nakan pada material.
clanteknologi implan-tasi ion. Masing-masing eara
mempunyaikelemahan clan keunggulan yang tidak
dimilikisarlIsarna lainnya. TAT A KERJA
Keunggulan utama dari cara teknologi Preparasi Cuplikan
implantasi ion dibanding dengan eara-eara lain-
Bahan cuplikan adalah stainless-steel aus-
nya adalah bahwa selama proses tidak melibatkan
tenitik 316-L berbentuk plat dengan ketebalan 2,5
unsur panas sehingga saar didinginkan tidak akan
mm. Kemudian dipotong menggunakan mesin
timbul thermal stress yang hal ini sangat tidak
gergaji intan atau EDM (Electric Discharge
diinginkan, tidak terjadi distorsi bahan, kedalaman
Machine) dengan ukuran 1,5 em x I em. Sebe-
penyisipan atom dapat dikendalikan dengan akurat lum diimplantasi permukaan bahan terlebih da-
yaitu dengan pengaturan energi ion, kemumian
buIll dihaluskan dengan menggunakan kertas ampe-
atom dapat dikendalikan dengan akurat yaitu
las dari ukuran 80 sampai ukuran 2000.
dengan pengaturan berkas ion menggunakan
Kemudian dilanjutkan dengan proses penghalusan
spektrometer massa clanprosesnyapun bersih karena
menggunakan pasta intan (diamond paste)
dilakukan di dalam ruang hampa.
sehingga diperoleh permukaan yang halos clan
Perbaikan sifat permukaan material dengan mengkilap. Setelah itu untuk menghilangkan ser-
teknik implantasi ion adalah suatu upaya untuk buk kertas ampelas yang masih melekat dilakukan
memperbaiki sifat permukaan material dengan pencucian dengan air, terakhir dimasukkan dalam
eara menyisipkan ion-ion nitrogen energi tinggi larutan alkohol 95 %.
kedalam permukaan material. Dengan l118Suknya
Implantasi Ion
ion-ion nitrogen kedalam permukaan material
berarti akan mengubah struktur mikro pada Implantasi ion adalah suatu proses yang
pennukaan material dengan kedalaman tertentu. dapat mengubah clan memperbaiki sifat-sifat per-
Perubahan struktur mikro tersebut bisa terjadi mukaan suatu bahan, dengan cara menambahkan
karena akibat interaksi ion-ion energi tinggi atom dopan dalam bentuk ion kecepatan tinggi yang
dengan sasaran akan menyebabkan terciptanya dihasilkan oleh akselerator impantasi ion.
pasangan kekosongan (vacancies) clan sisipan
Sesuai dengan namanya, akselerator im-
(imerstitiol1) clan pada kondisi tertentu akan
terbentuk rasa baru yaitu rasa sistim Fe-N. plantasi ion adalah Blat untuk mencangkokkan ion
ke dalam suatu bahan dengan cara mempercepat
Parameter-parameter yang sangat mem- ion dopan sebelum dicangkokkan. Akselerator
pengaruhi basil sesuai dengan yang diinginkan terdiri dari dUB bagian yaitu main accelerator
adalah energi clandosis ion. Energi maksimum ion (bagian utama akselerator) clan optional
yang didepositkan pada material sangat di- accessories (pelengkap akselerator). Yang terma-
pengarllhiolch massa ion clanmassaatomsasaran. suk main accelerator adalah somber ion, sumber
Dan encrgi ion tersebllt akan menentllkan jumlah tegangan tinggi, sistem hamra, tablIng akselerator
pasangan kekosongan clan sisipan yang terbentuk clan sasaran. Sedangyang termasuk optional
clan selanjutnya juga akan menentukan terbentuk accessories adalah lensa kuadrupol, magnet
atau tidaknya rasa bartl, dinamakan rasa kedua pemisah clan penyapu berkas. Ion-ion basil ionisasi
(secondphase). gas dopan di dalam somber ion, dipercepat
dalam tabung akselerator. Berkas ion kemudian
Pada dosis clan energi ion tertentu maka.
dilewatkan pada sebuah lensa kuadrupol agar dapat
efek pada material bisa menimbulkan efek per-
terfokus pada suatu titik yang diinginkan. Untuk
baikan atau justru efek perusakan. Dengan alasan
memperoleh ion dopan yang benar-benar murni,
tersebut maka dalam penelitian ini akan diteliti
seberapa jauh pengaruh dosis clan energi ion maka berkas ion dimasukkan pada magnet
pemisah, selanjutnya mengenai permukaan sasaran
terhadap perubahan struktur mikronya. Untuk di dalam kalak sasaran.
membuktikan bahwa ada korelasi yang sangat erat
antara struktur mikro dengan sifat-sifat mekanik Pada teknik implantasi ion nitrogen ke
maka dalam penelitian inipun juga diukur dalam bahan stainless-steel, energi ion yang
perubahan kekerasan permukaan material sesuai diterapkan sebesar 50, 60, 80 keY clan arus ion
dibuat tetap yaitu 150 J.1A.Oiharapkan pada arus Mesin UGM. Mikroskop optik biasanya tersusun
tersebut dapat diperoleh kondisi yang optimal. alas tiga bagian pokok : (i) pemantul (illuminator),
Sedangkan dosis ion divariasi dengan .cara untuk memantulkan permukaan bahan cuplikan, (ii)
memvariasi waktu implantasi yaitu 10, 30, 50, 70 lensa obyektif, yang memberikan daya pisah, dan
dan 90 menit menurut persamaan (iii) lensa mala (eye piece), untuk memperbesar
It bayangan yang terbentuk oleh lensa obyektif.
N",-
Ae Cuplikan yang akan diamati struktur mi-
kronya dipotong melintang kemudian dimounting
di mana N '" dosis ion (ion/cm2), I = arus ion dengan resin dan selanjutnya dipoles sampai halus.
(ampere), I = waktu implantasi (detik), A '" luas Setelah pemolesan kemudian dietsa dengan bantuan
berkas ion (cm2), e = 1,6 x 10-19coulomb. tarutao kimia yang sesuai (10 ml HCI, 90 ml etanol,
5 gr CuCIz). Proses kimia atau etsa permukaan,
Vji Kekerasan Mikro dapat memberikan banyak gambaran seperti
keteraturan dan ukuran butir, distribusi rase dan
Kekerasan suatu bahan yang diartikan se- cacat-cacat.
bagai ketahanan terhadap penetrasi, memberikan
indikasi sifat-sifat dcformasinya. Alat uji kcke-
rasan menggunakan indentor berbentuk bola kecil, HASIL DAN PEMBAHASAN
piramid atau tirus untuk membuat jejak pada
bahan dengan pembebanan tertentu, nilai keke- HasH Vji Kekerasan Mikro
rasan diperoleh setelah diameter jejak diukur (jika Oalam penelitian ini telah dilakukan
menggunakan piramidajenis Vickers atau Knoop). implantasi ion nitrogen pada permukaan plat
Oalam penelitian ini dilakukan uji keke- stainless-steel ketebalan 2,5 mm yang dipotong-
rasan mikro menggunakan Digital Type Micro- potong dengan ukuran 1,5 cm x I em untuk ber-
hardness Tester MX T 70 milik PAU-UGM. Untuk bagai dosis ion pada energi 50, 60 dan 80 keV.
memperoleh ketelitian yang tinggi digunakan Uji kekerasan mikro sesudah implantasi ion ni-
indentor piramida intan jenis Knoop. Nilai trogen pada stainless-steel dilakukan dengan per-
kekerasan Knoop suatu bahan didefinisikan sebagai alatan Microhardness Tester MX T 70, dan hasil
beban terpasang dibagi dengan luas permukaan uji kekerasan mikro ditunjukkan pada label I.
jejak piramida, dapat dituliskan menurut persamaan Oari data-data pada label ), selanjutnya dibuat
grafik hubungan antara dosis ion nitrogen dan
kekerasan mikro stainless-steel yang ditunjukkan
p p P pada Gambar I.
KHN",-",-", 1423-
Af1 L2C 'L2 Sebelum diimplantasi kekerasan mikro
stainless-steel sebesar 241,45 knoop. Sesudah
P = beban yang diterapkan dilakukan implantasi kekerasan stainless-steel
A = luasjejak yang ditimbulkan oleh beban semakin meningkat dan mencapai kekerasan
L '" panjang diagonal maksimum pada dosis 2,2 x 1017 ionlem~. Hal ini
C '" konstanta untuk sistim penumbuk terjadi karena ion nitrogen bertumbukan dengan
atom target yang menyebabkan kekosongan akibat
Untuk mengetahui perubahan kekerasan pada tergesemya atom tadi dari tempatnya. Jika
bahan, maka dilakukan uji kekerasan mikro kekosongan yang terjadi terisi oleh ion nitrogen
sebelum dan sesudah diimplantasi dengan ion dengan serasi, maka menghasilkan kekerasan yang
nitrogen. maksimum.
Penambahan dosis selanjutnya justru akan
Pengamatan Struktur Mikro menurunkan kekerasan stainless-steel. Hal ini
Struktur mikro suatu bahan dapat diamati disebabkan karena target sudah jenuh sebagai
dengan berbagai tara bergantung pada informasi akibat kekosongan telah terisi penuh oleh ion
yang dibutuhkan. Pengamatan perubahan struktur nitrogen. Keadaan jenuh ini digambarkan sebagai
mikro stainless-steel 316-L sebelum maupun suatu keadaan dimana kombinasi ion nitrogen
sesudah diimplantasi dengan ion nitrogen meng- dalam target sudah tidak serasi lagi.
gunakan mikroskop optik milik Lab. Logam FT.
"'j
Kekerasan, KHN
-461
.
! -?-.ao ""'" ~ 1.410
-\I
-40 0 i- -a-.ao ,
!I
I //
~- c
-"""'"
350 ..,
."-.
.
[
/'
./ ,/' '
~
0
- '
3OOe // <> '"'- ""
I /' ~
V'
a.-:::::::-:::::- --
"g
'
"-
'
..o'f:;"--
I '-<>.,'.,.' .'
I . ' '-~
.ooL ,"
6
0.6
Oosis. lon/cm2 X 1017
Gambar I. Hubungan antara dosis ion don kekerasan pada permukaan.
;.:l~~~if~t
.:.~---L~;1t':"'A:E'~':"
If;~~ffJr;:;J~~~~.
',' ;""~~"~..' """~""~';"'. ~""I"~"":' ".;,'t)
t,:..v./)';~' ;'~-"~::: ~:;"';';.~ .;...::-::- =~.~::',~:~:.'- 7\'.'.=--':.:{~; ;~~.;
'f,"-'~"""'.L.-:::::.',~";,,,""..""" ;.. '-'-"""~"" " ~~f' .".""":
;"~"~"i-~
,~..;:".r ~::;:'4~t..;.;.,:.:."-""'t
:":-t;'"..r':::-.';': JC' ,,.~" ;,.1 .'.-
'T."- ':)oC..,.~.'~
r.;_,.-.""-~"~<:--":::"'~' .-'.~-::.:t;,.'..."j
~-""~ . , ,-~-~,'.'~;"""
,.'--~-'"1 "oW
'I!'~~ :: ,...;').:."..~..,,~ ".,..,.~.;.'t":".~'~,".r',~\""" o.x,;:'
1~5~:j~:[~~~~::;':;.~:~}~~:ti~t~~:"J~::f ;.~;:~~~~;;:-;i
~.:,J;-.::.;,: ;.:,-,.""j::;~l!-"!:-""'",;- c~":':"':'~"4-~~' "7~ r,..~<.,~
.~'f.1JI1~ if~~~~)i~~1~~:1~~~~~~~~'~~~
'"
11
... v
11>
::J
IT
110
III
..'
Gambar 3, Slrllk/ur mikro SS 316-Lyang diimplanlasi pada dosis 2,2 x 10/7don energi 50 keV,
:;
, "'
f..' l ~
Gambar 4, S/ruk/ur mikro SS 3/6-:'"yang diimplantasi pada dosis 2,2 x 10/1 don energi 60 keV,
, '"
ra
.,
~.
3
'C
III v
:;j
,....
III
1/1
~.
Gambar 5. Struktur mikro SS 316-Lyang diimplantasi pada dosis 2.2 X /0/7 dan energi 80 keV.
Sesudah diimplantasi stainless-steel 316-L yang ]ebih tarat. Butir-butir yang lebih rapat
mempunyai struktur seperti pede struktur mikro ini disebabkan ketene bates butir semakin
sebelum diimplantasi tetapi memiliki butir banyak. Makin banyak bates butir kekerasan
austenit yang lebih halos (terlihat jelas pede material makin meningkat.
Gambar 4). Hal ini disebabkan ketene bates butir 3. Terdapat suatu hubungan antara struktur
yang merupakan susunan atom yang tidak teratur mikro dan kekerasan.
scmakin banyak. Karcna kctidak teraturan, make
betas butir merupakan penghalang bagi gerakan UCAPAN TERIMA KASIH
dislokasi. Scdangkan material menjadi lebih
keres bile di dalam material tersebut terdapat Penulis mengucapkan terima kasih kepada:
penghalangyang dapat menahan gerakan disloka- 1. Bapak AI. Sunarto, Bapak Murtijan den
si. Sehingga makin banyak bates butir make Bapak Sumarmo yang telah membantu
kekerasan material makin naik. Hal ini sesuai
dalam pe]aksanaan eksperimen den penulis-
dengan basil uji kekerasan mikro sesudah an makalah ini.
dilakukan implantasi dapat meningkatkan
kekerasan stainless-steel. 2. Laboratorium Logam FT Mesin UGM yang
telah meminjamkan peralatan mikroskop
KESIMPULAN optik.
Hasil implantasi ion nitrogen pada stain- 3. PAU-UGM yang telah meminjamkan. per-
less-steel dengan tenaga ion 50, 60, 80 keY den alateDuji kekerasan mikro
variasi dosis dari 5 x 1016ion/cm2 sampai 5,8 x
1017ion/cm2menunjukkan:
DAFTAR PUSTAKA
1. Terjadi peningkatan kekerasan sebesar 69%
dibanding dengan kekerasan sebelum di- I. FAYEULLE, S., et. aI., "TEM Study of The
implantasi pada tenaga ion 60 keY den dosis Structural Changes of Nitrogen Implanted Iron
2.2 x 1017ion/cI112.
Alloys", Nuclear Instruments and Methods in
2. Struktur l11ikro stainless-steel sebelum di- Physics Research B7/8, ]71-176, 1985.
implantasi terdiri dati butir austenit yang 2. DEARNALEY, G., et. aI., "Microhardness and
pipih memanjang. Sesudah diimplantasi Nitrogen Profiles in Ion Implanted Tungsten
mempunyai struktur seperti sebelum di- Carbide and Steels", Nuclear Instruments and
implantasi tetapi l11el11punyaibutir austenit
Ke Daftar Isi
Lcly Susita R.M., dkk. ISSN 0216.3128