Anda di halaman 1dari 1

Laporan Observasi Laboratorium Plasma

Peak/puncak-puncak yang ditampilkan pada grafik


OES akan menurun ketika DC Bias semakin dinaikkan
Parameter yang digunakan:

1. Tekanan 40 Pa
2. Tegangan 90 Volt
3. Laju Alir 60 ml
4. DC Bias 100-500 Volt
elektroda

Diidentifikasi menggunakan OES


Partikel plasma yang tettarik ke bawah
Ketika plasma banyak yang ditarik ke
bawah, intensitas plasma yang ada di
Plasma banyak yang tertarik atas semakin sedikit
ke bawah (meja sampel)
akibat adanya pengaruh DC Meja sampel
Bias

Plasma nitrogen Vacuum


Chamber
DC Bias
Dengan Sampel (QCM yang telah
dilapisi polystyrene) : Terdapat
spesies N II yang terbentuk,
Tanpa sampel: terdapat spesies Zn II
namun, spesies Zn II tidak
pada panjang gelombang 775.795,2502
terbentuk hal tersebut dapat Hasil
dikarenakan adanya interaksi
plasma nitrogen yang terbentuk
dengan sampel