Judul: Optimization of Polymer Coated Silicon Mincrocantilever for Chemical Sensing

Applications (Optimalisasi Mikrokantilever Silikon Berlapis Polimer untuk Aplikasi

Deteksi Bahan Kimia)
Abstrak
Desain mekanik dan optimalisasi mikrokantilever silikon berlapis polimer (MC) untuk
aplikasi penginderaan kimia telah dipelajari melalui faktor sensitivitas massa sederhana. Untuk
pemodelan teoritis ini, silikon adalah lapisan dasar (substrat) dan lapisan fungsional yang dapat
dipilih sesuai dengan deteksi kimia. Faktor sensitivitas massa dan perubahan konstanta pegas
sebelum dan sesudah reaksi kimia telah dianalisis secara teoritis dengan mengambil minimum
empat ratus sampel dalam setiap studi kasus. Akhirnya, dimensi spesifik dan pedoman untuk
merancang mikrokantilever yang dilapisi polimer sensitivitas tinggi untuk aplikasi penginderaan
kimia berdasarkan studi kasus telah disarankan. Mikrokantilever yang dioptimalkan secara
teoritis dianalisis dengan deteksi uap air dan alkohol primer.

Kata kunci: Mikrokantilever, Frekuensi resonansi, Faktor sensitivitas massa, Konstanta pegas

Pendahulun
Teknologi sensor mikrokantilever (MC) adalah teknik elektrokimia generasi mendatang
dengan sejumlah besar aplikasi dalam deteksi kimia, fisik, dan biologis. Mikrokantilever ini
dapat dibuat menggunakan micromachining silikon massal atau micromachining permukaan
silikon, silikon nitrida atau silikon dioksida. Selain itu, MC memiliki keuntungan membuat array
sensor multi-elemen dan juga dapat diintegrasikan dengan sirkuit elektronik pada chip yang
sama.
Prinsip dasar pengoperasian MC cukup sederhana. Ketika sebuah molekul menyerap di
permukaannya, balok kantilever menikung karena tegangan yang diinduksi ditunjukkan pada
Gambar. 1. Tegangan dihasilkan karena perubahan suhu atau massa. Tikungan kantilever akan
dalam skala nanometer dan dapat diukur, baik sebagai pergeseran dalam frekuensi resonansi
kantilever atau dengan metode defleksi optik. Dalam metode defleksi optik, sinar cahaya dan
dioda laser daya rendah difokuskan pada ujung bebas kantilever dan perpindahannya dapat
diketahui dengan mengukur titik cahaya yang dipantulkan dengan detektor sensitif posisi. Ini
memiliki keterbatasan tertentu seperti reflektifitas cahaya yang buruk, penyimpangan lentur
kantilever yang lama, dan reproduksibilitas dalam pengikatan analit ke permukaan kantilever,
meskipun beberapa kesulitan telah diatasi.

Gambar. 1. (a) Balok tanpa lapisan fungsional yang tidak terpapar bahan kimia (b) Balok dengan lapisan fungsional
yang tidak terpapar bahan kimia (c) Balok dengan lapisan fungsional yang terpapar bahan kimia

Rasmussen et al membuat MC dengan pembacaan piesoresistif. Resistor dan kabel listrik

dienkapulasi menggunakan silikon nitrida dan pemasangan kabel dilakukan melalui titanium
silisida. Film tipis piezoelektrik dapat dengan mudah diterapkan untuk menghasilkan biosensor
resonansi di mana massa tambahan biomolekul target mengubah frekuensi resonansi kantilever.
Film piezoelektrik pada kantilever mengubah energi mekanik menjadi sinyal listrik. Sensor dapat
diproduksi pada skala mikrometer dengan menggunakan teknik litograf.
MC juga dapat dioperasikan dalam mode getaran. Dengan memuat kantilever dengan
massa ekstra, frekuensi resonansi juga berkurang. Davis et al., mengusulkan teknologi baru dari
sistem mikro elektro mekanik (MEMS) ke sistem nano elektro mekanik (NEMS). Ini terdiiri dari
kantilever berukuran nanometer terintegrasi penuh dengan sirkuit CMOS. Frekuensi resonansi
MC secara elektrostatik dapat dipantau dengan mengukur kapasitansi antara kantilever bergetar
dan elektroda paralel dengan tetap menggunakan CMOS terintegrasi. Dengan mengukur
perubahan frekuensi resonansi, perubahan massa dapat diukur. Eksitasi elektrostatik dan deteksi
kapasitif adalah kombinasi paling sederhana dan termudah di antara semua teknik yang mungkin
digunakan untuk eksitasi dan deteksi pada MEMS danNEMS.
Dimensi tipikal kantilever mesin mikro yang tersedia secara komersial dengan panjang
50-200 μm, lebar 10-40 μrn, dan tebal 0,5-5 μrn untuk massa dalam kisaran beberapa nanogram.
Frekuensi resonansi dari kantilever ini berada dalam kisaran beberapa kilohertz hingga beberapa
ratus kilohertz. Tergatung pada dimensi, konstanta pegas kantilever bervariasi dari 0,008-30
N/m. Kantilever yang digunakan untuk tujuan AFM memiliki dimensi dengan panjang 90-460
μm, lebar 35-60 μm, ketebalan 0,7-7,5 μm, gaya konstan 0,01-91 N/m dan frekuensi resonansi 7-
420 kHz.
Karya ini adalah upaya untuk mengoptimalkan faktor sensitivitas massa untuk kantilever
silikon berlapis polimer untuk aplikasi penginderaan kimia. Simulasi dilakukan untuk faktor
sensitivitas massa dan perubahan konstanta pegas sebelum dan sesudah reaksi kimia pada
kantilever ini. Hasilnya memberikan pedoman untuk merancang kantilever mikro sensitivitas
tinggi untuk aplikasi penginderaan kimia.

Analisis
Parameter mekanik dasar kantilever adalah konstanta pegas dan frekuensi resonansi.
Parameter ini sangat penting untuk digunakan dalam AFM. Penopang lunak hanya akan
menekuk karena beratnya sendiri dan kebisingan mekanis dari sekitarnya. Dari hukum Hook
F = -kZ ..... (1)
dengan F = gaya yang diterapkan
k = konstanta pegas
Z = tekukan kantilever
Konstanta pegas untuk kantilever persegi panjang dengan panjang L dinyatakan sebagai
3EI
k= ..... (2)
L
WT³
dengan I = ..... (3)
12

dengan W = lebar kantilever

T = ketebalan kantilever
I = momen inersia persegi panjang
E = modulus Young
Persamaan I dapat digunakan dalam persamaan (2) untuk menentukan konstanta pegas dari
kantilever sederhana, sehingga
EWT³
k= ..... (4)
4L³

dengan E = modulus Young

Frekuensi resonansi balok kantilever persegi panjang dan tipis senilai
k EI
fres = 2π ( λ )1/2 ..... (5)

dengan λ adalah massa jenis linear.

 Pertimbangkan sebuah mikrokantilever dengan panjang Lc, lebar Wc, ketebalan Tcs.
Konstanta pegas dari kantilever bisa dihitung dengan persamaan:
Es Tcs³ Wc
k= (Lc >>> Tcs) ..... (6)
4Lc³

Frekuensi resonansi dari kantilever adalah

k Tcs² Es 1/2
fres = 4π ( ) ..... (7)
3ρs

Deteksi Kimia Berdasarkan Pergeseran Frekuensi Resonansi

Hasil dari analisis teoritis telah disajikan dimana pergeseran frekuensi resonansi balok
kantilever untuk penginderaan kimia telah digunakan. Dalam analisis ini, silikon sebagai bahan
substrat dan lapisan fungsional sebagai polivinil alkohol (PV A), polistirena (PS),
polymethylmethacrylate (PMMA) telah diambil yang sifat mekanisnya tercantum dalam Tabel 1.
Lapisan fungsional dilapisi di atas substrat yang ketebalannya harus kurang dari ketebalan
substrat. Kasus terbalik juga dipertimbngkan untuk analisis di bagian selanjutnya dari bagian ini.

Setelah modifikasi permukaan, karakteristik mekanik perubahan berkas (balok) (beam)

mikrokantilever karena pembentukan lapisan fungsional. Kerapatan massa linear yang
dimodifikasi sekarang akan menjadi :
λf = ρs As + ρf Af ..... (8)
dan kekuatan lenturnya akan didefinisikan ulang sebagai E I = Es Is + Ef If dengan s dan f
mewakili masing-masing lapisan substrat dan fungsional. Sekarang momen inersia dari balok
yang dimodifikasi juga akan berubah menjadi:
Tcs
Is = WcT³cs + WcTcs (Yc - )² ..... (9)
2
Wc T³cs Tcs
If = + WcTcf ( – Tcs + Yc)2 ..... (10)
12 2

dengan Yc = pusat massa

Resonansi baru frekuensi setelah modifikasi permukaan akan memenuhi persamaan:
k Es Is + Ef If 1/2
fnew = 2π( ) ..... (11)
λf

Persamaan ini menunjukkan baik kekakuan dan pemuatan massa mempengaruhi frekuensi
resonansi. Jika kantilever yang difungsikan terkena sampel uap, hasilnya pembengkakan pada
lapisan polimer yang dilapisi pada bagian atas permukaan kantilever. Peningkatan massa
menyiratkan penurunan frekuensi resnonansi, karena berbanding terbalik dengan massa yang
diterapkan. Ini mengubah tegangan permukaan yang menghasilkan tekukan kantilever. Jumlah
massa yang meningkat setelah reaksi berhuhungan langsung dengan jumlah molekul yang
diendapkan atau diserap oleh lapisan fungsional. Sekarang frekuensi resonansi akhir karena
peningkatan massa dapat dinyatakan dengan:
3(Es Is+Ef If)
ffinal = (0.2235 (ρs As+ ρf Af)L+M) L³) ..... (12)

dengan: ρs , ρf = massa jenis substrat dan lapisan fungsional (masing-masing)

As , Af = area penampang substrat dan lapisan fungsional (masing-masing)
M = massa tambahan yang ditambahkan di ujung balok kantilever karena reaksi kimia.
Jika kita tahu rentang massa yang diterapkan selama reaksi, maka kita bisa memperkirakan
pergeseran frekuensi resonansi (Δf) dari persamaan (11) dan (12).
Δf = fawal - fakhir ....(13)
Fabrikasi Kantilever
Bahan yang digunakan untuk membuat kantilever mikromachined adalah silikon, silikon
nitrida, silikon karbida, dan silikon dioksida. Kantilever yang tersedia secara komersial dibuat
dari bahan berbasis silikon yang dilapisi dengan lapisan tipis emas, perak atau aluminium untuk
pembacaan optik yang lebih baik. Kantilever komposit sangat rentan terhadap kebisingan termal
karena efek biomaterial. Meningkatkan rasio ketebalan lapisan substrat dan fungsional dapat
menghilangkan hal ini.
 Prosedur fabrikasi kantilever silikon nitrida sederhana ditunjukkan pada Gambar. 2.
Pengetsaan bahan kimia basah/micromachining telah digunakan untuk membuat mikrokantilever
ini. Pada langkah pertama, lapisan tipis kecil silikon nitrida diendapkan dengan deposisi uap
bahan kimia tekanan rendah (LPCYD) ke tablet silikon kristal sisi ganda yang dipoles. Pada
langkah kedua etsa pola yang dalam disiapkan dalam lapisan silikon nitrida pada sisi non-
kantilever wafer menggunakan photolithography dan pengetsaan ion reaktif. Langkah
selanjutnya adalah pengetsaan permukaan anisotropik dengan KOH sampai wafer silikon
mencapai ketebalan yang dibutuhkan. Bentuk yang diperlukan dicapai dalam silikon nitrida
dengan menggunakan pengetsaan ion reaktif dan lapisan emas dengan ketebalan beberapa
nanometer diendapkan di bagi8an atas kantilever. Akhirnya kantilever diwujudkan dengan
pengetsaan bagian silikon yang tersisa di KOH menggunakan micromachining massal. Pekerjaan
eksperimental sedang berlangsung untuk membandingkan hasil teoritis kami dengan pengamatan
eksperimental.
Hasil dan Pembahasan
Deteksi Uap Air
Deteksi uap air memainkan peran penting dalam banyak aplikasi industri dan metrologi.
Untuk mengoptimalkan kantilever untuk deteksi uap air, kantilever harus dilapisi dengan polimer
yang sensitif terhadap air seperti polivinil alkohol (PVA), karboksi metil selulosa (CMC) dan
polivinil piridin (PVP). Sensor berlapis PVA menunjukkan respon yang lebih besar terhadap uap
air (perpgeseran frekuensi di atas 120 Hz). Frekuensi resonansi kantilever tipikal dihitung
menggunakan prsamaan (10-13) dan yang sama digunakan untuk menghitung faktor sensitivitas
massa. Faktor sensitivitas massa adalah pergerseran frekuensi resonansi pemuatan kantilever per
nanogram.
 Gambar. 3 Variasi faktor sensitivitas massa dengan perubahan nilai massa yang diterapkan berbeda-beda dengan
tebal lapisan substrat mikrokantilever (PVA 500x100x0.1 μm – 10 μm) dan ketebalan lapisan fungsional 2.5 μm

Gambar. 3. menunjukkan grafik diplot antara faktor sensitivitas massa dan massa yang
diterapkan pada kantilever dengan ketebalan yang berbeda. Sebuah lapisan PVA setebal 2,5 μm
pada kantilever telah digunakan sebagai lapisan fungsional untuk menyerap uap air. Hasil
menunjukkan bahwa sensitivitas hampir stabil untung rentang tertentu dari massa yang
diterapkan mulai dari 0,41 nanogram hingga 1 nanogram, untuk kantilever berdimensi panjang
500 μm, lebar 100 μm, dan tebal 1 μm. Untuk semua nilai lainnya, sensitivitas meningkat untuk
massa yang diterapkan kurang dari 0,41 nanogram atau lebih dari 1 nanogram. Perhitungan juga
menunjukkan minimum yang dapat dirasakan oleh kantilever adalah 7,5 pgm (Tabel 2). Ini juga
menunjukkan bahwa pergeseran maksimum dalam frekuensi per nanogram adalah 55,92 Hz.
Kisaran sensitivitas yang stabil menimgkat dengan meningkatnya ketebalan mikrokantilever di
atas 7 μm. Untuk nilai yang lebih tinggi dari 7 μm, itu mulai menurun tetapi sensitivitas menurun
dan juga tidak sensitif terhadap perubahan massa rendah. Oleh karena itu, jika perubahan massa
karena penyerapan molekul air di atas mikrokantilever berada di rentang 0,41 nanogram hingga 1
nanogram maka 500 μm x 100 μm x l μm akan menjadi dimensi yang paling cocok untuk
merancang sensor ini. Demikian pula, sejumlah besar perhitungan telah dilakukan untuk
mengoptimalkan ketebalan dengan menjaga panjang dan lebar sebagai parameter konstan. Hasil
lengkap ditunjukkan pada Tabel 2.
 Gambar. 4 Variasi faktor sensitivitas massa dengan perubahan nilai ketebalan lapisan substrat mikrokantilever
berbeda-beda dengan massa yang diterapkan (PVA 500x100x0.1 μm – 10 μm) dan ketebalan lapisan fungsional 2.5
μm

Gambar. 4 menunjukkan grafik diplot antara faktor sesnsitivitas massa dan ketebalan
mikrokantilever dengan menjaga ketebalan dari lapisan fungsional polivinil alkohol (PVA) yang
ditetapkan pada 2,5 μm. Temuan penting adalah bahwa, jika ketebalan lapisan fungsional lebih
dari ketebalan lapisan substrat, sensitivitas massa negatif. Itu mulai berkurang dengan
peningkatan massa kantilever. Efek terbalik ini disebabkan karena besarnya perbedaan modulus
Young antara substrat dan lapisan fungsional (Tabel 1 dan Gambar. 4). Efek terbalik ini berubah
ketika ketebalan substrat mendekati ketebalan lapisan fungsional. Pengamatan ini menyarankan
untuk menjaga ketebalan lapisan fungsional selalu lebih rendah dari pada kantilever.
 Gambar. 5 Variasi massa minimum yang sangat peka dengan perubahan nilai ketebalan lapisan substrat berbeda-
beda dari panjang kantilever (PVA lebar 100 μm dan ketebalan lapisan fungsional 2.5 μm)

Grafik ketiga pada Gambar. 5 menunjukkan alur massa minimum yang bisa dirasakan
oleh sebuah kantilever tertentu terhadapketebalan kantilever yang menjaga ketebalan lapisan
fungsional setebal 2,5 μm. Dari hasil ini, kita dapat memperkirakan perubahan massa minimum
yang diperlukan oleh sensor untuk menghasilkan sinyal output. Berdasarkan perkiraan ini,
ketebalan lapisan fungsional dapat dipilih untuk dimensi tertentu dari sensor mikrokantilever.
Deteksi Alkohol Primer
Alkohol primer adalah bahan kimia penting lainnya, yang dapat dirasakan di banyak
industri pengolahan makanan dan industri lainnya. Kantilever silikon dioptimalkan dengan
lapisan fungsional dari poli metil metha akrilat (PMMA), polistirena (PS) yang lebih sensitif
terhadap alkohol primer. Respon kantilever terbesar dan tercepat dalam mode statis dan dinamis
diamati dalam metanol, yang merupakan molekul analit terkecil di antara alkohol primer.
Kantilever silikon berlapis PMMA yang terpapar uap metanol menghasilkan 130 pikogram
perubahan massa dan pergeseran frekuensi 20 Hz.
 Respon dari mikrokantilever yang dilapisi PMMA dan polistirena diperlihatkan dalam
gambar 6-11. Gambar. 6 menunjukkan variasi faktor sensitivits massa terhadap massa yang
diterapkan, memiliki ketebalan 2,5 μm lapisan PMMA sebagai lapisan fungsional pada
kantilever. Perhitungan juga telah dibuat dan grafik telah diplot untuk berbagai ketebalan
kantilever terhadap faktor sensitivitas masaa, menjaga ketebalan lapisan fungsional PMMA tetap
pada 2,5 μm, seperti ditunjukkan pada Gambar. 7. Ini juga menunjukkan hasil untuk massa yang
diterapkan berbeda.

Gambar 9-11 menunjukkan variasi yang sama ketika PS telah digunakan sebagai lapisan
fungsional. Hasilnya disajikan dalam Tabel 3 dan 4. Faktor sensitivitas stabil dari 0,3 hingga 0,9
nanogram untuk lapisan fungsional PMMA dan dalam kasus lapisan fungsional PS kisaran stabil
0,35-0,8 nanogram. Pergeseran maksimum dari frekuensi per nanogram adalah masing-masing
206,51 Hz dan 162,60 Hz untuk lapisan fungsional PMMA dan PS. Massa minimum yang masuk
akal dari kantilever ini adalah 3,8 dan 4,4 pikogram untuk masing-masing lapisan fungsional
PMMA dan PS.
 Dari analisis grafis, sangat jelas bahwa lapisan fungsional PS menghasilkan sedikit
pergeseran dalam frekuensi resonansi dan kurang sensitif terhadap perubahan massa rendah.
Oleh karena itu, jika perubahan massa disebabkan karena penyerapan molekul alkohol
primer di atas mikrokantilever berada di rentang 0,3 hingga 0,9 nanogram maka 300 μm x l00
μm x 1 μm akan menjadi dimensi yang sesuai untuk merancang sensor yang dilapisi dengan
PMMA. Demikian pula, kami telah mengoptimalkan dimensi sensor kantilever dengan
memvariasikan ketebalan kantilever dengan menjaga panjang dan lebar sebagai parameter
konstan. Hasil lengkap ditunjukkan pada Tabel 3 untuk nilai dimensi kantilever yang berbeda.
Hasil jenis serupa yang diperoleh dalam studi kasus ini juga. Kita dapat mengamati efek
kebalikan dari Gambar. 7 dan 10. Grafik yang diplot untuk menganalisis massa minimum yang
masuk akal adalah seperti yang ditunjukkan pada Gambar. 8 dan 11.
Kesimpulan
Optimalisasi telah dilakukan untuk pengukuran massa minimum air dan a lkohol
menggunakan alkohol polivinil dan polistirena sebagai lapisan fungsional pada mikrokantilever
berbasis silikon untuk aplikasi penginderaan kimia. Kami telah menunjukkan pengamatan kritis
terhadap pemilihan ketebalan lapisan substrat dan fungsional dari mikrokantilever komposit.