MAKALAH SEMINAR FISIKA

KAJIAN SENSOR ALIRAN GAS BERBASIS MIKROKANTILEVER

UNTUK DETEKSI TINGKAT ALIRAN DAN ARAH

Oleh
Ika Witrosia Putri
Nomor Induk Mahasiswa 06111281621055
Program Studi Pendidikan Fisika
Jurusan Pendidikan Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam

FAKULTAS KEGURUAN DAN ILMU PENDIDIKAN

UNIVERSITAS SRIWIJAYA
2019
 Kajian Sensor Aliran Gas Berbasis Mikrokantilever untuk Deteksi Tingkat
Aliran dan Arah
Ika Witrosia Putri *)

Abstrak

Pengukuran aliran menjadi hal yang penting dalam banyak bidang,

termasuk pemantauan lingkungan, kontrol proses, instrumentasi medis, dan lain
sebagainya. Banyak literatur yang menunjukkan kesuksesan pengaplikasian teknik
MEMS (Micro Electro Mechanical System) untuk pembuatan berbagai sensor
aliran untuk mendeteksi laju aliran serta arah aliran. Dalam makalah yang dikaji,
pembuatannya menggunakan lapisan silikon nitrida, memasang kembali sensor
aliran gas dengan empat balok kantilever yang saling tegak lurus dan dibuat
struktur piezoesistif pada masing-masing kantilever mikro oleh teknologi MEMS
masing-masing. Ketika balok kantilever terbentuk setelah mengetsa wafer silikon,
ia sedikit menekuk karena tegangan sisa yang dilepaskan diinduksi dalam proses
fabrikasi sebelumnya. Ketika udara mengalir melalui sensor hulu dan deformasi
balok hilir dibuat, dengan demikian arah aliran udara dapat ditentukan melalui
campang ketahanan resistensi antara balok kantilever yang berbeda. Laju aliran
juga dapat diukur dengan menghitung variasi resistansi total pada empat
kantilever.

Kata kunci: sensor, mikrokantilever, aliran gas

Pendahuluan

Pengembangan instrumen secara terus-menerus baik dari segi kualitas,

harga maupun keandalannya menjadi keharusan dalam menghadapi kemajuan
teknologi dan persaingan global. Kebutuhan sensor dan sistem sensor bukan
hanya pada bidang industri, namun juga merambah pada bidang lain, seperti
bidang otomotif, pengolahan, bangunan, medis, komunikasi, teknologi informasi
dan bidang lainya. Untuk memenuhi kebutuhan akan otomatisasi, para peneliti di
lembaga riset maupun perguruan tinggi berlomba-lomba untuk mengembangkan
sensor dan sistem sensor baru dengan prinsip dan metoda yang berbeda-beda,
keamanan dan kenyamanan. Sekarang teknologi sensor telah memasuki bidang
aplikasi baru dan pasar yang semakin meluas seperti otomotif dan rumah pintar
atau smart home. Pada waktu yang bersamaan sensor atau sistem sensor juga

2
dituntut untuk dapat mendeteksi fenomena alam, seperti peringatan dini gempa
bumi, tsunami, pemanasan global dan gunung berapi. Besaran-besaran yang
selama ini sulit diukur menjadi tantangan bagai para peneliti dalam
mengembangkan sensor dan sistem sensor. Tantangan lain adalah meningkatkan
nilai informasi sensor dengan menggunakan berbagai macam pengukuran yang
telah dikenal. Dalam pengembangan sensor dan sistem sensor perlu dipilih
prinsip-prinsip pengukuran yang cocok, pengukuran-pengukuran khusus perlu
dikembangkan untuk meningkatkan kemampuan sensor. Oleh karena itu untuk
mendapatkan kemampuan sensor atau sistem sensor yang
optimal perlu dipilih kombinasi yang tepat antara teknologi dengan sistem
pengolah sinyal yang digunakan.

Pengukuran aliran menjadi hal yang penting dalam banyak bidang,

termasuk pemantauan lingkungan, kontrol proses, instrumentasi medis, dan lain
sebagainya. Banyak literatur yang menunjukkan kesuksesan pengaplikasian teknik
MEMS (Micro Electro Mechanical System) untuk pembuatan berbagai sensor
aliran untuk mendeteksi laju aliran serta arah aliran (Adamec dkk. 2003; Kim dkk.
2004; Makinwa dan Huijsing 2002; Ozaki dkk. 2000). Banyak sensor aliran gas
yang digerakkan secara termal menerapkan beberapa bentuk resistor untuk
mengevaluasi perubahan suhu lokal. Dalam sensor tersebut, perbedaan suhu
antara resistor penginderaan bervariasi ketika aliran gas melewati sensor, dan
perbandingan variasi resistansi antara masing-masing resistor memungkinkan arah
aliran gas ditentukan.

Sensor merupakan piranti yang digunakan untuk mendeteksi atau

mengukur besaran-besaran fisis seperti magnetik, radiasi, mekanik, termal,
ataupun besaran kimia yang kemudian diubah menjadi tegangan dan arus listrik.
Kualitas suatu sensor dipengaruhi oleh tiga komponen, yaitu; struktur sensor,
teknologi manufaktur, dan algoritma pengolah sinyalnya. Sensor terdiri dari
transduser dengan atau tanpa penguat atau pengolah sinyal yang terbentuk dalam
satu sistem pengindera. Transduser adalah perangkat yang mengubah suatu bentuk
energi ke bentuk energi lain yang dalam bahasa latin “traducere” memiliki arti
mengubah. Dalam dunia robotika, sensor dapat diibaratkan seperti sebagai mata,
telinga, hidung, kulit, ataupun lidah yang kemudian diolah oleh otak yang dalam

3
hal ini dilakukan oleh kontroller. Terdapat berbagai macam jenis sensor
berdasarkan kategori pengukurannya, seperti pada sensor kecepatan, sensor sinar,
maupun sensor suhu, sehingga fungsinya disesuaikan dengan kegunaan (Fathul
dkk, 2005).

A. Microcantilever

Microcantilever (Mikrokantilever) merupakan suatu struktur mekanik

berbasis teknologi MEMS yang menggunakan metode force probes (titik gaya)
pertama pada sistem AFM (Atomic Forces Microscopy). Daya sensitivitas
mikrokantilever sangat tinggi pada beberapa faktor lingkungan seperti suhu,
kelembaman, noise (kebisingan) dan tekanan yang dibuktikan oleh beberapa
peneliti (Febriansyah, 2014).

B. Bentuk Desain

Gambar 1a, menjelaskan ilustrasi sensor aliran gas. Elektroda yang

digunakan untuk menghubungkan piezoresistor ke meter LCR eksternal untuk
perekaman kontinu dibuat dari emas karena emas memiliki resistivitas lebih
rendah dari platinum, dan karenanya efek resistensi dari timah dikurangi.

(Wang dkk, 2008)

(Ma dkk, 2008)

4
 Gambar 1. a) Ilustrasi skematik sensor aliran gas dengan bentuk silang
konfigurasi kantilever. b) Diagram sensor aliran gas selama operasi penginderaan

Menurut Wang dkk (2007), defleksi kantilever oleh aliran udara dapat diperoleh
dengan menggabungkan efek dari pembebanan terpisah

𝑞𝑎3 𝐹𝑏 2
𝛿𝑡 = 24𝐸𝐼 (4𝐿 − 𝑎) + 6𝐸𝐼 (3𝐿 − 𝑏) ………… (1)

Keterangan:

𝛿𝑡 = defleksi total kantilever

q = intensitas beban seragam pada bagian balok
E = Modulus Young dari kantilever
F = beban terkonsentrasi pada kantilever
a = jarak dari ujung tetap ke beban terkonsentrasi

Perlu diperhatikan bahwa q dan F diterapkan oleh tekanan angin yang dihitung
oleh Persamaan Bernouli:
1
𝑃𝑎𝑛𝑔𝑖𝑛 = 𝜌𝑢𝑑𝑎𝑟𝑎 𝑉 2 𝑎𝑛𝑔𝑖𝑛 ……………….. (2)
2

Keterangan:
𝑃𝑎𝑛𝑔𝑖𝑛 = Tekanan angin
𝑞𝑢𝑑𝑎𝑟𝑎 = Densitas udara
𝑉𝑎𝑛𝑔𝑖𝑛 = Kecepatan aliran udara.

Resistansi R dari piezoresistor diberikan oleh

𝑙𝑅 𝜌 𝑙𝑅 𝜌
𝑅= = ……………….. (3)
𝐴 𝑤𝑡

di mana 𝑙𝑅 adalah panjang resistor, ρ adalah resistivitas, A adalah luas

penampang, w adalah lebar dan t adalah ketebalan. Turunan dari (3) adalah

𝑑𝑅 𝑑𝜌 𝑑𝑙𝑅 𝑑𝑤 𝑑𝑡
= + − − ……………….. (4)
𝑅 𝜌 𝑙𝑅 𝑤 𝑡

𝑑𝑙𝑅
dimana diketahui 𝜀𝑙 = 𝑙𝑅
, 𝑑𝑙 = ∆𝑙, 𝑑𝑤 = ∆𝑤, 𝑑𝑎𝑛 𝑑𝑡 = ∆𝑡 dan maka bias diatur
ulang menjadi
𝑑𝑅/𝑅
≈ (1 + 2𝑣) ……………….. (5)
𝜀𝑙

5
Seperti yang ditunjukkan pada Gambar 1(b), ketika udara mengalir di atas struktur
kantilever, balok dibelokkan yang menyebabkan perubahan pada area penampang,
dan karenanya resistensi dari resistor platinum berubah. Kecepatan dan arah aliran
udara yang sesuai kemudian dapat dievaluasi dan ditentukan hanya dengan
mengukur perubahan resistansi menggunakan pengukur LCR eksternal.

Konfigurasi dan dimensi balok penopang dan resistor platinum

dipertimbangkan dalam penelitian ini. Seperti yang terlihat pada gambar. Pada
gambar 2 (a), pinggiran garis hitam menunjukkan balok kantilever. Pada Gambar
2 (b) area jaring hitam sesuai dengan resistor platinum. Semua unit adalah μm.
Seperti ditunjukkan dalam gambar, sensor aliran gas dirakit dengan empat balok
kantilever yang saling tegak lurus dan diproduksi dengan piezoresistor pada setiap
kantilever mikro.

Gambar 2. Konfigurasi dan dimensi (a) balok penopang dan (b) resistor platinum

C. Proses Pembuatan

Gambar diatas menyajikan gambaran umum dari proses pembuatan yang

digunakan untuk sensor aliran gas micromachined saat ini. Sebelumnya, lapisan
nitrida tegangan rendah 1,0 µm diendapkan di kedua sisi wafer silikon dipoles sisi
ganda dengan tebal 500 μm. Lapisan tipis Cr (0,03 μm) kemudian diendapkan
pada permukaan atas wafer untuk membentuk lapisan adhesi untuk pengendapan
selanjutnya dari resistor platinum. Resistor platinum (ketebalan 0,1 μm)
diendapkan menggunakan proses penguapan berkas elektron. Teknik yang sama
kemudian digunakan untuk menyimpan lapisan Au (ketebalan 0,1 μm) pada

6
resistor untuk berfungsi sebagai elektroda dan untuk menyediakan lead listrik.
Untuk membentuk balok mikro-kantilever, struktur kantilever dan topeng nitrida
back-etsa dipola dalam plasma SF6 RIE. Dalam proses etsa, struktur kantilever
dilepaskan dalam etsa KOH (40% berat, 850 C, dipasok oleh J. T. Baker). Setelah
proses etsa, total ketebalan balok mikro-kantilever adalah 20 μm (nitrida: 1 μm /
silikon: 19 µm) dan balok kantilever menunjukkan efek lentur ke atas sebagai
akibat dari relaksasi tegangan yang disebabkan oleh tegangan termal yang
ditimbulkan oleh pemanasan. Dan langkah pendinginan dilakukan sebelum etsa.
Fenomena ini menyebabkan posisi deformasi sinar awal yang membantu fungsi
penginderaan laju aliran. Untuk meningkatkan keandalan micro-cantilever, sedikit
ketebalan silikon dipertahankan untuk bertindak sebagai struktur bawah. Gambar
4. menyajikan gambar mikroskop elektron pemindaian (SEM) dari struktur berdiri
bebas khas yang dibuat.

Gambar 3. Proses pembuatan untuk sensor aliran

7
 Gambar 4. Gambar SEM sensor aliran gas
D. Prinsip kerja
Investigasi sistematis dilakukan terhadap kinerja sensor aliran gas mikro
buatan. Karakterisasi sensor dilakukan dengan meja putar (LC-PR60, TanLian EO
Co., Ltd., Taiwan) di terowongan angin, dan posisi relatif antara arah aliran udara
dan sensor ditunjukkan pada Gambar 5. Variasi dalam resistansi sensor ketika
aliran udara melewati cantilever diukur menggunakan LCR meter (WK4230,
Wayne Kerr Electronics Ltd., Taiwan). Untuk tujuan referensi, meter aliran
tabung Pitot juga digunakan untuk mengukur kecepatan aliran udara. Dalam
operasi penginderaan, kecepatan aliran udara dideteksi dengan mengukur
perubahan resistansi resistor piezoelektrik yang diendapkan pada balok kantilever
ketika balok berubah bentuk akibat pengaruh aliran udara yang lewat dan arah
aliran udara dapat diperoleh dengan membandingkan perbedaan variasi resistansi
antara balok kantilever hulu dan hilir untuk mengevaluasi sudut aliran udara.

Gambar 5. Posisi relatif antara arah aliran udara awal dan sensor

Untuk pengukuran laju aliran dalam terowongan angin, hubungan antara

jumlah nilai absolut dari variasi resistansi di semua empat piezoresistor pada
balok dan laju aliran ditunjukkan pada Gambar 7. Ini menunjukkan bahwa sebagai
arah aliran udara berada pada arah 1800 atau 1350, jumlah nilai 8ampere dari
variasi resistansi adalah sama dan hanya tergantung pada laju aliran.

8
 Gambar 7. Hubungan antara kecepatan aliran udara dan variasi resistansi
total ketika arah aliran udara adalah 1350, dan 1800

Untuk pengukuran arah aliran, ketergantungan yang kuat dari pengukuran

ditemukan pada pengaturan geometris sumbu sensor. Hal ini diperlukan untuk
memastikan lokasi kantilever yang tepat dengan sudut 900. Ketika aliran udara
melewati sensor aliran gas pada sudut 1800, variasi resistansi terbesar disebabkan
oleh deformasi kantilever melawan arah angin, dan variasi resistansi paling kecil
disebabkan oleh deformasi kantilever melawan arah angin. Variasi resistansi
balok kantilever yang tegak lurus terhadap arah aliran udara 9amper sama dengan
nol. Nilai yang diukur pada laju aliran yang berbeda, 30, 25, 20 dan 15 m / s,
ditunjukkan pada Gambar 8.

Gambar 8. Hubungan antara sudut aliran udara dan variasi hambatan ketika kecepatan
aliran udara adalah (a) 15 m/s [○], (b) 20 m/s [∆], (c) 25 m/s [□] dan ( d) 30 m/s [◊].

Kesimpulan
Pembuatan sensor aliran gas menggunakan lapisan silikon nitrida,
memasang kembali sensor aliran gas dengan empat balok kantilever yang saling

9
tegak lurus dan dibuat struktur piezoesistif pada masing-masing mikrokantilever
oleh teknologi MEMS Dalam operasi penginderaan, kecepatan aliran udara
dideteksi dengan mengukur perubahan resistansi resistor piezoelektrik yang
diendapkan pada balok kantilever ketika balok berubah bentuk akibat pengaruh
aliran udara yang lewat dan arah aliran udara dapat diperoleh dengan
membandingkan perbedaan variasi resistansi antara balok kantilever hulu dan hilir
untuk mengevaluasi sudut aliran udara.

Saran
Penulis menyarankan untuk mengkaji lebih dalam lagi penelitian
mengenai sensor aliran gas terutama sensor berbasis mikrokantilever,
penerapannya dalam kegiatan industri manufaktur serta kelebihan dan kekurangan
dari penerapan sensor aliran gas tersebut.

10
 DAFTAR PUSTAKA

K. A. A. Makinwa, J. H. Huijsing (2002). Constant power operation of a two-

dimensional flow sensor using thermal sigma-delta modulation techniques.
Proc. IEEE-IMTC, Budapest, pp. 1577–1580.

M. Rong-Hua, dkk (2009). A microcantilever-based gas flow sensor for flow rate
and direction detection. Microsyst. Technol., vol. 15, no. 8, pp. 1201–1205.

R. Adamec, D. V. Thiel, P. Tanner (2003). MEMS wind direction detection: from

design to operation, Proc. Institute of Electrical and Electronics Engineers
Sensors Conference, Txfuoronto, pp. 340-343

S. Kim, T. Nam, S. Park (2004). Measurement of flow direction and velocity using
a micromachined flow sensor, Sensors and Actuators A. 114, 312–318.

Y. H. Wang, C. Y. Lee, C. M. Chiang (2007). A MEMS-based Air Flow Sensor

with a Free-standing Microcantilever Structure. Sensors, 7, pp. 2389-2401.

Y. Ozaki, T. Ohyama, T. Yasuda dan I. Shimoyama (2000). An air flow sensor

modeled on wind receptor hairs of insects. MEMS 2000 , pp. 531–536.

Febriansyah, Aan (2014). Piezoresistive Microcantilever sebagai sensor dengan

sensitifitas tinggi. Seminar Nasional Sains dan Teknologi. Jakarta.

Q. Fathul, A.P Juniardi (2005). Transduser Ultrasonik sebagai pendeteksi gerak

pada keamanan rumah. Jurnal Ilmiah Semesta Teknika, Vol. 8, No. 1: 61-
71. Yogyakarta.

11