Diterjemahkan dari bahasa Inggris ke bahasa Indonesia - www.onlinedoctranslator.

com

IEEE JURNAL FOTOVOLTAIK, VOL. 9, TIDAK. 3, MEI 2019 629

Pengembangan Sel Surya PERC

Andrew Blakers

Abstrak—Makalah ini mengulas perkembangan sel surya silikon

pasif emitor dan sel belakang (PERC) pada 1980-an, yang mencatat
beberapa rekor efisiensi, tetapi tidak digunakan secara komersial pada
saat itu. Mengikuti pengembangan ekstensif proses fabrikasi, bahan,
dan alat produksi yang sesuai, sel surya PERC sekarang berada di jalur
yang tepat untuk menjadi sel surya komersial yang dominan. Karena
fotovoltaik (PV) sendiri berada di jalur yang tepat untuk menjadi
teknologi pembangkit energi yang dominan, PERC memiliki dampak
global baik dalam pembangkitan energi maupun pengurangan emisi
gas rumah kaca. Dengan asumsi tingkat pertumbuhan rata-rata
instalasi PV tahunan sebesar 25%, mitigasi PV dari gas rumah kaca akan
mencapai sekitar 5% pada tahun 2022, termasuk 2% dari PERC, dengan
nilai yang jauh lebih tinggi diharapkan nanti di tahun 2020-an.

Ketentuan Indeks—Emitter pasif dan sel belakang (PERC),

fotovoltaik (PV), sel surya silikon.

Gambar 1. PV telah mengalami pertumbuhan eksponensial yang cepat dan berkelanjutan selama beberapa
sayaPENDAHULUAN dekade, sementara teknologi generasi lainnya saat ini mengalami penjualan statis atau dapat diabaikan

Saya
[1]–[7].
N 2017, fotovoltaik surya (PV) merupakan 40% dari penambahan
kapasitas pembangkit listrik baru bersih global dengan fosil, nuklir,
angin, hidro, dan energi terbarukan lainnya yang merupakan keseimbangan
(lihat Gambar 1). PV tumbuh jauh lebih cepat daripada teknologi generasi
Biaya sel surya sebagai bagian dari biaya sistem PV lengkap terus

lainnya dan dapat melebihi setengah dari penambahan kapasitas generasi

turun. Ini karena sebagian besar komponen sistem (seperti

baru bersih global pada tahun 2020.

transportasi, tanah, pagar, struktur pendukung baja, kabel, rangka

Pertumbuhan PV (dan energi angin) yang cepat dan berkelanjutan akan

aluminium, dan kaca) memiliki kematangan komersial yang lebih besar

berdampak besar pada emisi global gas rumah kaca dengan menggantikan
daripada sel surya dan, karenanya, memiliki lebih sedikit peluang untuk

pembangkit listrik batu bara dan gas. Tingkat pertumbuhan rata-rata PV

pengurangan harga. Ini menempatkan efisiensi sel premium, karena

dalam hal penyebaran baru tahunan telah sekitar 30% per tahun selama
peningkatan efisiensi sel memanfaatkan pengurangan biaya di

sepuluh tahun terakhir [1]. Laju pertumbuhan ini, jika berlanjut hingga
sebagian besar rantai nilai dengan mengurangi area komponen yang

tahun 2025, akan menghasilkan PV yang menghasilkan 10% listrik dunia.

perlu digunakan untuk peringkat daya tertentu. Sebaliknya, penurunan
biaya sel yang sesuai dalam dolar per meter persegi memiliki dampak

Selama beberapa dekade, sekitar 90% dari produksi sel surya global yang jauh lebih kecil.

menggunakan desain bidang permukaan belakang aluminium (Al-BSF). Pendekatan seperti sel kontak balik dan heterojungsi menawarkan

Desain sel ini menawarkan efisiensi sedang dan fabrikasi sederhana kinerja tinggi untuk sel komersial (mendekati efisiensi 25%) meskipun

dan andal, serta memanfaatkan pengalaman luas dalam hal alat, dengan biaya yang relatif tinggi dan memerlukan perubahan

bahan, dan prosedur manufaktur. substansial pada teknologi pemrosesan sel industri standar. Desain

Biaya pembuatan sel (terpisah dari polisilikon dan wafer) mewakili emitor dan sel belakang pasif (PERC) menawarkan efisiensi sel

sekitar seperempat dari biaya modul, sedangkan biaya modul sekitar komersial saat ini dan masa depan dalam kisaran 21-24% [8] dan

setengah dari biaya sistem [8]. Dengan demikian, proses fabrikasi sel memerlukan perubahan yang relatif sedikit pada pemrosesan Al-BSF

adalah sekitar seperdelapan dari biaya sistem yang telah selesai. standar. Hal ini memungkinkan peralatan, bahan, dan proses industri

Sebagian besar biaya modul dan sistem bergantung pada area sel yang yang ada untuk terus digunakan.

digunakan dan, karenanya, bergantung secara terbalik pada efisiensi Desain sel surya PERC dengan cepat mendapatkan pangsa pasar di

sel.
Naskah diterima 15 Desember 2018; direvisi 2 Februari 2019; diterima 8
Februari 2019. Tanggal publikasi 26 Februari 2019; tanggal versi saat ini 19
April 2019.
Penulis bekerja di Australian National University, Canberra, ACT 0200,
Australia (e-mail:,andrew.blakers@anu.edu.au ).
Pengenal Objek Digital 10.1109/JPHOTOV.2019.2899460
industri PV. Motivasi utama untuk beralih ke PERC adalah peningkatan
efisiensi dibandingkan dengan sel Al-BSF incumbent. Keuntungan
utama PERC dibandingkan sel Al-BSF adalah pengurangan rekombinasi
permukaan belakang dan peningkatan reflektifitas permukaan
belakang. Menurut Roadmap Teknologi Internasional untuk PV, PERC
merupakan 20% dari industri PV pada tahun 2017 dan akan mencapai
50% dari industri PV global pada tahun 2020-an (lihat Gambar 2) [8].

2156-3381 © 2019 IEEE. Terjemahan dan penambangan konten hanya diizinkan untuk penelitian akademis. Penggunaan pribadi juga diizinkan, tetapi publikasi ulang/redistribusi
memerlukan izin IEEE. Lihat http://www.ieee.org/publications standards/publications/rights/index.html untuk informasi lebih lanjut.
630
Gambar 2. Pangsa pasar di seluruh dunia untuk berbagai teknologi sel silikon.
Dicetak ulang dari [8].
Perpindahan dari ketergantungan pada sel surya multikristalin Al-
BSF yang efisien 18-19% pada tahun 2017 ke PERC monokristalin yang
efisien pada 22-24% pada tahun 2025 menawarkan peningkatan
efisiensi seperempat, yang berarti penurunan substansial dalam harga
listrik dari -sistem PV skala.
Pada tahun 2017, penjualan PERC sekitar 20 GW, yang
merupakan sekitar 8% dari penambahan kapasitas generasi baru
bersih global dari semua sumber. Penjualan kumulatif modul PERC
hingga akhir 2017 sekitar 37 GW dengan nilai sekitar US$16 miliar.
Perhitungan ini menggunakan data volume dan harga historis
untuk PV dan fraksi penjualan PERC [8]. Fraksi PERC yang jauh lebih
besar dan penjualan kumulatif dapat terjadi dalam waktu dekat.
Pada akhir tahun 2017, modul PERC memitigasi sekitar 60 juta ton
CO2 emisi per tahun (sekitar 0,16% dari total global) melalui
perpindahan pembakaran batu bara. Estimasi kasar ini
mengasumsikan keluaran PV tahunan sebesar 1500 kWh per kilowatt
terpasang (rata-rata di seluruh sistem yang dipasang di atap dan di
tanah) dan perpindahan batubara yang memiliki intensitas emisi rata-
rata 1 t karbon dioksida per megawattjam. Industri PV secara
keseluruhan saat ini mengurangi sekitar 2% dari emisi gas rumah kaca
global, dan industri energi angin mengurangi 3%. Dengan asumsi
tingkat pertumbuhan rata-rata instalasi PV tahunan sebesar 25%,
mitigasi PV akan mencapai 5% pada tahun 2022, termasuk 2% dari
PERC, dengan nilai yang jauh lebih tinggi yang diharapkan selama
tahun 2020-an.
Mengingat dampak global dari desain sel surya PERC,
menarik untuk meninjau perkembangan PERC di University
of New South Wales (UNSW) di Australia selama tahun
1980-an.
II. DPERKEMBANGANNYA PASSIVATED EMITTER
DAN RTELINGA CELO
Tahun 1980-an adalah periode peningkatan yang stabil dalam
kinerja sel surya silikon di beberapa laboratorium penelitian. UNSW
memasuki lapangan setelah bekerja untuk mengembangkan sel surya
metal-insulatorsemiconductor (MIS) oleh Green dan Godfrey [9]. Fitur
utama dari sel MIS adalah pasif terus menerus dari permukaan atas
termasuk di bawah kontak logam melalui oksida tipis yang
memungkinkan tunneling arus antara wafer dan logam.
IEEE JURNAL FOTOVOLTAIK, VOL. 9, TIDAK. 3, MEI 2019
Gambar. 3. Penampang sel surya efisien 18% yang dilaporkan. Dicetak ulang dari
[11].
kontak. AVok dari 678 mV (AM0, 25 °C) dilaporkan oleh Blakers dan
Green pada tahun 1981 [10] untuk sel yang menggunakan
kombinasi kontak MIS dan difusi fosfor permukaan cahaya
("metalinsulator-NP (MINP)").
Sel yang efisien 18% dilaporkan oleh Blakers dkk. pada tahun 1984
[11]. Fitur sel adalah substrat zona apung tipe-p 0,1-0,2--cm, difusi
fosfor ringan (>100 per persegi), pasivasi permukaan atas sel
dengan oksida termal, mengurangi kerugian pantulan optik
dengan menggunakan lapisan antirefleksi dua lapis (ZnS/MgF2 ),
dan elektroplating perak untuk mengurangi kerugian resistif
dalam sel. Sel itu memiliki permukaan depan yang dipoles. Untuk
mengurangi rekombinasi pada kontak logam depan (Ti/Pd/Ag), sel
menggunakan desain MINP dan memiliki area kontak sedang
(4,6%). Permukaan belakang terdiri dari lapisan aluminium
paduan. Gambar 3, diambil dari kertas asli, menunjukkan sel dalam
penampang. NSVok adalah 643 mV pada 28 °C.
Peningkatan efisiensi 19% dilaporkan segera setelah itu oleh
Green dkk. [12] untuk sel yang diukur secara independen di
Solar Energy Research Institute (SERI, cikal bakal National
Renewable Energy Laboratory). Desain sel serupa, dan
peningkatan efisiensi berasal dari mengutak-atik proses
fabrikasi sel. Sel-sel terbaik ditiadakan dengan kontak MIS
karena lapisan oksida menambah kompleksitas proses tetapi
tidak meningkatkan efisiensi (pada tingkat sederhana ini).Vok ).
Singkatan "PESC" (sel surya pemancar pasif) diperkenalkan.
Fraksi kontak logam atas (sekitar 1%) lebih rendah daripada sel
MINP 18%, danVok sedikit lebih tinggi pada 653 mV. Baik desain
MINP dan PESC mencapaiVok dari 690 mV (AMO, 25 °C) dalam
sel uji.
Penambahan grooving mikro yang didefinisikan secara fotolitografi
untuk mengurangi pantulan permukaan depan dan memperkenalkan
perangkap cahaya menghasilkan laporan pertama dari sel yang efisien 20%
oleh Blakers dan Green [13] pada tahun 1986. Gambar 4, diambil dari kertas
asli, menunjukkan sel di persilangan. SERI mengukur sel sebagai 20,9%
efisien dengan aVok dari 661 mV pada 28 °C.
Pengembangan sel efisiensi tinggi di UNSW dipandu oleh filosofi
"meningkatkan" Vok fipertama dan faktor arus dan pengisian akan
mengikuti.” Pasifasi permukaan depan menekan rekombinasi dan
memungkinkan voltase naik. Meminimalkan rekombinasi pada
kontak logam depan dicapai dengan meminimalkan berbagai
bidang kontak, dengan menempatkan lapisan pasif tipis
BLAKERS: PENGEMBANGAN SEL SURYA PERC
Gambar 4. Penampang sel surya efisien 20% yang pertama dilaporkan. Dicetak ulang dari
[13].
terowongan oksida antara silikon dan logam, dan dengan
menyebarkan daerah di bawah logam. Area di antara jari-jari
logam (sekitar 99% dari permukaan depan) dipasifkan dengan
oksida termal, yang juga mencegah pelapisan perak pada jari
(yang tumpah di luar bukaan kontak seperti yang diilustrasikan
pada Gambar 4) agar tidak menyentuh silikon.
Sebagai Vok naik di atas 650 mV, menunjukkan bahwa pasif
permukaan depan efektif dan bahwa panjang difusi pembawa
minoritas sebanding dengan ketebalan wafer, perhatian beralih untuk
meminimalkan rekombinasi di permukaan belakang. Permukaan
belakang sel awal ini terdiri dari paduan aluminium—yang disebut
bidang permukaan belakang (BSF). Diketahui (dengan analogi dengan
permukaan depan) bahwa pasivasi oksida (bukan metalisasi) dari
sebagian besar permukaan belakang akan mengurangi rekombinasi.
Dengan demikian, lapisan Al-BSF pada permukaan belakang diakui
sebagai membatasi kemajuan menuju efisiensi sel yang lebih tinggi
karena tingkat rekombinasi yang tinggi dan reflektifitas yang buruk.
Paduan aluminium-silikon adalah lapisan pengambil yang baik,
yang penting untuk mengatasi kebersihan yang buruk dalam
tungku difusi dan oksidasi. Biasanya, paduan terjadi bersamaan
dengan oksidasi pasivasi untuk permukaan depan. Yang penting,
penghapusan langkah paduan aluminium menyebabkan
penurunan kinerja sel karena degradasi masa pakai pembawa
minoritas selama langkah tungku.
Mengurangi area kontak logam-silikon di bagian belakang akan
mengurangi rekombinasi permukaan belakang, dengan analogi dengan
kontak logam area rendah di permukaan depan. Sebuah desain bifacial di
mana logam belakang dibatasi hingga 5-10% dari permukaan, dengan
dielektrik pasif yang menutupi sisa permukaan belakang, adalah salah satu
kemungkinan. Lain adalah untuk memperpanjang logam belakang di
seluruh permukaan belakang untuk membuat cermin yang efektif, tetapi
untuk membatasi fraksi kontak logam dengan memasukkan dielektrik pasif
antara silikon dan aluminium. Tumpang tindih perak berlapis di atas oksida
pasif pada permukaan depan (lihat Gambar 4) sebagian menggunakan
konsep ini. Keuntungan optik dari kaca spion permukaan belakang
berkualitas tinggi sangat menarik.
Pengenalan pemrosesan klorin ke UNSW untuk pengendalian
kontaminasi, awalnya menggunakan HCl terkompresi dan kemudian
menggunakan 111 trikloroetana [14], penting karena masa pakai pembawa
minoritas yang tinggi (~1 ms) kemudian dapat dicapai dengan aman dan
andal tanpa menggunakan pengambil paduan aluminium permukaan
belakang.
631
Gambar 5. Sel PERC. Dicetak ulang dari [16].
Pada tahun 1988, sel yang menjanjikan dengan struktur PERC
dikembangkan, dan efisiensi sel 22-23% dilaporkan oleh Blakers.
dkk. pada tahun 1989 [15]–[18]. Akronim PERC diperkenalkan
sebagai perpanjangan dari akronim PESC sebelumnya. Fitur khas
PERC adalah permukaan belakang, di mana kerugian optik dan
rekombinasi sangat berkurang dibandingkan dengan sel BSF
dengan menggunakan reflektor aluminium di atas dielektrik pasif
belakang. Kontak antara silikon dan aluminium dicapai melalui
susunan lubang kecil di dielektrik yang menutupi sekitar 1% dari
permukaan belakang dengan jarak sekitar 1 mm. Fraksi kontak
belakang dan jarak adalah tradeoff antara rekombinasi dan
kerugian resistensi. Gambar 5 diambil dari kertas asli
menunjukkan PERC pada penampang. Struktur sederhana ini
mampu efisiensi tinggi.
Pada PERC awal, oksida pasif termal ditanam di permukaan
belakang, dan serangkaian lubang kecil dibuka menggunakan
fotolitografi. Aluminium kemudian diuapkan ke permukaan belakang
diikuti dengan sintering dalam pembentukan gas pada suhu 250-400°C.
Piramida terbalik (melalui fotolitografi) dan tekstur piramida acak
diperkenalkan untuk mengurangi kerugian refleksi dibandingkan
dengan alur mikro di "puncak-puncak" yang tidak bertekstur dari alur,
dan untuk meningkatkan perangkap cahaya karena hamburan cahaya
oleh segi piramida ke dimensi ketiga.
Permukaan depan termasuk pemancar fosfor selektif (lebih
berat di bawah kontak logam), lapisan antirefleksi, dan pasivasi
oksida termal. Pasifasi oksida dari permukaan depan dan belakang
ditingkatkan dengan anil aluminium atau anil gas pembentuk
basah pada 400°C, dan tegangan terbaik yang diamati adalah 705
mV.
PERC performa tinggi awal tidak memiliki lapisan p+ di titik kontak
belakang. Ini adalah desain sederhana yang mengambil keuntungan dari
fakta bahwa aluminium non-paduan dapat membuat kontak resistansi
rendah langsung ke wafer tipe-p resistansi rendah (0,1–0,5 -cm) tanpa difusi
permukaan, sedangkan silikon n yang didoping serupa sulit untuk hubungi
begitu sederhana. Fraksi kontak belakang dalam kisaran 0,1–10% bekerja
dengan baik untuk silikon tipe-p dengan resistansi rendah dan kemudian
disempurnakan menggunakan perhitungan resistansi penyebaran.
Kesederhanaan dan kecepatan proses fabrikasi PERC itu penting—ini
memungkinkan kemajuan pesat dibuat. Segera jelas bahwa PERC dapat
menghasilkan tegangan sirkuit terbuka yang tinggi dan lebih baik daripada
alternatif, dan sebuah tim yang terdiri dari enam orang mulai mengerjakan
sel tersebut.
632
Dalam beberapa sel, aluminium dicampur ke dalam silikon pada
kontak titik belakang pada suhu di atas 600 °C. Namun, hasil tanpa
paduan lebih baik, dan pendekatan ini tidak dilanjutkan. Masalah yang
dihadapi termasuk rongga dan kerusakan pada oksida belakang.
Pekerjaan kemudian oleh banyak orang lain telah menghasilkan
metode yang layak secara komersial untuk menerapkan pendekatan
ini, seperti yang dijelaskan dalam Bagian IV.
Jelas bahwa memasukkan difusi boron di permukaan belakang
memiliki potensi untuk lebih meningkatkan kinerja sel, meskipun
dengan mengorbankan kompleksitas tambahan. Difusi boron (dari
sumber padat, film spin-on, dan boron tribromida) mencakup
beberapa persen (emitor pasif, difusi lokal belakang—“PERL”) atau
seluruh permukaan belakang (emitor pasif, difusi total belakang
—“PERT”) dieksplorasi selama 1988. Pada saat itu, ada
pengetahuan yang cukup di UNSW tentang teknik untuk
mempertahankan masa hidup pembawa minoritas selama difusi
boron, dan kinerja sel sedikit di bawah sel tanpa difusi boron.
Beberapa sel dibuat menggunakan substrat tipe-n dengan
kontak MIS di bagian belakang dengan hasil yang tidak berbeda.
Kenyamanan besar dalam menggunakan emitor terdifusi fosfor
yang dipahami dengan baik dan andal pada substrat-p harus
dihindari demi emitor terdifusi boron pada substrat-n. Untuk
alasan ini, fokus tetap pada substrat tipe-p, yang disukai oleh
industri manufaktur PV sepanjang sejarahnya.
Pada 1990-an, perbaikan lebih lanjut untuk sel laboratorium PERL dan
PERT dilakukan di UNSW, yang mengarah ke sel dalam kisaran efisiensi
24-25%, oleh penulis [19]-[23]. Sel-sel ini menampilkan perangkap cahaya
dan kontrol refleksi yang sangat baik, desain kisi yang dioptimalkan untuk
memaksimalkan faktor pengisian, pasif permukaan yang sangat baik, dan
masa pakai pembawa minoritas yang tinggi. Catatan efisiensi sel surya
silikon tetap di UNSW sampai saat ini.
AKU AKU AKU. SayaTERDIGITASI BACK CHUBUNGI DAN BIFACIAL
SOLAR CELLS
Pekerjaan di UNSW disejajarkan dengan pekerjaan di tempat lain
yang mencakup peningkatan pasif permukaan, desain sel, dan fitur
lainnya. Kelompok UNSW mendapat manfaat substansial dari
pekerjaan bersamaan dalam mengembangkan sel bifacial dan
interdigitated back contact (IBC).
Pada tahun 1985, sebuah kejutan Vok 720 mV dicapai dalam
struktur uji yang terdiri dari 50-μm-tebal 0,5-Ω-cm wafer tipe p
dipasifkan dengan campuran silikon dioksida dan silikon
mikrokristalin [24]. P-kontak dibuat dengan logam Ga-In di tepi
wafer. Ini menunjukkan bahwa efisiensi sel yang jauh lebih tinggi
dimungkinkan daripada yang ditunjukkan sampai sekarang.
Cuevas telah meninjau perkembangan sel surya bifacial [25]. Sebuah
inovasi yang dilaporkan pada tahun 1977 oleh Chevalier dan
Chambouleyron adalah perangkat di mana kisi-kisi logam belakang
membuat kontak dengan substrat, sedangkan permukaan belakang
lainnya dipasifkan (dan tidak dilapisi logam) [26]. Kontribusi penting
untuk sel bifacial termasuk difusi permukaan belakang dan
peningkatan efisiensi sel berasal dari Universitas Madrid [27], [28],
Institut Fraunhofer untuk Sistem Energi Surya, Comsat, Solarex, dan
AEG Telefunken. Pada tahun 1988, Knoblochdkk. melaporkan struktur
uji sel bifacial dengan spasi yang luas
IEEE JURNAL FOTOVOLTAIK, VOL. 9, TIDAK. 3, MEI 2019
Gambar 6. sel IBC. Dicetak ulang dari [32].
grid permukaan belakang yang mencakup BSF lokal di bawah grid
dengan pasif permukaan di tempat lain [29].
Struktur MIS baru dan penggunaan dielektrik bermuatan
(aluminium oksida dan silikon nitrida) untuk pasif permukaan
suhu rendah diselidiki oleh Hezel dan Jaeger [30]. Film-film ini
telah menemukan aplikasi luas dan diterapkan pada PERC dan
sel-sel lain di Institute for Solar Energy Research dengan hasil
yang baik [31].
Kelompok penelitian, terutama dari Universitas Stanford dan
Universitas Louvain, mengembangkan sel surya silikon IBC yang sangat
baik selama tahun 1980-an, terutama untuk aplikasi konsentrator [32]–
[35]. Kedua polaritas kontak terletak di permukaan belakang (lihat
Gambar 6) untuk menghilangkan pengaburan cahaya (yang berguna
untuk sel konsentrator). Kelompok-kelompok ini menghadapi masalah
yang sama dengan kelompok UNSW, dan desain perangkat menyatu
dalam banyak hal.
Sel-sel IBC ini menampilkan pasivasi permukaan yang sangat baik
pada kedua permukaan, difusi titik-kontak boron dan fosfor (area kecil)
untuk kontak listrik, substrat yang didoping ringan, masa pakai
pembawa minoritas yang tinggi, tekstur permukaan untuk kontrol
refleksi dan perangkap cahaya, dan pantulan cahaya inframerah oleh
metalisasi permukaan belakang. Efisiensi sel sebesar 22% (denganVok
681 mV) di bawah penerangan satu matahari dan 27,5% di bawah
konsentrasi dilaporkan pada tahun 1986 [32]. Pada tahun 1989, SERI
mengkonfirmasi efisiensi satu matahari sebesar 22,3% danVok 703 mV
untuk sel IBC [34]. Proses fabrikasi sel IBC yang digunakan dalam
penelitian ini cukup rumit. Selanjutnya, versi yang disederhanakan
dikembangkan dan dikomersialkan untuk aplikasi nonkonsentrator
oleh perusahaan SunPower.
Kontrol yang baik atas pemrosesan perangkat dan karakterisasi
terperinci memungkinkan kelompok Stanford untuk mengadaptasi sel IBC
agar memiliki kontak logam pada kedua permukaan (lihat Gambar 7). Pada
tahun 1990, sel kontak bifacial dengan efisiensi 22% danVok 700 mV di bawah
penerangan satu matahari, dan 26% di bawah konsentrasi, dilaporkan [36].
IV. CKOMERSIAL PASSIVATED EMITTER DAN RTELINGA CELLS
Banyak bahan dan proses yang digunakan dalam PERC laboratorium
tidak cocok untuk produksi komersial. Sebuah periode
BLAKERS: PENGEMBANGAN SEL SURYA PERC
Gambar 7. Adaptasi sel IBC untuk kontak logam bifacial. Dicetak ulang
dari [36].
Gambar 8. Sel surya PERC komersial tipikal dengan AlOx /Dosakamu pasivasi belakang dan
kontak belakang Al sablon lokal yang dibentuk oleh pembukaan laser dielektrik belakang.
Dicetak ulang dari [38].
25 tahun berlalu antara sel laboratorium pertama dan produksi
substansial PERC pertama. Selama periode ini, sebagian besar sel
surya komersial dibuat pada substrat silikon tipe-p dengan
permukaan belakang paduan aluminium—pendekatan Al-BSF.
Centrotherm mengumumkan Centaurus PERC pada tahun 2011
yang menampilkan kontak belakang lokal Al-BSF, deposisi lapisan pasif
PECVD pada permukaan belakang, pola laser, dan efisiensi di atas 19%
untuk wafer berdiameter 156 mm [37]. Yang penting, “integrasi yang
mudah dalam teknologi produksi yang ada dan yang akan datang
adalah prasyarat utama” untuk desain sel Centaurus.
Beberapa variasi PERC sekarang dalam produksi
komersial. Ini telah dicapai melalui kontribusi dari banyak
orang dan perusahaan untuk bahan, teknik proses, dan
mesin produksi. Dullweber dan Schmidt telah menerbitkan
ulasan yang sangat baik tentang pengembangan PERC
komersial [38]. Liudkk. [39] baru-baru ini meninjau desain
sel efisiensi tinggi, dan Schmidtdkk. [40] telah meninjau
perkembangan pasif permukaan. Poin-poin penting yang
berkaitan dengan pengembangan PERC komersial
dijelaskan di sini secara ringkas saja. Lihat [38] untuk
tinjauan rinci termasuk referensi asli.
Sebuah PERC komersial khas diilustrasikan pada Gambar. 8. Substrat
adalah silikon boron-doped (tipe-p) tunggal atau multikristalin.
Permukaan depan memiliki tekstur, difusi fosfor, jari-jari perak yang
disablon, dan lapisan silikon nitrida (SiN). Lapisan SiN secara
bersamaan merupakan lapisan antirefleksi dan lapisan pasivasi untuk
daerah di antara jari-jari perak. Desain permukaan depan ini serupa
untuk Al-BSF dan PERC, yang menghindari kebutuhan untuk
mengembangkan alat, bahan, dan proses baru.
633
Sel surya yang dibuat menggunakan wafer tebal dengan panjang difusi
pembawa minoritas yang buruk (kurang dari ketebalan wafer) tidak
mendapat manfaat yang signifikan dari peningkatan pasif permukaan
belakang. Dalam beberapa tahun terakhir, ada kemajuan yang stabil dalam
meningkatkan kualitas wafer dan mengurangi ketebalan wafer, termasuk
melalui peralihan ke penggergajian kawat berlian dan peningkatan
penggunaan wafer silikon monokristalin Czochralski berkualitas tinggi.
Pasifasi permukaan belakang dan reflektifitas optik yang ditingkatkan yang
disediakan oleh desain PERC sekarang membuat perbedaan yang signifikan
(sekitar 1,5% absolut [8]) pada kinerja sel dibandingkan dengan desain Al-
BSF. Kesenjangan ini diperkirakan akan melebar.
Sel laboratorium PERC awal mengeksplorasi beberapa metode
untuk membuat kontak listrik antara aluminium dan silikon di
permukaan belakang, termasuk kontak langsung suhu rendah
tanpa doping (sinter pada 300-400 °C), paduan aluminium (pada
600-800 °C) dan difusi boron [baik pada kontak titik (PERL), atau di
seluruh permukaan belakang (PERT)]. Dari jumlah tersebut,
paduan aluminium terbukti paling efektif secara komersial.
Permukaan belakang sel Al-BSF terdiri dari paduan aluminium
dengan kualitas pasivasi dan reflektifitas optik yang relatif buruk.
Sebaliknya, desain PERC menampilkan lapisan aluminium sablon yang
membuat kontak paduan berkala dengan permukaan silikon. Antara
daerah ini adalah lapisan dielektrik, biasanya aluminium oksida dan
silikon nitrida, yang pasif sebagian besar permukaan belakang dan
juga mencegah aluminium menyentuh silikon kecuali di daerah kontak
(lihat Gambar. 8). Dengan demikian, desain PERC menawarkan
pengurangan rekombinasi permukaan belakang dan peningkatan
reflektifitas permukaan belakang.
PERC asli memiliki SiO2 pasivasi dielektrik pada permukaan belakang. Ini
dapat menjadi masalah untuk produksi komersial karena beberapa alasan:
muatan positif umumnya ditemukan di SiO2 dapat menyebabkan daerah
penipisan atau lapisan inversi tipe-n muncul di permukaan belakang, yang
memiliki efek meningkatkan rekombinasi permukaan belakang; SiO2 dengan
sendirinya tidak dapat dengan mudah menahan langkah pembakaran untuk
pasta aluminium sablon di atasnya; dan oksidasi termal suhu tinggi dapat
menyebabkan degradasi seumur hidup di beberapa substrat. Beberapa
metode telah dikembangkan untuk mengatasi masalah tersebut, antara lain
penggunaan AlOx /Dosakamu . AlOx mengandung muatan negatif, yang
menyebabkan akumulasi lubang dan penipisan elektron di permukaan
belakang, yang membantu pasifasi permukaan belakang; Dosakamu adalah
dielektrik tangguh yang dapat menahan langkah pembakaran untuk pasta
aluminium sablon. Sedangkan SiNkamu sudah banyak digunakan di
permukaan depan sel surya silikon, deposisi komersial AlOx
membutuhkan pengembangan alat-alat baru.
Membuka jendela kontak di dielektrik permukaan belakang di
laboratorium PERCs adalah dengan fotolitografi, yang mahal.
Pengembangan ablasi laser kecepatan tinggi dari dielektrik belakang untuk
membuat bukaan kontak memungkinkan pembuatan pola permukaan
belakang berbiaya rendah. Pekerjaan besar diperlukan untuk
mengembangkan alat dan proses berkecepatan tinggi yang sesuai.
Langkah difusi fosfor dalam produksi sel Al-BSF biasanya mengolesi
permukaan depan dan belakang. Paduan aluminium berikutnya di
permukaan belakang menggantikan doping fosfor permukaan
belakang. Dalam PERC, hanya paduan aluminium lokal yang terjadi
sehingga doping fosfor harus dikecualikan di permukaan belakang.
Proses komersial dikembangkan untuk disimpan
634
dielektrik pelindung pada permukaan belakang sebelum difusi fosfor
atau untuk secara selektif menghilangkan lapisan fosfor belakang
pascadifusi menggunakan proses etsa basah satu sisi.
Logam belakang di PERC laboratorium adalah aluminium
evaporasi, yang bukan merupakan proposisi ekonomis.
Penggantiannya dengan aluminium sablon, mirip dengan sel Al-
BSF, memungkinkan penggunaan teknik produksi massal
terkemuka yang berbiaya rendah.
Silikon dan aluminium membentuk paduan eutektik dalam bukaan
kontak selama langkah pembakaran, dan daerah doping aluminium
tipis dapat terbentuk pada antarmuka antara paduan eutektik dan
sebagian besar wafer silikon. Ini mengurangi resistensi kontak dan
rekombinasi pada titik kontak. Pekerjaan yang cukup besar diperlukan
untuk membentuk kontak paduan aluminium dengan andal, termasuk
pengembangan pasta logam khusus.
V.CKESIMPULAN
Pengembangan PERC dibangun di atas pekerjaan sebelumnya di
UNSW dan di tempat lain dalam pengembangan teknologi sel
surya silikon efisiensi tinggi. Pengembangan paralel dari IBC dan
sel bifacial berkinerja tinggi memiliki banyak kesamaan, termasuk
pemrosesan wafer seumur hidup tinggi, pasivasi dielektrik
sebagian besar permukaan kedua sel, kontak logam area kecil, dan
reflektor permukaan belakang.
Ada kesenjangan 25 tahun antara pengembangan PERC dan
adopsi komersialnya yang meluas. Penggerak kuat untuk sel yang
lebih efisien baru-baru ini muncul karena turunnya bagian biaya
sel sebagai proporsi dari total biaya sistem PV. Teknik yang
memungkinkan pembuatan PERC komersial berbiaya rendah
dikembangkan selama tahun-tahun intervensi oleh banyak orang
dan perusahaan. Kedekatan proses PERC saat ini dan proses Al-BSF
yang lebih lama telah memungkinkan transisi komersial yang
lancar dan cepat ke PERC.
APENGETAHUAN
Dalam meninjau perkembangan PERC pada 1980-an dan
1990-an, fitur yang memuaskan adalah jumlah orang di UNSW
yang diakui sebagai penulis telah memberikan kontribusi yang
signifikan. Dua belas orang berkontribusi besar pada program
sel efisiensi tinggi, termasuk 6 orang yang memberikan
kontribusi besar untuk pengembangan PERC. Diskusi dengan
C. Ballif, A. Cuevas, J. Schmidt, M. Stocks, dan P. Verlinden
sangat kami hargai, demikian juga dengan pengulas formal.
Pendapat yang diungkapkan dalam makalah ini adalah
tanggung jawab penulis.
REFERENSI
[1] Statistik Kapasitas IRENA, 2018. [Online]. Tersedia: http://www.irena.
org/publications/2018/Mar/Renewable-Capacity-Statistics-2018
[2] Laporan Tahunan Ren21, 2018. [Online]. Tersedia: http://www.ren21.net/
[3] Tren Global dalam Investasi Energi Terbarukan, 2018. [Online]. Tersedia:
http://fs-unep-centre.org/sites/default/files/publications/gtr2018v2. pdf
[4] Asosiasi Nuklir Dunia, 2018. [Online]. Tersedia: http://www.world
- nuclear.org/information-library/facts-and-figures/world-nuclear-power
- reaktor-dan-uranium-requireme.aspx
[5] Asosiasi Tenaga Air Internasional, 2018. [Online]. Tersedia: https://
www.hydropower.org/
IEEE JURNAL FOTOVOLTAIK, VOL. 9, TIDAK. 3, MEI 2019
[6] Dewan Energi Angin Global, 2018. [Online]. Tersedia: http://www.
gwec.net/global-figures/graphs/
[7] Boom and Bust, 2018. [Online]. Tersedia: https://endcoal.org/wp-
content/uploads/2018/03/BoomAndBust_2018_r4.pdf
[8] Peta Jalan Teknologi Internasional untuk Hasil Fotovoltaik 2017, edisi ke-9,
Gbr. 41, 2018. [Online]. Tersedia: http://www.itrpv.net/
[9] MA Green dan RB Godfrey, “Sel surya MIS—Teori umum dan hasil
eksperimen baru untuk silikon,” aplikasi fisik. Lett., jilid. 9, hlm. 610–
612, 1976.
[10] AW Blakers dan MA Green, “sel surya silikon tegangan sirkuit terbuka 678
mV,” aplikasi fisik. Lett., jilid. 39, hlm. 483–485, 1981.
[11] AW Blaker dkk., “Sel surya silikon terestrial 18% efisien,” Perangkat Elektron
IEEE Lett., jilid. EDL-5, tidak. 1, hlm. 12–13, Januari 1984.
[12] MA Green, AW Blakers, S. Jiqun, EM Keller, dan SR Wenham, “sel surya
silikon efisien 19,1%,” aplikasi fisik. Lett., jilid. 44, hlm. 1163– 1165,
1984.
[13] AW Blakers dan MA Green, “sel surya silikon yang efisien 20%,” aplikasi fisik.
Lett., jilid. 48, hlm. 215–217, 1986.
[14] R. Sinton, Universitas Stanford, komunikasi pribadi, 1988.
[15] AW Blaker dkk., “Sel surya silikon efisien 22,6%,” di Prok. 4th Int.
fotovolt. Sci. Ind. Kon., Sydney, Australia, Februari 1989, hlm. 801–806.
[16] AW Blakers, A. Wang, AM Milne, J. Zhao, dan MA Green, "sel surya silikon
efisien 22,8%," aplikasi fisik. Lett., jilid. 55, hlm. 1363–1365, 1989.
[17] AW Blaker dkk., “Sel surya silikon efisien 23%”, in Prok. 8 Euro. fotovolt.
Sol. Konf. Energi Pameran., Freiburg, Jerman, September 1989, hlm.
328–329.
[18] MA Hijau dkk., “Karakterisasi sel surya silikon yang efisien 23 persen,” IEEE
Trans. Perangkat Elektron, jilid. 37, tidak. 2, hlm. 331–336, Februari 1990.
[19] J. Zhao, A. Wang, PP Altermatt, SR Wenham, dan MA Green, “24% efisien
sel surya silikon PERL: Perbaikan terbaru dalam penelitian sel silikon
efisiensi tinggi,” Sol. Materi Energi. Sol. Sel, jilid. 41/42, hlm. 87–99,
1996.
[20] J. Zhao, A. Wang, MA Green, dan F. Ferrazza, “19,8% efisien “sarang
lebah” bertekstur multikristalin dan 24,4% sel surya silikon
monokristalin,” aplikasi fisik. Lett., jilid. 73, hlm. 1991-1993, 1998.
[21] J. Zhao, A. Wang, dan MA Green, “24,5% efisiensi sel PERT silikon
pada substrat MCZ dan 24,7% efisiensi sel PERL pada substrat FZ,”
Prog. Fotovolt.: Re. aplikasi, jilid. 7, hlm. 471–474, 1999.
[22] MA Green, “Jalan menuju efisiensi sel surya silikon 25%: Sejarah evolusi
sel silikon,” Prog. Fotovolt.: Re. aplikasi, jilid. 17, hlm. 183–189, 2009.
[23] MA Green, "Emitter pasif dan sel belakang (PERC): Dari konsepsi
hingga produksi massal," Sol. Materi Energi. Sol. Sel, jilid. 143,
hlm. 190–197, 2015.
[24] E. Yablonovitch, T. Gmitter, RM Swanson, dan YH Kwark, “A 720 mV tegangan
rangkaian terbuka SiOx :c-Si:SiOx sel surya heterostruktur ganda,”aplikasi
fisik. Lett., jilid. 47, hlm. 1211–1213, 1985, doi:10.1063/1.96331.
[25] A. Cuevas, "Sejarah awal sel surya bifacial," di Prok. 20 Euro.
fotovolt. Sol. Konf. Energi, 2005, hlm. 801–805.
[26] Y. Chevalier dan I. Chambouleyron, “Mendapatkan lebih banyak daya dari
silikon,” dalam Prok. 1 Eur. Komisi Konf. fotovolt. Sol. Energi, 1977, hlm. 977–
986.
[27] A. Luque, JM Ruiz, A. Cuevas, J. Eguren, dan JM Gomez-Agost, "Sel surya
dua sisi untuk meningkatkan konsentrasi statis," di Prok. 1 Eur. Kon.
fotovolt. Sol. Energi, September 1977, hlm. 269–277.
[28] A. Cuevas, A. Luque, J. Eguren, dan J. del Alamo, "Sel surya bidang permukaan
belakang bifacial efisiensi tinggi," Sol. Sel, jilid. 3, tidak. 4, hlm. 337–340, 1981.
[29] J. Knobloch, AG Aberle, W. Warta, dan B. Voss, "Ketergantungan kecepatan
rekombinasi permukaan pada permukaan sel surya silikon pada intensitas cahaya
yang datang," di Prok. 8 Euro. fotovolt. Sol. Konf. Energi, Florence, Italia, Mei 1988,
hlm. 1165–1170.
[30] R. Hezel dan K. Jaeger, "Pasifasi permukaan silikon suhu rendah untuk
sel surya," J. Elektrokimia. Soc., jilid. 136, hlm. 518–523, 1989.
[31] A. Hübner, AG Aberle, dan R. Hezel, “Sel surya silikon bifacial baru yang hemat
biaya dengan efisiensi depan 19,4% dan belakang 18,1%,” aplikasi fisik. Lett.,
jilid. 70, hlm. 1008-1010, 1997.
[32] RA Sinton, Y. Kwark, JY Gan, dan RM Swanson, “sel surya konsentrator
silikon 27,5 persen,” Perangkat Elektron IEEE Lett., jilid. EDL-7, tidak. 10,
hlm. 567–569, Oktober 1986.
[33] P. Verlinden, RA Sinton, dan RM Swanson, “Sel surya konsentrator kontak
belakang area luas dengan efisiensi tinggi dengan interkoneksi bertingkat,”
Int. J. Sol. Energi, jilid. 6, hlm. 347–366, 1988.
[34] RR King, RA Sinton, dan RM Swanson, “Permukaan yang didoping dalam satu
matahari, sel surya kontak titik,” aplikasi fisik. Lett., jilid. 54, hlm. 1460-1462, 1989.
BLAKERS: PENGEMBANGAN SEL SURYA PERC
[35] RA Sinton dan RM Swanson, “Sel surya kontak belakang yang disederhanakan,”IEEE
Trans. Perangkat Elektron, jilid. 37, tidak. 2, hlm. 348–352, Februari 1990.
[36] A. Cuevas, RA Sinton, NK Midkiff, dan RM Swanson, “sel surya konsentrator
titik persimpangan efisien 26 persen dengan kisi logam depan,”
Perangkat Elektron IEEE Lett., jilid. 11, tidak. 1, hlm. 6–8, Januari 1990.
[37] KA Münzer dkk., “Sel surya pasif dan kontak lokal sisi belakang dengan
pemancar selektif yang disebarkan laser,” Prosedur Energi, jilid. 15, hlm. 1–9,
2012.
[38] T. Dullweber dan J. Schmidt, "Sel surya silikon industri menerapkan konsep
emitor pasif dan sel belakang (PERC)—Sebuah tinjauan," IEEE J. Fotovolt.,
jilid. 6, tidak. 5, hlm. 1366-1381, September 2016.
[39] J. Liu, Y. Yao, S. Xiao, dan X. Gu, "Tinjauan status perkembangan sel
surya silikon kristalin efisiensi tinggi," J. Fisik. D: Aplikasi fisik., jilid. 51,
2018, Pasal. tidak. 123001.
[40] J. Schmidt, R. Peibst, dan R. Brendel, "Pasifasi permukaan sel surya
silikon kristal: Sekarang dan masa depan," Sol. Materi Energi. Sol. sel,
jilid. 187, hlm. 39–54, 2018.
635
Andrew Blakers menerima B.Sc. gelar dari
Australian National University, Canberra, ACT,
Australia, pada tahun 1978, dan Ph.D. gelar dari
University of New South Wales, Sydney, NSW,
Australia, pada tahun 1984.
Dia adalah Profesor Teknik di Universitas Nasional
Australia. Dia adalah seorang Humboldt Fellow dan
telah memegang Australian Research Council QEII dan
Senior Research Fellowships. Minat penelitiannya
meliputi sel surya fotovoltaik silikon dan sistem energi
terbarukan.
Dia adalah Anggota Akademi Ilmu Pengetahuan dan Teknik
Teknologi, Institut Energi, dan Institut Fisika. Dia adalah Public Policy
Fellow di Australian National University.