Tabel 1.1
Tabel 1.2
1.2 Macam-macam padatan
Tujuan: mengambarkan tiga penggolongan dari padatan: amorphous,
polikristalin, dan kristal tunggal.
Dalam sesi 1.1, kita membuat daftar sederhana pelbagai material
semikonduktor. semikonduktor digunakan dalam perangkat tersediri atau
pembuatan IC pada umumnya merupakan material kristal tunggal, hal ini
sangat berharga saat mebahas pelbagai macam struktur kristal. Kita akan
gambar 1.1
Sebuah daerah kosong adalah sebuah bangun ruang dimana dalam
atom-atom atau molekul memiliki sebuah ruang geometri tetap atau
berubah. Material amorphous memiliki daerah kosong hanya sampai
ukuran beberapa atom atau molekul saja, sementara itu material
polikristalin memiliki lebih banyak daerah kosong diatas kebanyakan
ruang atom atau molekul. Pengosongan daerah ini, atau daerah kristal
tunggal, dengan cara merubah ukuran dan arahnya yang saling
berhadapan. Daerah kristal tunggal dinamakan butiran dan saling terpisah
yang dibatasi antar butirnya. Material kristal tunggal idealnya memiliki
sebuah kadar kosong yang tinggi atau geometri yang konstan, diseluruh
bagian bangunan dari material. Kelebihan dari material kristal tunggal
adalah pada umumnya sifat elektrikalnya lebih unggul dari kesemua
material yang bukan kristal tunggal, kecenderungan terpisahnya butiran
menyebabkan turunnya sifat khas keelektikannya. Dua dimensi dari
material amorphous, polikristalin dan kristal tunggal ditunjukan gambar
1.1.
1.3 jarak pola-pola geometris molekul-atom
Tujuan: mengambarkan dasar struktur kristal, kristal datar, dan
struktur intan.
Sebuah kesatuan sel merupakan volume terkecil dari kristal yang dapat
digunakan untuk menghasilkan seluruh kristal. Sebuah satuan sel tidak
seluruhnya khas. Gambar 1.3 menunjukan beberapa kemungkinan dari
kesatuan sel dalam sebuah pola geometri dua dimensi.
Kesatuan sel A dapat diartikan sebagai arah a2 dan b2, kesatuan sel B
dapat dirtikan sebagai arah a3 dan b3, dan keseluruhan pola geometris
dua dimensi dapat menjadi pengabstrakan oleh pengertian dari salah satu
dari kedua kesatuan sel ini. Kesatuan sel C dan D dalam gambar 1.3 dapat
digunakan untuk mebangun seluruh pola geometri dengan menggunakan
pengertian yang tepat. Pembahasan dari kesatuan sel dua dimensi dapat
mudah diperluas untuk tiga dimensi dalam pengambaran sebuah material
kristal tunggal yang sebenarnya.
Sebuah sel sederhana adalah kesatuan sel terkecil yang dapat menjadi
pengulangan pembentukan dari pola geometri. Dalam kebanyakan kasus,
hal tersebut sangat tepat digunakan untuk sebuat kesatuan sel jika bukan
sebuah sel sederhana. kesatuan sel mungkin dapaat dipilih jika memiliki
gambar
1.5
1.3.2 struktur dasar kristal
Sebelum kita membahas kristal semikonduktor, mari kita tinggalkan
pertimbangan tiga bentuk struktur kubus dasar, gambar 1.5 menunjukan
struktur dari kubus sederhana, kubus pusat badan, dan kubus pusat
tengah sisi. Contoh untuk kubus sederhana, kita daapt memilih kesatuan
sel seperti vektor umum a, b dan c yang tegak lurus antar titik sel dan
panjangnya sama. Struktur kubus sederhana (se) memiliki sebuah atom
yang berada disetiap sudutnya, struktur kubus pusat badan (bcc) memiliki
sebuah tambahan atom di tengah dari kubus, dan struktur kubus tengah
sisi muka (fcc) memiliki sebuah tambahan atom di tengah setiap sisi
kubus.
Dengan mengetahui struktur kristal dari sebuah material dan dimensi
pola geometrinya, kita dapat menentukan beberapa sifat khas dari kristal.
Sebagai contoh, kita dapat menentukan kepadatan volum dari atom.
Contoh 1.1
Sasaran
Menentukan kepadatan volum dari atom-atom di dalam sebuah kristal.
Dengan menganggap sebuah material kristal tunggal adalah kubus
tengah sisi muka (fcc) dengan pola geometri tetap a0 = 5 = 5 x 10-8 cm.
Atom disetiap sudut terbagi oleh delapan unit sel yang bertemu disetiap
sudutnya, jadi setiap atom disudut berlaku menyumbangkan
seperdelapan dari volumenya untuk setiap kesatuan sel. Delapan atom
disudut menyumbangkan sama seperti satu atom untuk satu sel. Atom
setiap sisi dibagi oleh dua kesatuan sel yang bertemu disetiap sisinya, jadi
setiap sisi atom berlaku menyumbangkan setengah dari volumnya untuk
setiap satu sel. Keenam atom sisinya menyumbangkan sama seperti tiga
atom untuk setiap satu sel. Setiap kesatuan sel dari kubus pusat sisi muka
berlaku berisi empat atom.
Penyelesaian
Kepadatan volum dari atom berdasarkan pembagian jumlah atom dari
satu unit dengan volume kesatuan sel, atau
Kepadatan volum =
4 atom
a 30
4
(5 x 108 )3
( 1p , 1q , 1s )
gambar 1.6
Soal latihan
Latiahn 1.2 sebuah bidang datar merupakan kristal kubus sederhana
yang digambarkan seperti bidang datar (132). (a) apakah penghalang di
garis a, b, dan c. (b) buatkan bagan bidang datar tersebut. (jawaban (a)
p=6, q=2, s=3).
Setiap sisi bidng datar dari struktur kubus ditunjukan di gambaar 1.8
yang kesemuanya sama. Bidang datar ini digabungkan bersama-sama dan
dihalangi menjadi {100} kumpulan bidang datar.
Kita mungkin selalu mempertimbangkan bidaang datar yang di
tunjukana di gambar 1.b dan 1.8c. Penghalang dari bidang datar
ditunjukan di gambar 1.8b adalah p=1, q=1, dan s=. Pendapat Miller
membangun dengan memberikan timbal balik dari penghalangan ini dan
sebagai hasilnya bidang datar ini menghubungkan ke bidang datar (110).
Pada normaalnya, bidang datar ditunjukan di gambar 1.8c yng
menghubungkan kebidang datar (111).
Satu ciri khas sebuah kristal dapat menentukan jarak diantara bidang
datar sama yang terdekat. Ciri khas lainnya pemusatan permukaan dari
atom, jumlah sentimeter persegi (#/cm2),hal ini merupakan pemotongan
dengan sebuah bidang datar khusus. Kemudian, sebuah kristal tunggal
semikonduktor terbatas luasnya dan harus menghubungkan beberapa
permukaan. Kerapatan permukaan dari atom mungkin menjdi penting,
contohnya, menentukan bagaimana material lainnya, seperti sebuah
isolator, akan patut dalam permukaan dari sebuah material
semikonduktor.
Contoh1.3
Tujuan
Menghitung kerapatan permukaan dari atom dalam bidang datar
khusus di kristal.
Mempertimbangkan struktur kubus pusat sisi dan bidang datar (110)
ditunjukan di gambar 1.9a. Anggap atom dapat diwakilkan seperti bola
pejal yang atonya saling besentuhan dan pola geometrinya tetap = 4,5
= 4,5 x 10-8 cm. Gambar 1.9b menunjukan bagaimana atom dipotong
dengan bidang datar (110).
Atom setiap sudut dibagi dengan empat bidang geometri yang sama
besar, jadi setiap sudut berlaku membagikan seperempat dari daerahnya
untuk bidang geometrinya, yang ditunjukan dalam gambar. Empat atom
sudut berlaku membagikan satu atom untuk bidang geometrinya. Atom di
setiap bidang sisi dibagi dua bidang geometri yang sama besar, jadi
setiap atom sisi berlaku membagikan setengah dari daerahnya untuk
bidang geometriny yang ditunjukan dalam gambar. Dua atom sisi berlku
membagikan satu atom untuk bidang geometrinya. Bidang geometri dig
mbar 1.9b yang berisi dua atom.
gambar 1.9
Penyelesaian
Kita menemukan keraptan permukaan dengan membagi jumlah atom
geometrinya dengan luas permukaan atau dalam kasus ini
Kerapatan permukaan =
a0 2
(a0)
2 atom
(4,5 x 108)2
2
[hkl] yang tegak lurus dengan bidang [hkl]. Garis tegak lurus ini mungkin
tidak ada di geometri bukan kubus.
gambar 1.10
Contoh 1.4
Tujuan
Mengambarkan sebuah arah di sebuah pol geometri dan disesuaikan
bidang geometri.
Mempertimbangkan arah geometri yang ditunjukan di gambar 1.11.
Menggambarkan aarah pola gemotri ini dan disesuaikan bidang
geometriny yang tegak lurus dengan arahnya.
Penyelesaian
Arah dari vektor ditunjukan tang digambarkan dengan komponen dari
vektor, atau p=2, q=4 dan s=1 atau arah [241].
Bidang tegak lurus dengana arah digambarkan seperti bidang [241].
Penghalang dari bidang datar yang dibangun dengan mengambil timbal
balik dari (241) dan mengalikan dengan yang diwakili terkecil bilangan
pecahan. Kita dapatkan
1 1 1
, ,
( 2 4 1 )
(2, 1, 4)
Atau p=2, q=1 dan s=4. Bidang ini ditunjukan di gambar 1.12 dan
tegak lurus dengan vektor yang ditunjukan di gambar 1.11.
Latihan soal
Latihan 1.4 gambarkan arah geometri yang ditunjukan di gambar 1.13
dan disamakan dengan bidang geometri yang tegak lurus dengan
arahnya. (jawaban arah [113], bidang (113) dengan penghalang p=3, q=3
dan s=1).