berkisar antara 1% sampai dengan 2% dan unsur lainnya < 1%.Untuk keperluan rutin analisis
ICP-MS terhadap unsur tanah jarang cukup cepat dan teliti.
Nisbah isotop Pb dan Sr dapat ditentukan dengan menggunakan sistem ICP-MS dengan
ketepatan (accuracy) sebesar 2,5% sampai dengan 4,4%. Pada umumnya ketepatan dan
ketelitian pengukuran sistem ICP-MS < 5%.