LATIHAN 2 EMMY NOVIARINI N.

SEM 176100100111026
S2 THP
KELAS A2
NO. ABSEN : 13

1. Jelaskan komponen peralatan mesin SEM!

1) Electron gun menghasilkan electron beam dari filamen. Pada umumnya electron gun yang
digunakan adalah tungsten hairpin gun dengan filamen berupa lilitan tungsten yang berfungsi
sebagai katoda. Tegangan yang diberikan kepada lilitan mengakibatkan terjadi pemanasan.
2) Anoda berfungsi untuk membentuk gaya yang dapat menarik elektron.
3) Electromagnetic lens dan Electromagnetic deflection berfungsi untuk memfokuskan elektron
menuju satu titik pada permukaan sampel.
4) Specimen sebagai tempat meletakkan sampel.
5) Detector;
a. SE (Secondary Electron) detector berfungsi untuk mendeteksi elektron sekunder yang
terbentuk yang selanjutnya akan diubah menjadi sinyal listrik.
b. X-Ray detector yang berfungsi untuk menangkap radiasi foton yang timbul akibat elektron
yang mengalami eksitasi. Detektor ini akan terhubung dengan komputer.
6) Scan generator yang terhubung dengan komputer akan menerjemahkan sinyal listrik menjadi
data digital berupa gambar yang dapat terlihat pada layar computer.
7) Pompa vakum berfungsi untuk membuat kondisi udara pada bagian colomn dan chamber
specimen vakum sehingga tidak akan mengganggu proses scanning.

2. Bagaimana mekanisme kerja mesin SEM dalam melihat topografi sampel?

Sebelum masuk pada mekanisme kerja mesin SEM dalam melihat topografi sampel, diperlukan
persiapan sebagai berikut;
1) Persiapan Sampel
Sebelum melakukan proses scanning menggunakan SEM, harus diketahui terlebih dahulu
komponen terbesar yang ada pada sampel, sampel yang akan di-scan harus memiliki muatan.
Jika sampel berupa bahan organik maka sampel perlu diberikan pre-treatmen dengan dilapisi
logam yang memiliki kemurnian tinggi (emas-Au). Pelapisan sampel bertujuan agar elektron
yang ditembakkan dapat mengenai permukaan sampel dan dapat terbaca oleh detektor dengan
baik karena tingkat kontaminan rendah. Sampel harus dalam kondisi kering (bebas dari air)
 karena elektron primer dapat bertumbukan dengan air hingga membuat hasil gambar yang
buram.
2) Mekanisme kerja SEM
Sampel yang akan diamati diletakkan pada spesimen (yang berada pada specimen chamber),
selanjutnya elektron (primary electron) dipancarkan dari sumber elektron kemudian difokuskan
menggunakan lensa elektromagnetik dan defleksi elektromagnetik. Primary electron tersebut
ditabrakkan pada sampel yang mengakibatkan terjadinya refleksi elektron hingga menghasilkan
elektron sekunder (secondary electron), hasil ini yang kemudian akan terdeteksi oleh SE
detektor. SE detektor akan mengubah elektron menjadi sinyal listrik dan mengirimkan data ke
monitor komputer berupa gambar tiga dimensi hitam putih yang akan menampilkan gambar
topografi dari sampel yang telah diamati.

3. Terangkan fungsi analisa SEM untuk sampel pangan atau non-pangan!

Fungsi mikroskop elektron scanning atau SEM adalah dengan memindai terfokus balok halus
elektron ke sampel. Elektron berinteraksi dengan sampel komposisi molekul. Energi dari elektron
menuju ke sampel secara langsung dalam proporsi jenis interaksi elektron yang dihasilkan dari
sampel. Serangkaian energi elektron terukur dapat dihasilkan yang dianalisis oleh sebuah
mikroprosesor canggih yang menciptakan gambar tiga dimensi atau spektrum elemen yang unik yang
ada dalam sampel dianalisis. Ini adalah rangkaian elektron yang dibelokkan oleh tumbukan dengan
elektron sampel.

Fungsi analisa menggunakan SEM adalah untuk mengetahui kondisi molekul (dengan skala sub
micron (nm)), sehingga dapat diketahui karakteristik dari produk yang dianalisis (karakterisasi).

Referensi ;
Kahn, Bruce E., 2002, Hand Out Scanning Electron Microskopy.
Smallman, R.E. dan R. J. Bishop.2000, Metalurgi Fisik Modern dan Rekayasa
Material. Erlangga, Jakarta.
Prasetyo, Y. 2011. Scanning Electron Microscope dan Optical Emission Spectroscope. http://
yudiprasetyo53.wordpress.com/2011/11/07/scanning-electron-microscope-sem-danoptical-
emission-spectroscope-oes/ Tanggal akses 18 September 2017.