Homework TMA

Rocardo Fiipadhlillah Chang (1606822945)

Teknik Metalurgi dan Material Fakultas Teknik Universitas Indonesia

1. Jelaskan Pembentukan Image pada mekanisme SEM, dan jelaskan perbedaan antara
primary dan secondary electron
Jawab
Ketika electron beam ditembakkan terhadap sampel, maka interaksi yang terjadi adalah
sinyal foton dan electron teremisikan. Sinyal-sinyal tersebut membawa informasi
berkaitan dengan permukaan sampel antara lain adalah topografi, kristalogafi dan
senyawaan kimia. Sinyal-sinyal tersebut dikumpulkan dan ditangkap sehingga dapat
dikonstruksikan sebagai tampilan

Electron BeamInduced Current (EBIC)

Primary electron adalah jenis electron yang

dimiliki oleh electron beam hasil emisi dari
electrogun. Primary electron bersifat menganggu
kestabilan susunan atom yang berada di
permukaan sampel sehingga ketika ditembakkan
membuat atom- atom tereksitasi (dapat dilihat pada gambar), biasanya electron beam
mempu nyai kekuatan energi sebesar 1-50 KeV dan dapat mengeksitasi atom yang dekat
dengan nuclei (inelastic) ataupun berinteraksi dengan nucleinya (elastic).
 Primary electron merupakan jenis
electron yang dimiliki oleh electron beam hasil
emisi dari electro gun. Primary electron bersifat
menganggu kestabilan susunan atom yang
berada di permukaan sampel sehingga ketika
ditembakkan membuat atom- atom tereksitasi
(dapat dilihat pada gambar), biasanya electron beam mempu nyai kekuatan energi sebesar
1-50 KeV dan dapat mengeksitasi atom yang dekat dengan nuclei (inelastic) ataupun
berinteraksi dengan nucleinya (elastic).

Secondary electron merupakan salah satu enis atom yang tereksitasi oleh electron
beam. Secondary electron membawa sinyal berkaitan dengan informasi topografi sampel.
Secondary electron terbentuk dari interaksi electron yang tidak elastic (inelastic) dengan
electron beam. Jenis elektron ini dapat tereksitasi karena mempunyai energi dibawah dari
SO eV. Karena SE mempunyai energi yang sangat rendah, maka dari itu SE berada di
paling dekat dengan permukaan sehingga berhubungan sekali dengan topografi, karena
mengindikasikan smallescape depth pada tampilan setelah dikonstruksikan.

2. Jelaskan meka nisme dasar dari ion milling pada FIB

Jawab
Salah satu mekanisme yang terdapat
pada FIB adalah Ion Milling, yang berarti
Ion beam tersebut dengan mudah mengubah
susunan dari permukaan sampel dengan
menggunakan Sputtering process. Karena
FIB menghasilkan gambar dengan resolusi
tinggi berskala sub nano. Milling ini dapat
dikontrol secara hati-hati presisinya dengan
menggunakan nanometer atau dengan
bantuan SEM sehingga dapat menghasilkan
trenched nano-machining dengan ketelitian yang tinggi. Pada proses milling ini juga harus
diperhatikan yaitu sudut milling terhadap sampel sehingga dapat menunjang outputnya
 (trenched), besar sudut saat melakukan milling adalah 52° . Lalu sampel siap untuk proses
selanjutnya yaitu cutting.

3. Sebutkan perbedaan dan keuntungan mode tampilan Secondary Electron

dan Secondary Ion pada FIB
Jawab
Secondary Electron Mode Secondary Ion Mode
Morfologi Hasil

Orientasi butir Memperlihatkan orientasi butir Memperlihatkan orientasi butir

secara kontras secara kontras dan juga
memberitahukan erbedaan
kimiawi
Pemberian etsa Tidak harus dilakukan Harus dilakukan pengetsaan
pengetsaan untuk melihat keberadaan
korosi
Pengamatan Korosi Tidak dapat diamati Dapat diamati
Kelebihan Dapat ditingkatkan kontrasnya Dapat ditingkatkan yields nya
dengan bantuan imaging jika berhadapan dengan
parameters oksigen

4. Apa itu Kikuchi Bands? Jelaskan bagaimana Kikuchi Bands terbentuk pada EBSD
Jawab
Prinsip EBSD adalah sebuah kristal pada kemiringan tertentu dikenai oleh beam
pada titik tertentu, 70°. Dan elektron backscattered yang terdifraksi dengan cara elastis
(mengenai inti atom) berkorelasi dengan besar cone. Maka dari itu, antara area electron
 yang terkena beam dengan kerucut menghasilkan pola difraksi
Kikuchi Band BS. Akhirnya, terbentuklah gnomonic projection
seperti apa yang kita lihat pada screen.

Kikuchi band mengandung informasi antara lain karakteristik struktur kristal dan
orientasi kristal induknya yang dijelaskan oleh masing-masing bagian dari Kikuchi
Bands ..
Intepretasi Kikuchi Band :
 Pusat Kikuchi Band menggambarkan bidang difraksi
 Intersection Kikuchi Band menggambarkan perpotongan sumbu pada kristal
(dapat dinamai dengan arah kristal pada sumbu tertentu)