Kresna Dwi Putranto/1606831136/Analisis Struktur Material 01

Homework TMA
1. Jelaskan Pembentukan Image pada mekanisme SEM, dan jelaskan perbedaan antara
primary dan secondary electron
Jawaban:
Ketika electron beam ditembakkan terhadap sampel, maka interaksi yang terjadi
adalah sinyal foton dan electron teremisikan. Sinyal-sinyal tersebut membawa
informasi berkaitan dengan permukaan sampel antara lain adalah topografi,
kristalogafi dan senyawaan kimia. Sinyal-sinyal tersebut dikumpulkan dan ditangkap
sehingga dapat dikonstruksikan sebagai ta mpilan.

Whan the electron beam strikes the sample, both photon ard electron signals are
emitted.
Incident Beam ( 1-SOKeV)
X-rays Primary Backscattered Electrons
Through Thickness Atormc Number ard Topographlcal Information
Composition Information
Cathodoluminescence
Electrical Information

Auger Electrons
Surface Sensitive Secondary Electrons
Compos1tional Information Topographical Information

Sample
Specimen Current
Electron Beam
Induced Current (EBIC) Electrical Information

Primary electron meru pakan jenis electron yang dimiliki oleh electron beam hasil
emisi dari electro gun. Primary electron bersifat menganggu kestabilan susunan atom
yang berada di permukaan sampel sehingga ketika ditembakkan membuat atom-
atom tereksitasi (dapat dilihat pada gambar), biasanya electron beam mempu nyai
kekuatan energi sebesar 1-50 KeV dan dapat mengeksitasi atom yang dekat dengan
nuclei (inelastic) ataupun berinteraksi dengan nucleinya (elastic).
Secondary electron merupakan salah satu
Primary j enis atom yang tereksitasi oleh electron beam.
Electron Secondary electron membawa sinyal
Beam berkaitan dengan informasi topografi sampel.
Secondary electron terbentuk dari interaksi
electron yang tidak elastic (inelastic) dengan
electron beam. Jenis elektron ini dapat
tereksitasi karena mempunyai energi dibawah
 dari SO eV. Karena SE mempunyai energi yang sangat rendah, maka dari itu SE berada
di paling dekat dengan permukaan sehingga berhubungan sekali dengan topografi,
karena mengindikasikan small escape depth pada tampilan setelah dikonstruksikan.

2. Jelaskan meka nisme dasar dari ion milling pada FIB

Jawaban:
*) Terminologi Mill dapat diartikan sebagai pengubahan sesuatu secara langsung.

Salah satu mekanisme yang terdapat pada FIB adalah Ion Milling, yang berarti Ion
beam tersebut dengan mudah mengubah susunan dari permukaan sampel dengan
menggunakan Sputtering process. Karena FIB menghasilkan gambar dengan resolusi
tinggi berskala sub nano. Milling ini dapat dikontrol secara hati-hati presisinya
dengan menggunakan nanometer atau dengan bantuan SEM sehingga dapat
menghasilkan trenched nano-machining dengan ketelitian yang tinggi. Pada proses
milling ini juga harus diperhatikan yaitu sudut milling terhadap sampel sehingga
dapat menunjang outputnya (trenched), besar sudut saat melakukan milling adalah
52° . Lalu sampel siap untuk proses selanjutnya yaitu cutting.
Ga' ions
parallel
•(y)
petpendlculBr sputtered
(>) - f -• rnattl1al

3. Sebutkan perbedaan dan keuntungan mode tampilan Secondary Electron dan

Secondary Ion pada FIB
Jawaban:
Secondar Electron Mode Secondar Ion Mode

Memperlihatkan orientasi butir secara

Memperlihatkan orientasi butir secara
kotras dan juga memberitahukan
kontras
erbedaan kimiawi
 Harus dilakukan pengetsaan untuk
Tidak harus dilakukan pengetsaan
melihat keberadaan korosi
Dapat ditingkatkan kontrasnya dengan Dapat ditingkatkan yields nya jika
bantuan imaging parameters berhadapan dengan oksigen
Digunakan untuk studi tentang Korosi

4. Apa itu Kikuchi Bands? Jelaskan bagaimana Kikuchi Bands terbentuk pada EBSD
Jawaban:
Prinsip EBSD adalah sebuah kristal pada
e· kemiringan tertentu dikenai oleh beam pada titik
Phosphor screen

I tertentu, 70°. Dan elektron backscattered yang

terdifraksi dengan cara elastis (mengenai inti
atom) berkorelasi dengan besar cone. Maka dari itu,
antara area electron yang terkena beam dengan
kerucut menghasilkan pola difraksi Kikuchi Band
Backscattered. Akhirnya, terbentuklah gnomonic
projection seperti apa yang kita lihat pada screen.
Phosphor
Electrons screen
Proiecbonof (hkl)
planeonto scree
(hkl)
Braggangle !K1kuch1
band

::::::--
D1ffracting
crystal planes (hkl) Crystal direction [uvw)

Kikuchi band mengandung informasi antara lain karakteristik struktur kristal dan
orientasi kristal induknya yang dijelaskan oleh masing-masing bagian dari Kikuchi
Bands ..
Inter retasi Kikuchi Band
o Pusat Kikuchi Band menggambarkan bidang difraksi
o Intersection Kikuchi Band menggambarkan perpotongan sumbu pada kristal
(dapat dinamai dengan arah kristal pada sumbu tertentu)