METALURGI KELOMPOK 2

FISIK
● IKHWANUL ANDRIAN
● WISMALQI
● NABIL ABDURRAHMAN
TOPIK : ● SYAHRANIE MUTYARA DETRIZ
X-RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY ● RIJALUL KHOIRI
(XPS)
Definisi XPS
X-ray photoelectron spectroscopy ( XPS ) adalah teknik spektroskopi
kuantitatif peka permukaan berdasarkan efek fotolostrik yang dapat
mengidentifikasi unsur-unsur yang ada di dalam suatu bahan (komposisi
unsur) atau menutupi permukaannya, serta keadaan kimianya , dan struktur
elektronik keseluruhan dan kepadatan keadaan elektronik dalam material.
ALAT
Instrumen XPS memiliki komponen berikut:

● Sistem vakum sangat tinggi

● Sumber sinar-X

● Penganalisis energi elektron digunakan untuk

membedakan antara energi fotoelektron yang
dihasilkan. Ini biasanya adalah Concentric
Hemispherical Analyzer (CHA).

● Pistol ion ar

● Kemampuan netralisasi muatan

menggunakan "senjata banjir" elektron
digunakan untuk meminimalkan muatan
permukaan di bawah sinar sinar-X.

● Perangkat lunak komputer dan reduksi data.

Prinsip Kerja XPS
Prinsip kerja X-ray Photoelectron Spectroscopy (kita singkat dengan XPS) adalah
menembakkan atom dengan sinar-X sehingga elektron pada orbit keluar meninggalkan
atom. Fenomena sama dengan fotolistrik dengan menembakkan elektron dalam logam
sehingga elektron lepas dari logam. Foton sinar-X yang diserap oleh elektron digunakan
untuk:

1. Melepaskan diri dari ikatan dengan atom, Ei

2. Melepaskan diri dari material yang sama dengan fungsi kerja, ϕ
3. Sisanya muncul sebagai energi kinetik. Ek
 Prinsip kerja XPS sebagai berikut:

1. Ketika material ditembakkan dengan sinar-X maka

elektron pada berbagai energi akan dipancarkan dari
sampel.

2. Pada alat ada bagian yang menyeleksi laju elektron.

3. Jumlah elektron pada tiap laju yang diseleksi diukur.
4. Dari laju kita menghitung energi kinetik elektron
5. Kita akan dapatkan nilai energi kinetik dengan jumlah
elektron terbanyak (sejumlah puncak)
6. Dari energi kinetik pada puncak kurva tersebut, kita
hitung energi ikat elektron menggunakan persamaan
(303.1)
7. Di dalam komputer sudah tersimpan data energi ikat
Gambar 303.1 Ilustrasi proses pengukuran dengan XPS. semua atom. Energi ikat tersebut khas untuk masing-
masing atom.
FYI : 8. Dengan membandingkan energi ikat yang dihitung
Ei=hf–EK–ϕ (303.1)
dengan data energi ikat dalam komputer maka kita
dapat mengetahui jenis atom pada permukaan sampel.
Gambar Yang Dihasilkan
Gambar 303.2 adalah contoh spektrum
XPS dari silikon yang memiliki
permukaan kotor. Tampak sejumlah
puncak yang menandakan energi ikat
atom-atom yang ada di permukan
silikon. Muncul puncak flor (F),
oksigen (O), timah putih (Sn),
nitrogen (N), karbon (C), dan dilikon
(S). Jadi di permukaan silikon kotor
tersebut dijumpai atom-atom yang
Gambar 303.2 spektrum XPS dari silikon yang permukaanya kotor
bersangkutan.
Gambar Yang Dihasilkan
Gambar 303.3 adalah spektrum
XPS emas murni. Keadaan yang
disimbolkan dengan 4f5/2 dan 4f7/2
memiliki energi ikat masing-
masing 84,3 eV dan 88,0 eV. Pada
spektrum XPS tampak dpuncak
yang diasosiasikan dengan dua
keadaan tersebut.

Gambar 303.3 Spektrum XPS emas murni