Scanning Electron Microscope

(SEM)

Laida Neti Mulyani

1.
• KONSEP DASAR

2.
• INSTRUMENTASI

3.
• INTERPRETASI DATA

4
• APLIKASI
1. KONSEP DASAR
PENDAHULUAN

PERBANDINGAN

IN SITU IMAGING

PRINSIP DASAR

KONSEP DASAR
PENDAHULUAN

SEM
 instrumen saintifik
menggunakan
sinaran dari elektron
energetik untuk
memeriksa objek
berukuran kecil
 APA SAJA YANG DAPAT
DIPELAJARI DARI SEM ?

Tofografi dan morfologi

Kimia
Kristalografi
Penelitian In Situ
– Reaksi Atmosfer
– Pengaruh suhu Penyiapan Sampel Uji Mudah!

MENA3100
Sampel Uji Dalam Jumlah Besar!
KARAKTERISTIK INFORMASI
• TOPOGRAFI
Mencakup fitur permukaan dari objek; wujud, tekstur,
hubungan langsung antara ciri dan material properti.
• MORFOLOGI
Meliputi bentuk dan ukuran dari partikel , hubungan
langsung antara struktur dan material properti
• KOMPOSISI
Mencakup elemen dan komponen dari objek yang
tersusun, hubungan langsung antara komposisi dan
material properti.
• INFORMASI KRISTALOGRAFI
Menunjukkan informasi atom penyusun objek, hubungan
langsung antara atom dan properti material.
 Tofografi & Morfologi
Kedalaman
bidang fokus

Image: Christian Kjølseth, UiO Image: Camilla Kongshaug,

MENA3100 UiO
 PERBANDINGAN ANTAR
MIKROSKOP
OM  TEM  SEM
 KEUNTUNGAN SEM
DARIPADA OM

PERBESARAN KEDALAMAN RESOLUSI HASIL

• OM : 4X-1400X BIDANG • - 0.2 MM • OM : 2D
• SEM : 10X-500 • 0.5 MM • SEM : 3D
KX • 30 MM
 OBJEK

OM SEM
BENTUK KRISTAL
 KEDALAMAN FOKUS
OM  SEM

Screw length: ~ 0.6 cm

Images: the A to Z of Materials

Perbesaran dengan SEM mempunyai

kedalaman fokus yang lebih baik
dibandingkan mikroskop optik 
mempelajari permukaan kasar
MENA3100
PRINSIP PEMBENTUKAN GAMBAR
288 electrons!
Electron gun
156 electrons!

Detector

Sample
Image

MENA3100
 PRINSIP

3.Wujud Sampel
2. Pembentukan Terbentuk
Wujud Sampel Sempurna
1.Penyinaran A.Elektron A. Struktural
Sampel sekunder
B. Elemen yang
B.Penyebaran terkandung dalam
signal elektron sampel)
 SINYAL DARI SAMPEL
Incoming electrons
Secondary electrons
Auger electrons
Backscattered Cathodo-
electrons luminescence (light)

X-rays

Sample
MENA3100
 DARI MANA DATANGNYA SINYAL?

• Diameter dari volume

interaksi lebih besar dari spot
elektron  resolusi lebih
buruk daripada ukuran dari
spot elektron

Image: Department of Geology and

Geophysics, Louisiana State
MENA3100 University
 ELEKTRON SEKUNDER (SE)
• Dihasilkan dari tabrakan antara
elektron datang dengan elektron
terluar yang longgar.
• Energi elektron rendah (~10-50
eV)
• SE dihasilkan mendekati
permukaan.
• Nilai SE lebih baik daripada nilai
dari elektron datang.
• Nilai dari SE lebih baik daripada
nilai dari elektron datang.
(dibedakan antara SE1 dan SE2)
MENA3100
 SE1

• SE dihasilkan dari elektron beam ketika

memasuki permukaan.
• Sinyal resolusi tinggi terbatas oleh
diameter electron beam.

MENA3100
 SE2
• SE yang dihasilkan dari penghamburan kembali elektron sehingga
kembali ke permukaan setelah beberapa peristiwa penghaburan non
elastis
• SE2 datang dari area permukaan yang lebih besar daripada titik dari
elektron datang  resolusi lebih rendah daripada SE1.

SE2
Incoming electrons
Sample surface

MENA3100
 “DETECTION”
 ES memiliki energi elektron rendah.
 Dapat ditemukan pada tegangan positif
(100-300 V)
 Banyaknya ES yang terkumpul (50-100%)
 objek 3D
Backscattered electrons
(BSE)

• Fraksi dari elektron yang

terhambat oleh nukleus
dalam medan
elektromagnetik
• Sudut pengukuran < 180 °
 elektron dapat keluar
dari permukaan.
MENA3100
 Backscattered electrons (BSE)

• Elektron energi tinggi (penghamburan elastik)

lebih sedikit daripada SE
• BSE  BSE 1 dan BSE 2

MENA3100
 BSE 2
Umum digunakan

BSE2
Incoming electrons
Sample surface

MENA3100
MEKANISME PENABRAKAN
ELEKTRON
MEKANISME PENABRAKAN
when electrons hit matter ..
ELEKTRON
MEKANISME PENABRAKAN
when electrons hit matter ..
ELEKTRON
MEKANISME PENABRAKAN
when electrons hit matter ..
ELEKTRON
 BSE vs SE

Images: Greg Meeker, USGS

MENA3100
 • PARAMETER
PERBESARAN TAMPILAN
5.

1. RESOLUSI
2. KEDALAMAN BIDANG
 1. RESOLUSI
Kemampuan menyelesaikan 2 titik ruang
yang berdekatan.
Resolusi tidak sama dengan perbesaran.
Diperlukan magnifikasi tinggi untuk melihat
fitur kecil
u/ memperbaiki resolusi :
 2. KEDALAMAN BIDANG
• Ketinggian sampel dapat lebih difokuskan
menggunakan kedalaman bidang.
• SEM memiliki kedalaman bidang yang
besar  memungkinkan objek muncul 3D
INSTRUMENTASI
KONFIGURASI SEM

SumberElektron
Electron Beam
Lensa Magnetik
Detektor
Vakum
Sample chamber
 Sumber Elektron /Electron Gun

Thermal Electron Gun

Sumber Energi Kenaikan

Panas EK elektron

Gerakan elektron
smakin cepat dan
tidak menentu

Tungsten Elektron terlepas

LaB6
 Sumber Elektron

Field Emission Electron Gun

Medan listrik
pada katoda

Elektron memiliki Tarikan medan

energi yang cukup listrik dari
untuk lepas elektron
Electron Beam

Berkas Elektron
yang berasal dari
sumber elektron
 Lensa Magnetik

Lensa Elektromanetik

Aliran arus dalam kawat menghasilkan suatu

medan magnet tegak lurus akan mengakibatkan
berkas elektron mengarah terpusat
 Lensa Magnetik

Kondensor

Konvergensi berkas elektron yang berbentuk

kerucut menjadi spot
 Lensa Magnetik

Lensa Obyektif

Memfokuskan berkas elektron ke sampel

DETECTOR
DETECTOR

Backscattered
electron detector

Secondary
electron detector
 DETECTOR

Elektron Backscaterred
 Energi tinggi
 Backscaterred detector

Elektron Sekunder
Energi rendah
Secondary electron detector
 DETECTOR

Banyak elektron sekunder yang masuk pada

detektor akan dipengaruhi Oleh permukaan
bahan yang dianalisis
DETECTOR

Haasil Pengamatan
menggunakan
BSE detektor /Kiri
SE detektor/Kanan
Pompa Vakum

Kondisi Harus vakum

Optimasi dan efisiensi
elktron sekunder yang
dihasilkan
Adanya udara akan
mengakibatkan
ionisasi dan
mengurangi muatan
bahan
Wadah Sample
Teknik Instrumetasi Untuk Analisis

Pengaturan Kondensor terkait resolusi

Pengaturan Kondensor Terkait Berkas Arus
Pengaturan Stigmator
Pengaturan Jarak lensa terhadap Sample
Pengaturan Tegangan
Pengaturan Tegangan
Pengaturan Konduktivitas Sampel
Pengaturan Kondensor Terkait Resolusi
Pengaturan Kondensor Terkait Berkas Arus

Peningkatan arus pada

kondensor akan
mengakibatkan berkas fokus
yang dihasilkan lebih pendek
dan akan meningkatkan
resolusi. Namun berkas fokus
yang lebih pendek ini
mengakibatkan elektron
banyak yang tidak dapat masuk
pada lensa berikutnya
menghasilkan penurunan
berkas
 Pengaturan Stigmator

Sigmatisma terjadi jika berkas elektron yang terjadi

berbentuk elips sehingga berkas ini yang akan dikenali
oleh detektor. Scanning sampel akan dilakukan dari
dua arah berbeda yaitu fokus atas atas dan bawah
sehingga mengurangi resolusi  pengaturan stigmator

no stigmatism present Little stigmatism present Stigmatisme

smeare dimage
Pengaturan Jarak lensa terhadap Sample

Dekat dengan Sample

Jauh dengan Sample

Pengaturan Jarak terhadap Topografi sampel

Working Distance and Depth of Field

Big depth Small Depth

Pengaturan Tegangan

High Voltage

Low Voltage
Pengaturan Konduktivitas Sampel

Nonconductive Conductive
sample Sample
 Troubleshooting

Struktur permukaan pada gambar tidak detil

Edge Effect
Kontaminasi Terkait Berkas elektron
Specimen damage
Muatan
Struktur permukaan pada gambar tidak detil

Penyebabnya
Tegangan yang digunankan terlalu tinggi, penetrasi
dan difusi berkas elektron pada sample tinggi, hal ini
dapat mengaburkan struktur, meningkatkan BSE
mengakibatkan perubahan kontras

Solusi

Menggunakan tegangan
lebih rendah antara 5-10kV
 Edge Effect

Penyebabnya
Peningkatan emisi elektron pada
tepi/puncak permukaan yang
mengakibatkan intensitas elektron
pada “region shielded” dari
detektor rendah, juga mengakibatan
kenaikan BSE yang mepengaruhi
kontras topografi sample

Solusi

Mengurangi berkas elektron

 Kontaminasi Terkait Berkas elektron

Solusi

Menggunakan
Perbesaran yang
rendah terlebih dahulu

Penyebabnya
Adanya kontaminan pada sampel seperti karbon, yang ikut
ter scanning oleh berkas elektron, sehingga muncul pada
pengamatan
 Specimen damage

Penyebabnya
Iradiasi Berkas elektron dalam bentuk panas akan merusak
sampel yang rapuh dan tidak tahan terhadap panas seperti
potein, lemak volatil dan polimer

Solusi

Mengurangi tegangan yang

digunakan
Meningkatkan jarak kerja antara
lensa dengan spesimen
 Charging

Penyebabnya
Penumpukan elektron yang tidak terkendali, Jumlah elektron insiden
lebih besar dari jumlah elktron sekunder .Mengakibatkan muatan
negatif yang mengakibatkan perubahan kontras, pergeseran,
deformasi atau pencahayaan yang tidak merata

Solusi

Mengkonduksikan sampel
Mengurangi jumlah elektron
APLIKASI