Thoriq Marendra

13718059
Tugas Pertemuan-2
Materialografi dan Difraksi

1. Prinsip Scanning Electron Microscopy-Energy Dispersive Spectroscopy (SEM-EDS)

a) Interaksi antara berkas electron dengan sampel

Cara kerja alat ini dengan menembak permukaan sampel dengan electron berenergi
tinggi, permukaan spesimen akan memperlakukan electron tersebut bermacam-macam,
dapat saja dipantulkan kembali atau menghasilkan electron sekunder ke segala arah. Pada
arah tertentu electron dipantulkan dengan intensitas tinggi, detector pada SEM akan
mendeteksi dan menentukan lokasi berkas dengan intensitas tinggi tersebut.

Gambar 1. Interaksi berkas elekron dengan sampel

Pada SEM-EDS, memanfaatkan pantulan electron dengan sampel yang menghasilkan
characteristic x-rays. Dengan memanfaatkan interaksi electron dengan sampel berupa
characteristic x-rays, kita dapat menentukan komposisi batas butir, fasa yang ada pada
sampel, inklusi dan lain-lain.

Gambar 2. Pembentukan Characteristic X-ray pada SEM-EDS

Elektron yang ditembakkan akan menabrak electron pada kulit tertentu, contoh pada Gambar
2 bahwa electron menabrak electron pada kulit K. Elektron pada kulit lebih luar dengan
energi lebih tinggi akan mengisi electron pada kulit K, dengan memancarkan sejumlah
energi, energi yang dipancarkan disebut characteristic x-rays. Adapun karakteristik dari sinar
x-ray antara lain, energi yang dihasilkan cukup tinggi, dapat menembus material yang opak,
serta dengan characteristic x-ray, analasisi data akan cepat.

Adapun data dihasilkan dan intepretasinya dijelaskan sebagai berikut

Data yangGambar 3. Contoh
akan dihasilkan sampel yangSEM-EDS
menggunakan kawat yang dinalisis
berupa dengan
kurva, teknik
adapun dariSEM-EDS
kurva
tersebut, sumbu horizontal merupakan energi dalam keV dan sumbu vertikal merupakan
intentsitas dari komposisi yang terdapat pada spesimen.

Gambar 4. Data yang dihasilkan dalam metode SEM-EDS

Dari data yang disajikan pada Gambar 4 diatas, kita dapat menginterpretasi atau mentafsirkan
data, sehingga mendapatkan persen unsur penyusun komposisi pada spesimen yang diuji,
semakin tinggi kurva intensitas, maka persen komposisi dalam spesimen tersebut juga akan
semakin tinggi. Contoh interpretasi data dari gambar 4 akan seperti:
 Tabel 1. Intepretasi data dari intensitas unsur

Tabel 1 merupakan interpretasi data SEM-EDS dari hasil pengujian yang dilakukan, dari
Tabel 1 diatas dapat diketahui masing-masing komposisi unsur penysun suatu material yang
diuji

1. Rangkuman Materi Transmission Electron Microscopy (TEM) chapter 1

I) Definisi dan Sejarah TEM

Transmission Electron Micorscopy atau disingkat dengan TEM, memiliki beberapa jenis seperti
HRTEM, STEM dan AEM. TEM digunakan untuk melihat struktur mikro suatu material seperti logam,
paduan logam, keramik, glass material, semikonduktor dan komposit, dalam skala penglihatan
nananometer (1-100 nm). Pada sekarang ini TEM dapat membantu para peniliti dalam karakterisasi
material. TEM menggunakan kinerja electron dalam prinsip kerjanya, sebelum memahami cara kerja
TEM, akan lebih baik kita memahami sejarah penemuan TEM terlebih dahulu.
Latar belakang ditemukannya TEM karena keterbatasan mikroskop cahaya dalam melihat struktur suatu
material dalam skala yang lebih kecil. Dilatarbelakangi penemuan dua peniliti Knoll dan Ruska pada
tahun 1932, mereka membuat sebuah mikroskop yang bekerja berdasarkan prinsip electron, dan
menerima Nobel Prize atas jasanya tersebut, empat tahun setelahnya dan tahun-tahun berikutnya
mikroskop electron terus dilakukan perkembangan sehingga dapat digunakan dalam skala nano seperti
sekarang ini.
II) Mikroskop dan konsep resolusi
Resolusi dalam TEM merupakan perbedaan hal dalam instrumen yang terkait mikroskop. Resolusi
gambar pada TEM dapat diperkirakan menggunakan kriteria Rayleigh seperti dibawah :
0.61𝜆
𝛿=
𝜇 𝑠𝑖𝑛𝛽
Keterangan:
𝜆= panjang gelombang radiasi
𝜇= indeks refraktif
𝛽= perbesaran lensa
 III) Kedalaman bidang dan kedalaman focus pada mikroskop

Kedalaman bidang mikroskop adalah ukuran seberapa banyak objek yang dapat diamati pada
saat fokus yang sama. merujuk pada istilah kedalaman focus jarak di mana gambar dapat
bergerak relatif terhadap objek dan masih tetap focus, sedangkan kedalaman bidang yang besar
ini terutama digunakan dalam SEM untuk menghasilkan gambar seperti permukaan 3D
spesimen dengan perubahan besar dalam topografi.

Gambar 1. Contoh pengamatan penggunaan SEM pada GaAS

IV) Difraksi Elektron pada TEM
Pada awal mulanya disadara bahwa electron dapat berdifraksi melewati kristal tipis nikel. Melakukan
difraksi electron dalam TEM pertama kali dikemukakan oleh Kossel dan Mollenstedt, dan pada saat
sekarang, hal ini merupakan aspek penting untuk mengetahui struktur kristal khususnya cacat kristal,
guna merekayasa sifat material tersebut.

V) Keterbatasan TEM
Ada beberapa hal yang menjadi batas kemampuan dari TEM, yaitu :
1. Harga yang dibayar untuk melakukan karakterisasi menggunakan TEM sangat mahal
2. Preparasi sampel harus disiapkan sebaik mungkin, spesimen harus dibuat tipis agar gambar dapat
ditembus electron sehingga spesimen dapat diamati oleh TEM dengan baik
3. Efek dari radiasi ionisasi elektron dapat merusak spesimen terutama polimer, mineral, dan keramik.
4. Kesulitan untuk mengintrepetasi gambar karena TEM menghasilkan gambar 2D dari spesimen 3D.
Untuk mengatasi kekurangan ini dapat dengan cara menambahkan teknik lain dalam mengkarakterisasi
material tersebut.

VI) Aspek Penting mengenai Elektron

Elektorn memiliki sifat dualisme, dapat berperilaku sebagai gelombang dan partikel, pancaran sinar
electron berjalan sangat cepat, menghasilkan arus yang besar dan energi yang besar. Elektron berjalan
sekitar setengah kecepatan cahaya (0.5 x 108 m/s) dan menghasilkan arus sebesar 0.1-1𝜇A. Potensial
energi yang dihasilkan electron dapat dihitung dengan persamaan :
𝑚0 𝑣 2
𝑒𝑉 =
2
Dengan 𝑚0 merupakan massa electron dan 𝑣 kecepatan electron.
Serta panjang gelombang yang dihasilkan dapat dihitung dengan persamaan
ℎ
𝜆= 1
(2𝑚0 𝑒𝑉)2
Dari persmaan diatas dapat didapatkan hubungan bahwa dengan meningkatnya akselerasi tegangan
potensial electron maka panjang gelombang akan semakin turun