Nama : Nugraeni Fahrunisa

NPM : 1806243191

Failure Analysis

1. Jelaskan beberapa tools untuk analisa kerusakan.

Dalam melakukan analisa kerusakan biasanya diperlukaan tools yang anatara lainnya:

 SEM dan EDS

SEM (Scanning Electron Microscopy) merupakan suatu alat untuk melihat
struktur permukaan material dengan resolusi yang tinggi (10-3000000 x). Pada
dasarnya SEM merupakan salah satu jenis mikroskop yang menggambarkan
sampel dengan menembakkan electron.
EDS merupakan suatu bagian dari SEM (dengan tambahan x-ray analyzer)
yang dapat digunakan unutk mengetahui komposisi kimia permukaan specimen
dengan ukuran luas micron.
 Mikroskop Optik
Mikroskop optic merupakan suatu mikroskop yang digunakan untuk melihat
struktur permukaan material dengan sumber pencahayaan yang berasal dari
cahaya. Tingkat pembesaran image pada mikroskop optic yaitu antara 4-1000
kali yang mana lebih rendah dibandingkan dengan SEM.
 XRD dan XRF
XRD (X-ray Diffraction) merupakan metoda analisa non destruktif yang
didasarkan pada pengukuran radiasi sinar-X yang terdifraksi oleh bidang Kristal
ketika terjadi interaksi antara suatu material dengan radiasi elektromagnetik
sinar.
XRF (X-Ray Fluorosence) merupakan suatu tool yang mirip dengan XRD
menganalisis komposisi kimia beserta konsentrasi unsur-unsur yang terkandung
dalam suatu material dengan menggunakan metode spektrometri.

2. Jelaskan fungsi dan prinsip kerja tools diatas

 SEM dan EDS

Fungsi lain dari SEM antara lain :

a. Dapat dipakai untuk melihat orientasi kristalografik material

b. Dapat dipakai untuk melihat batas butir material
c. Dapat dipakai untuk melihat perbedaan fasa material
d. Menganalisa bentuk dan ukuran material
e. Pengujian patah permukaan
f. Evaluasi komposisi kimia dari permukaan
g. Pengujian semi konduktor untuk failure analysis, function control dan design
verification.
 Prinsip kerja untuk SEM adalah menembakkan permukaan benda dengan
berkas electron berenergi tinggi. Permukaan benda yang dikenai berkas akan
memantulkan kembali berkas tersebut atau menghasilkan electron sekunder ke segala
arah. Detector pada SEM akan mendeteksi electron yang dipantulkan dan menentukan
lokasi berkas yang dipantulkan. Detector mengirim data ke sumber data untuk diolah
dan memperlihatkan hasil yang didapat.

EDS dihasilkan dari sinar-X karakteristik, yaitu dengan menembakkan sinar X

pada posisi yang diinginkan. Maka setelah ditembakkan pada poisi yang dinginkan
akan muncul puncak-puncak tertentu yang mewakili suatu unsur yang terkandung.

 Mikroskop optic
Fungsi dari mikroskop optic adalah unutk menghasilkan gambar permukaan
mikrostruktur dari suatu specimen dengan angka perbesaran lebih kecil dari SEM.
Selain itu, mikroskop optic memiliki fungsi lain diantaranya:
- Mengetahui jenis fasa atau struktur mikro
- Mengetahui kompoisi struktur mikro material
- Mengetahui besar butir material

Prinsip kerja dari mikroskop optic adalah cahaya lampu yang dibiaskan oleh
lensa condenser, setelah melewati condenser sinar mengenai specimen dan
diteruskan oleh lensa objektif. Lensa objektif ini merupakan bagian yang paing
penting dari mikroskop karena lensa ini dapat diketahui perbesaran yang dilakukan
mikroskop. Sinar yang diteruskan oleh lensa objektif ditangkap oleh lensa okuler
dan diteruskan pada mata atau kamera. Mikroskop ini mempunyai batasan
perbesaran yaitu dari 400 x sampai 1400 x.
 XRD dan XRF
XRD memiliki fungsi untuk menentukan struktur Kristal (bentuk dan ukuran
sel satuan Kristal, pengindeks-an bidang Kristal, jumlah atom per-sel satuan),
analisis kimia (identifikasi atau penentuan jenis Kristal, penentuan kemurnian
relative dan derajat kristalinitas sampel, deteksi senyawa baru, dan deteksi
kerusakan pada suatu perlakuan).
Prinsip kerja dari XRD adalah mendifraksi cahaya yang melalui celah Kristal.
Difrasi cahaya oleh kisi-kisi atau Kristal ini dapat terjadi apabila difraksi tersebut
berasal dari radius yang memiliki panjang gelombang yang setara dengan jarak
antar atom, yaitu sekitar 1 amstrong. Radiasi yang digunakan berupa radiasi sinar
X, electron dan neutron. Ketika berkas sinar X berinteraksi dengan suatu material,
maka sebagian berkas akan diabsorbsi, ditransmisikan dan sebagian lagi akan
dihamburkan terdifraksi. Hamburan terdifraksi inilah yang dideteksi oleh XRD.

Ilustrasi difraksi sinar X pada XRD

XRF umum digunakan unutk menganalisa komposisi kimia dan juga

konsentrasi unsur-unsur yang terkandung dalam material dengan metode
spektrometri.
Prinsip kerja dari XRF dilakukan berdasarkan dengan identifikasi dan
pencacahan karakteristik sinar X yang terjadi akibat adanya efek fotolistrik. Efek
fotolistrik terjadi karena electron dalam atom target pada sampel terkena sinar
berenergi tinggi (radiasi gamma, sinar X). electron pada kulit yang lebih dalam
(kulit K) akan terpental keluar dari atom karena adanya sinar X yang dating, maka
akan terjadi kekosongan atau valency electron. Lalu, karena terjadi kekosongan
pada kuliat K, electron pada uliat L dan M akan turun unutk mengisi vakansi
tersebut disertai dengan emisi sinar X yang khas dan meninggalkan vakansi lain di
kulit L atau M. saat vakansi terbentuk di kulit L, electron dari kulit M atau N turun
untuk mengisi vakansi tersebut sambil melepaskan sinar X khas. Spektrometri XRF
memanfaatkan sinar X yang dipancarkan oleh bahan yang sleanjutnya ditangkap
detector unutk dianalisis kandungan unsur dalam bahan.
3. Gambarkan skematis perbedaan prinsip kerja antara OM dan SEM

Perbedaan OM dan SEM terletak pada sumber pencahayaan yang dipakai sehingga
berbeda pula prinsip kerjanya seperti gambar berikut.

Sebagai contoh perbandingan gambar yang dihasilkan antara OM dan SEM adalah
sebagai berikut:

a. Mikroskop optic b. SEM

4. Jelaskan hasil apa aja yang akan diperoleh dari analisa kerusakan material dengan
menggunakan ketiga tools diatas.

SEM

- Memberikan hasil gambar yang menunjukkan kondisi mikrostruktur

permukaan material.
- Dapat membedakan jenis patahan dari permukaan material yang mengalami
kerusakan.
- Dapat memperkirakan awal mula terjadinya retakan pada material.
- Dengan EDS dapat mengetahui komposisi kimia padatitik tertentu.
Gambar cnntoh hasil dari SEM memperlihatkan adanya porosity pada permukaan material

Gambar hasil pengujian SEM dengan EDS

Mikroskop Optik

- Dmikroskop optic digunakan unutk melihat permukaan material secara makro

untuk melihat struktur mikro dari specimen.
XRD dan XRF

Dengan menggunakan XRD maka dapat mengetahui bentuk serta ukuran Kristal dari
material. Selain itu, pengujian XRD akan mendeteksi senyawa baru.

Dengan XRF, akan diperoleh informasi terkait komposisi unsur pada suatu material
specimen.
5. Jelaskan perbedaan antara Secondary Electron (SE) dan Quick Back Scatter Electron
(QBSE) pada hasil pengamatan permukaan material logam.

Perbedaan gambar dari secondary electron dengan backscattered adalah sebagai

berikut:
Electron sekunder menghasilkan topografi dari benda yang dianalisa, permukaan yang
tinggi berwarna lebih cerah dari permukaan rendah.

Ilustrasi pelepasan electron pada permukaan material yang tinggi dan lebih rendah.

Sedangkan backscattered eleaktron memberikan perbedaan berat molekul dari atom-

atom yang menyusun permukaan, atom dengan berat molekul tinggi akan berwarna
lebih cerah daripada aton dengan berat molekul rendah.
Ilustrasi densitas atom mempengaruhi pemantulan elektron