SEM

Scanning Electron Microscope

Kelompok:
1. Fabio Dwi Bagus Irawan (20130130128)
2. Mochamad Khalil Putra Prasetya (20140130009)
3. Eko Saryanto (20140130159)
4. Rachmat Saparudin (20140130267)
Pengertian
SEM (Scanning Electron Microscope) adalah salah satu
jenis mikroscop electron yang menggunakan berkas electron
untuk menggambarkan bentuk permukaan dari material yang
dianalisis.
SEM (Scanning Electron Microscope) memiliki resolusi
yang lebih tinggi dari pada mikroskop optic.
SEM mempunyai depthoffield yang besar, yang dapat
memfokuskan jumlah sampel yang lebih banyak pada satu
waktu dan menghasilkan bayangan yang baik dari sampel tiga
dimensi.
Elektron memiliki resolusi yang lebih tinggi daripada
cahaya. Cahaya hanya mampu mencapai 200nm sedangkan
elektron bisa mencapai resolusi sampai 0,1 – 0,2 nm.
Prinsip kerja
1. Electron gun menghasilkan electron beam dari
filamen. Pada umumnya electron gun yang
digunakan adalah tungsten hairpin gun dengan
filamen berupa lilitan tungsten yang berfungsi
sebagai katoda. Tegangan yang diberikan kepada
lilitan mengakibatkan terjadinya pemanasan. Anoda
kemudian akan membentuk gaya yang dapat menarik
elektron melaju menuju ke anoda.
2. Lensa magnetik memfokuskan elektron menuju suatu
titik pada permukaan sampel.
3. Sinar elektron yang terfokus memindai (scan)
keseluruhan sampel dengan diarahkan oleh koil
pemindai.
4. Ketika elektron mengenai sampel, maka akan terjadi
hamburan elektron, baik Secondary Electron
(SE) atau Back Scattered Electron (BSE) dari
permukaan sampel dan akan dideteksi oleh detektor
dan dimunculkan dalam bentuk gambar pada monitor
CRT
KOMPONEN UTAMA
1. Penembak elektron (electron
gun)
2. Lensa Magnetik
3. Detektor
1. Backscatter detector
2. Secondary detector
4. Sample Holder
5. Monitor CRT (Cathode Ray
Tube)
Perbedaan SEM dengan TEM
 PERSAMAAN SEM DAN EDX/EDS
Hampir sama dengan SEM hanya saja pada SEM EDX
merupakan dua perangkat analisis yang digabungkan menjadi satu
panel analitis sehingga mempermudah proses analitis dan lebih
efisien.

• PRINSIP

SEM EDX adalah sistem analisis yang menggabungkan SEM dan

EDX ke dalam satu unit dirancang pada konsep pengembangan produk
memungkinkan orang untuk mencapai pengamatan cepat, jelas dan
akurat dengan menggunakan analisis elemen EDX mudah
pengoperasiannya. Energy Dispersion X-ray spectroscopy (EDS atau
EDX) adalah sebuah teknik analisis yang digunakan untuk menganalisa
unsur atau karakterisasi kimia dari sampel.
• PERSYARATAN SAMPEL
Sampel dengan diameter sampai dengan 8 in (200 mm), dapat
dianalisis dalam SEM. Sampel lebih besar, diameternya sampai kira-
kira 12 in (300 mm), dapat dimasukkan pada limited stage movement.
Sampel harus tinggi paling maksimum sekitar 2 in (50 mm) Sampel
juga harus kompatibel dengan suasana vakum ukuran sedang (tekanan
dari 2 Torr atau kurang).

• KEGUNAAN
a. EDXRF dapat digunakan untuk berbagai aplikasi yang luar biasa
dari analisis unsur.
b. EDXRF ini dapat digunakan untuk menganalisa komponen
utama dalam produk atau proses atau penambahan aditif kecil.
HASIL PERCOBAAN
KELEBIHAN - KELEMAHAN SEM
Adapun kelebihan teknik SEM yaitu terdapat sistem vakum
pada electron-optical column dan sample chamber yang bertujuan antara
lain:
Menghilangkan efek pergerakan elektron yang tidak beraturan karena
adanya molekul gas pada lingkungan tersebut, yang dapat
mengakibatkan penurunan intensitas dan stabilitas.
Meminimalisasi gas yang dapat bereaksi dengan sampel atau
mengendap pada sampel, baik gas yang berasal dari sampel atau pun
mikroskop. Karena apabila hal tersebut terjadi, maka akan menurunkan
kontras dan membuat gelap detail pada gambar.

Sedangkan kelemahan dari teknik SEM antara lain:

Memerlukan kondisi vakum.
Hanya menganalisa permukaan.
Resolusi lebih rendah dari TEM.
Sampel harus bahan yang konduktif, jika tidak konduktor maka perlu
dilapis logam seperti emas.
APLIKASI
SEM-EDS dapat diaplikasikan sesuai dengan tujuan
penggunaanya yang berkaitan dengan;

 Topografi
 Morfologi
 Komposisi
 Informasi kristalografi

Jenis sampel yang dapat dianalisa: sampel biologi atau material

padat.
Aplikasi (analisa sampel):
1. Sampel Padat: logam, bubuk kimia, kristal, polymers, plastik,
keramik, fosil, butiran, karbon, campuran partikel logam, sampel
Arkeologi.
2. Sampel Biologi: sel darah, produk bakteri, fungal, ganggang,
benalu dan cacing. Jaringan binatang, manusia dan tumbuhan.
3. Sampel Padatan Biologi: contoh profesi dokter gigi, tulang, fosil
dan sampel arkeologi.
Matur Nuwun